• パルスエネルギー：最大単一パルスエネルギー 158.3mJ (@28kV)

修理事例研究： CompexPro102Fエキシマレーザーの完全リファービッシュ＆性能向上

レーザーシステム： Coherent CompexPro102F エキシマレーザー
サービス日： 2025年6月
目的： 性能を回復・向上させるための完全なシステムオーバーホール。248nmで単一パルスエネルギー300mJ超を達成し、全体の運用寿命を改善。

背景と課題：
クライアントのCompexPro102Fエキシマレーザーシステムは、包括的なメンテナンスと修理を必要としていました。主な目標は、動作波長248nmで単一パルスエネルギーが300mJを超える性能を回復し、システム全体の寿命を延ばすことでした。

当社の包括的なサービス＆修理プロセス：
当社のチームは、CompexPro102Fレーザーのすべての重要な要素に対処するために、綿密かつ体系的なアプローチを採用しました。

1. 放電ユニットの改修： 放電電極およびプレイオナイゼーションユニットの完全な改修を行い、最適で安定したプラズマ生成を確保しました。

2. レーザーキャビティの整備： レーザーキャビティを慎重に開放し、摩耗や汚染の有無を検査し、徹底的に清掃および再調整しました。

3. ガス循環システムのオーバーホール： ファンとダクトを含むガス循環システムを改修し、安定したレーザー動作とガス寿命に不可欠な効率的で清浄なガス流れを確保しました。

4. サイラトロン・トリガーモジュールの修理： サイラトロン・トリガーモジュールを診断、修理し、正確で信頼性の高いスイッチングを保証するために厳密にテストしました。

5. 制御システムの診断と修理： 制御システム内の異常を特定し、修正して、円滑かつ安全な運転を保証しました。

6. システム全体のガス密閉性： ガスシステム全体にわたる包括的な漏れ検査を実施し、その後必要な修理を行い、真空の完全性とガスの純度を確保しました。

7. 高電圧電源のメンテナンス： 高電圧電源は安定かつ信頼性の高い電力供給を確保するために、徹底的な点検とメンテナンスを受けました。

8. システム全体のテストと性能検証： 修理後、レーザーシステム全体を組み立て、すべての性能指標が満たされているか、または上回っていることを確認するために徹底的なテストを実施しました。

結果と実績：
改修は非常に成功し、CompexPro102Fは契約上の性能目標を満たすだけでなく、大幅に上回りました。

• 波長確認：

  • 達成： 248nm（スペクトルピークは正確に248.3nmで測定）
    

• パルスエネルギー：

  • 目標： >300mJ @ 248nm

  • 達成最大値： 469mJ (28kV / 10Hz時)

  • レーザーは、さまざまな動作電圧および繰り返し周波数にわたり優れたエネルギー安定性を示しました。
    

テストビデオ

• ガス寿命：

  • レーザーは堅牢なガス寿命を示し、長時間のパルス数にわたり安定したエネルギー出力を維持しました。24kV/10Hzで、エネルギーは375.0mJから始まり、 162,000パルス後も317.0mJを維持しました。
    

• ビームプロファイル（スポットサイズ）：

  • 測定値： 約 24mm x 8mm

• パルス幅：

  • 測定値（FWHM）： 約 30ns

結論：
CompexPro102Fエキシマレーザーの包括的な修理・メンテナンスプログラムにより、稼働能力が完全に回復しました。システムは最大パルスエネルギーをはじめ、元の性能仕様を大幅に上回り、優れた安定性とガス寿命を示しています。この成功した改修は、クライアントの即時の運用ニーズを満たすだけでなく、貴重なレーザー機器の長期的な使用寿命も保証します。

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よくある質問

Q1: エキシマレーザーが修理を必要としているかどうかはどう判断できますか？
A1: レーザーの出力が低下し、最適な性能を発揮しなくなった場合は修理が必要かもしれません。関連部品の写真をお送りいただければ、技術者が予備評価を行います。

Q2: レーザー部品を修理に送る前に必要な情報や準備は何ですか？
A2: 送料を計算するために、お客様の連絡先情報と機器の寸法・重量が必要です。機器はしっかりと梱包し、「修理用のみ」と明確に表示して通関手数料を避けてください。

Q3: 修理費用はいくらですか？追加料金はありますか？
A3: 修理費用は作業の複雑さと部品交換費用に基づいています。修理中に内部のブラックデバイスの故障など他の問題が発見された場合は追加費用が発生することがあります。具体的な費用は検査後に決定します。

Q4: 修理後の輸送と返送はどのように手配されますか？
A4: 修理完了後は、お客様からご提供いただいた返送先住所に基づいて輸送を手配します。発送先と返送先の両方を必ずご確認ください。これらは送料見積もりに影響します。

Q5: 修理サービスには保証がありますか？
A5: 当社のすべての修理サービスには保証期間を設けており、修理後の機器が性能基準を満たすことを保証します。

Q6: 修理の進捗はどのように確認できますか？
A6: WeChatやメールなどの連絡手段を通じて修理の進捗を確認できます。重要な修理状況については、こちらからも積極的にご報告いたします。

Q7: 海外のお客様の修理対応はどのように行っていますか？
A7: 海外のお客様には、機器が安全に修理センターに到着するよう、完全な物流サポートと通関アドバイスを提供しています。

Q8: 追加の修理が必要になった場合、どのように連絡を取りますか？
A8: 修理過程で追加の問題が発見された場合は、速やかにご連絡し、詳細な修理計画と予算を提供して、十分な情報をもとにご判断いただけるようにいたします。

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