エキシマレーザーとは何ですか?
エキシマ レーザーは、希ガス ハロゲン化物の混合物を利得媒体として使用し、極めて短い波長の紫外光を生成する高精度レーザー デバイスです。このタイプのレーザーは、高エネルギー出力と正確な制御で知られており、精密材料加工や医療用途で広く使用されています。
エキシマレーザーの応用
エキシマ レーザーは、その独特の特性により、いくつかの産業で広く利用されています。
- 半導体製造: 微細化のためのリソグラフィ プロセスで使用されます。
- 眼科手術: 患者の視力を改善するためのレーシックなど。
- 材料加工: さまざまな材料の穴あけ、切断、マーキングに使用されます。
- 科学研究: 物理学や化学の精密な測定や実験に使用されます。
エキシマレーザー修理が選ばれる理由
- 費用対効果: エキシマ レーザーは購入と運用に費用がかかります。これらのデバイスを交換するのではなく修理することで、コストを大幅に削減できます。
- 寿命の延長: 専門家による定期的なメンテナンスにより、レーザーのパフォーマンスが回復するだけでなく、動作寿命も大幅に延長されます。
- ダウンタイムの防止: タイムリーな修理により、機器の故障による長期間のダウンタイムが防止され、継続的な生産と研究活動が確保されます。
当社の修理サービスを選ぶ理由
- 業界のリーダーシップ: Sky Fire Laser は、エキシマ レーザーを専門的に修理できる中国の数少ない技術チームの 1 つです。
- 高度な設備: 当社の修理ラボには、業界をリードする修理および監視機器が備えられています。
- 経験豊富な技術者: 当社のエンジニアリング チームは、レーザー技術の修理に関する深い知識と豊富な経験を持っています。
- カスタマイズされたサービス: 当社は、お客様の特定のニーズと予算に合わせてカスタマイズされた修理プランを提供します。
修理事例: MIDI V5.2 Technolas Excimer Laser
背景
2024 年 4 月、私たちは MIDI V5.2 Technolas エキシマ レーザーの性能を回復するという挑戦的なプロジェクトに着手しました。このデバイスは複数のパフォーマンス上の問題により工場仕様を満たすことができず、クライアントの生産に影響を及ぼしました。
I. メンテナンスの詳細
- レーザー キャビティ: レーザー キャビティを開き、検査し、徹底的に洗浄し、メンテナンスします。
- 放電電極: 放電電極と予備イオン化コンポーネントのスパッタリングと腐食クリーニング。
- ガス循環空気経路: ガス循環空気経路の改修。
- 電源: 高圧除塵電源の修理。
- 気密検査: 包括的な気密検査と修理。
- マシン テスト: マシン テストを完了し、パフォーマンス ベンチマークを復元します。
II.契約上のパフォーマンスのベンチマーク
- パフォーマンスの回復: レーザーの単一パルスの最大エネルギーが 100mJ (193nm) を超える、レーザー全体のパフォーマンスが回復します。
- 寿命の延長: デバイスの動作寿命を延長します。
III. メンテナンステストの結果
- 波長: 193nm
- パルスエネルギー: 最大単一パルスエネルギー 158.3mJ (@28kV)
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エネルギー貯蔵電圧 (kV) |
エネルギー (mJ) |
||||||||
|
1Hz |
10Hz |
20Hz |
|||||||
|
アベニュー |
標準 |
相対標準% |
アベニュー |
標準 |
相対標準% |
アベニュー |
標準 |
相対標準% |
|
|
25.0 |
139.2 |
0.89 |
0.64 |
135.1 |
1.34 |
0.99 |
129.7 |
1.75 |
1.35 |
|
26.0 |
148.7 |
1.09 |
0.73 |
142.2 |
1.19 |
0.84 |
136.9 |
1.46 |
1.07 |
|
27.0 |
153.1 |
1.11 |
0.73 |
148.2 |
1.13 |
0.76 |
143.4 |
1.44 |
1.00 |
|
28.0 |
158.3 |
1.43 |
0.90 |
153.8 |
1.52 |
0.99 |
148.8 |
1.37 |
0.92 |
- 25kV/20Hzでの動作ガス寿命:
|
25kV/20Hz |
エネルギー mJ |
|
|
|
10Hz |
20Hz |
|
0 |
135.1 |
129.7 |
|
36 |
128.9 |
123.8 |
|
72 |
121.8 |
119.2 |
|
108 |
114.7 |
113.5 |
|
15時間アイドル |
99.4 |
95.0 |
|
180 |
93.8 |
91.2 |
|
216 |
87.7 |
91.2 |
|
252 |
95.9 |
93.8 |
|
288 |
92.2 |
89.8 |
|
42時間アイドル |
85.5 |
80.5 |
|
324 |
79.4 |
76.1 |
|
360 |
72.9 |
70.1 |
|
396 |
67.6 |
65.9 |
|
432 |
62.5 |
61.5 |
|
468 |
60.1 |
58.4 |
|
504 |
55.1 |
52.9 |
|
540 |
50.1 |
49.2 |
- レンズ交換前後の比較：
- ビームプロファイル:15mm*5mm
印画紙でのプレゼンテーション
パルス幅: FWHM ≈ 16ns
IV. 試験場の写真
- パルス幅テスト:
- スペクトルテスト:
よくある質問
Q1: エキシマ レーザーの修理が必要かどうかはどうすればわかりますか?
A1: レーザーのエネルギー出力が低下し、最適なパフォーマンスが得られなくなった場合は、修理が必要になる可能性があります。関連する部品の写真をお送りいただければ、当社のエンジニアが事前評価を行います。
Q2: レーザー部品を修理に出す前に、どのような情報と準備が必要ですか?
A2: 送料を計算するには、連絡先情報と機器の寸法と重量が必要です。関税を避けるために、デバイスをしっかりと梱包し、「修理専用」と明記してください。
Q3：修理費用はいくらくらいかかりますか？追加料金はありますか?
A3: 修理費用は、作業の複雑さと部品交換の費用に基づいて決まります。修理中に内部の黒いデバイスの故障など、他の問題が発見された場合は、追加費用が発生する可能性があります。具体的な費用は検査後に決定させていただきます。
Q4: 修理後の輸送や返却はどのように行われますか?
A4: 修理完了後、お客様からご提供いただいた返送先住所に基づいて輸送を手配いたします。発送先住所と返送先住所の両方をご確認ください。送料の見積もりに影響します。
Q5: 修理保証はありますか？
A5: 修理した機器が性能基準を満たしていることを確認するために、すべての修理サービスに保証期間を設けています。
Q6: 修理の進行状況を追跡するにはどうすればよいですか?
A6: WeChat や電子メールなどの連絡方法を通じて、修理の進捗状況を確認できます。また、重要な修理状況についても積極的にお知らせします。
Q7: 海外の顧客の修理ニーズにはどのように対応しますか?
A7: 海外のお客様に対しては、お客様の機器が当社の修理センターに安全に届くよう、完全な物流サポートと税関に関するアドバイスを提供します。
Q8: 追加の修理が必要になった場合の連絡はどのように行われますか?
A8: 修理プロセス中に追加の問題が発見された場合は、お客様に適切なタイミングで連絡し、詳細な修理計画と予算を提供して、お客様が意思決定を行うための十分な情報を確保できるようにします。
