• パルスエネルギー: 最大単一パルスエネルギー 158.3mJ (@28kV)

修理事例研究： CompexPro102Fエキシマレーザーの完全改修と性能向上

レーザーシステム： Coherent CompexPro102F エキシマレーザー
サービス日： 2025年6月
目的： 性能を回復・向上させるためのシステム全体のオーバーホール。248nmで単一パルスエネルギー300mJ超を達成し、全体の運用寿命を改善します。

背景と課題：
クライアントのCompexPro102Fエキシマレーザーシステムは包括的なメンテナンスと修理を必要としていました。主な目標は、動作波長248nmで単一パルスエネルギー300mJ以上を達成し、システム全体の寿命を延ばすことでした。

当社の包括的なサービス＆修理プロセス：
当チームはCompexPro102Fレーザーのすべての重要な部品に対して、綿密かつ体系的なアプローチを実施しました：

1. 放電ユニットの改修： 放電電極および前イオン化ユニットの完全な改修により、最適で安定したプラズマ生成を確保します。

2. レーザーキャビティのメンテナンス： レーザーキャビティは慎重に開放され、摩耗や汚染の有無を点検し、徹底的に清掃され、再調整されました。

3. ガス循環システムのオーバーホール: ファンとダクトを含むガス循環システムはリファービッシュされ、安定したレーザー動作とガス寿命に不可欠な効率的で清浄なガス流れが確保されました。

4. サイラトロン・トリガーモジュールの修理: サイラトロン・トリガーモジュールは診断、修理され、正確で信頼性の高いスイッチングを保証するために厳密にテストされました。

5. 制御システムの診断と修理: 制御システム内の異常は特定され修正され、シームレスで安全な運用が保証されました。

6. システム全体のガス密閉性: ガスシステム全体にわたる包括的なリーク検査が実施され、真空の完全性とガスの純度を確保するために必要な修理が行われました。

7. 高電圧電源のメンテナンス: 高電圧電源は安定かつ信頼性の高い電力供給を確保するために徹底的な点検とメンテナンスが行われました。

8. システム全体のテストと性能検証: 修理後、レーザーシステム全体が組み立てられ、すべての性能指標が満たされているか超えていることを確認するために徹底的なテストが行われました。

結果と実績:
リファービッシュは非常に成功し、CompexPro102Fは契約上の性能目標を満たすだけでなく大幅に上回りました。

• 波長確認:

  • 達成: 248nm（スペクトルピークは正確に248.3nmで測定）
    

• パルスエネルギー:

  • 目標: >300mJ @ 248nm

  • 最大達成: 469mJ （28kV / 10Hz時）

  • レーザーは、さまざまな動作電圧および繰り返し率にわたり優れたエネルギー安定性を示しました。
    

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• ガス寿命：

  • レーザーは堅牢なガス寿命を示し、長時間のパルス数にわたり大きなエネルギー出力を維持しました。24kV/10Hzで、エネルギーは375.0mJから始まり、 162,000パルス後も317.0mJでした。
    

• ビームプロファイル（スポットサイズ）：

  • 測定値： 約 24mm x 8mm

• パルス幅：

  • 測定値（FWHM）： 約 30ns

結論:
CompexPro102Fエキシマレーザーの包括的な修理およびメンテナンスプログラムにより、運用能力が完全に回復しました。システムは最大パルスエネルギーをはじめ、元の性能仕様を大幅に上回り、優れた安定性とガス寿命を示しています。この成功した改修は、クライアントの即時の運用ニーズを満たすだけでなく、貴重なレーザー機器の長期的な使用寿命も保証します。

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よくある質問

Q1: エキシマレーザーが修理を必要としているかどうかはどう判断できますか？
A1: レーザーのエネルギー出力が低下し、最適な性能を発揮しなくなった場合は修理が必要かもしれません。関連部品の写真をお送りいただければ、技術者が予備評価を行います。

Q2: レーザー部品を修理に送る前に必要な情報と準備は何ですか？
A2: 送料を計算するために、お客様の連絡先情報と機器の寸法および重量が必要です。機器はしっかりと梱包し、「修理用のみ」と明確に表示して、関税がかからないようにしてください。

Q3: 修理費用はいくらですか？追加料金はありますか？
A3: 修理費用は作業の複雑さと部品交換費用に基づきます。内部のブラックデバイスの故障など他の問題が修理中に発見された場合は追加費用が発生することがあります。具体的な費用は検査後に決定されます。

Q4: 修理後の輸送と返送はどのように手配されますか？
A4: 修理完了後は、ご提供いただいた返送先住所に基づいて輸送を手配します。発送先と返送先の両方を必ずご確認ください。これらは送料見積もりに影響します。

Q5: 修理サービスには保証がありますか？
A5: 当社のすべての修理サービスには保証期間を設けており、修理後の機器が性能基準を満たすことを保証しています。

Q6: 修理の進捗はどのように追跡できますか？
A6: WeChatやメールなどの連絡手段を通じて修理の進捗を確認できます。重要な修理状況については、こちらからも積極的にご連絡いたします。

Q7: 海外のお客様の修理ニーズはどのように対応していますか？
A7: 海外のお客様には、機器が安全に修理センターに到着するよう、完全な物流サポートと通関アドバイスを提供しています。

Q8: 追加の修理が必要になった場合、どのように連絡を取りますか？
A8: 修理過程で追加の問題が発見された場合は、速やかにご連絡し、詳細な修理計画と予算を提供して、十分な情報をもとにご判断いただけるようにいたします。

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