
Eksimer Lazer Nedir?
Eksimer lazer, nadir gaz halojen karışımını kazanç ortamı olarak kullanan ve son derece kısa dalga boylarında ultraviyole ışık üreten yüksek hassasiyetli bir lazer cihazıdır. Yüksek enerji çıkışı ve hassas kontrolü ile bilinen bu lazer türü, hassas malzeme işleme ve tıbbi uygulamalarda yaygın olarak kullanılır.
Eksimer Lazerlerin Uygulamaları

Eksimer lazerler, benzersiz özellikleri nedeniyle birçok endüstride yaygın olarak kullanılmaktadır:
- Yarı İletken Üretimi: Minyatürleştirme için litografi süreçlerinde kullanılır.
- Göz Cerrahisi: LASIK gibi, hastaların görüşünü iyileştirmek için.
- Malzeme İşleme: Çeşitli malzemelerin delme, kesme veya işaretlenmesinde kullanılır.
- Bilimsel Araştırma: Fizik ve kimyada hassas ölçümler ve deneylerde kullanılır.
Eksimer Lazer Onarımını Seçme Nedenleri
- Maliyet Etkinliği: Eksimer lazerler satın almak ve işletmek pahalıdır. Bu cihazları değiştirmek yerine onarmak maliyetleri önemli ölçüde azaltabilir.
- Uzun Ömür: Düzenli profesyonel bakım, lazer performansını sadece geri kazandırmakla kalmaz, aynı zamanda çalışma ömrünü önemli ölçüde uzatır.
- Arıza Süresi Önleme: Zamanında onarımlar, ekipman arızalarından kaynaklanan uzun duruş sürelerini önler, sürekli üretim ve araştırma faaliyetlerini garanti eder.
Neden Onarım Hizmetlerimizi Tercih Etmelisiniz?
- Sektör Liderliği: Sky Fire Laser, Çin'de eksimer lazerleri profesyonelce onarabilen az sayıdaki teknik ekipten biridir.
- Gelişmiş Tesisler: Onarım laboratuvarımız sektör lideri onarım ve izleme ekipmanları ile donatılmıştır.
- Deneyimli Teknisyenler: Mühendislik ekibimiz lazer teknolojisi onarımında derin bilgi ve geniş deneyime sahiptir.
- Özelleştirilmiş Hizmetler: Müşterilerimizin özel ihtiyaçları ve bütçelerine uygun kişiselleştirilmiş onarım planları sunuyoruz.
Onarım Vaka Çalışması: MIDI V5.2 Technolas Eksimer Lazer
Arka Plan
Nisan 2024'te, MIDI V5.2 Technolas eksimer lazerin performansını geri kazandırmak için zorlu bir proje üstlendik. Bu cihaz, birden fazla performans sorunu nedeniyle fabrika spesifikasyonlarını karşılayamıyor ve müşterinin üretimini etkiliyordu.
I. Bakım Detayları
- Lazer Boşluğu: Lazer boşluğunun açılması, incelenmesi, detaylı temizliği ve bakımı.
- Deşarj Elektrotları: Deşarj elektrotları ve ön iyonizasyon bileşenlerinin sputter ve korozyon temizliği.
- Gaz Dolaşım Hava Yolu: Gaz dolaşım hava yolunun yenilenmesi.
- Güç Kaynağı: Yüksek voltaj toz giderme güç kaynağının onarımı.
- Hava Geçirmezlik Testi: Kapsamlı hava geçirmezlik testi ve onarımı.
- Makine Testi: Performans kriterlerini geri kazandıran tam makine testi.
II. Sözleşmeye Bağlı Performans Kriterleri
- Performansın Geri Kazanımı: Lazerin tek darbede maksimum enerjisi >100mJ (193nm) olan genel lazer performansının geri kazanımı.
- Uzun Ömür: Cihazın uzun süreli çalışma ömrünün sağlanması.
III. Bakım Test Sonuçları
- Dalga Boyu: 193nm

- Atım Enerjisi: Maksimum tek atım enerjisi 158.3mJ (@28kV)
|
Enerji Depolama Voltajı (kV) |
Enerji (mJ) |
||||||||
|
1Hz |
10Hz |
20Hz |
|||||||
|
Ortalama |
Std |
Göreceli Std % |
Ortalama |
Std |
Göreceli Std % |
Ortalama |
Std |
Göreceli Std % |
|
|
25.0 |
139.2 |
0.89 |
0.64 |
135.1 |
1.34 |
0.99 |
129.7 |
1.75 |
1.35 |
|
26.0 |
148.7 |
1.09 |
0.73 |
142.2 |
1.19 |
0.84 |
136.9 |
1.46 |
1.07 |
|
27.0 |
153.1 |
1.11 |
0.73 |
148.2 |
1.13 |
0.76 |
143.4 |
1.44 |
1.00 |
|
28.0 |
158.3 |
1.43 |
0.90 |
153.8 |
1.52 |
0.99 |
148.8 |
1.37 |
0.92 |
- 25kV/20Hz'de Operasyonel Gaz Ömrü:
|
25kV/20Hz |
Enerji mJ |
|
|
|
10Hz |
20Hz |
|
0 |
135.1 |
129.7 |
|
36 |
128.9 |
123.8 |
|
72 |
121.8 |
119.2 |
|
108 |
114.7 |
113.5 |
|
15 saat boşta |
99.4 |
95.0 |
|
180 |
93.8 |
91.2 |
|
216 |
87.7 |
91.2 |
|
252 |
95.9 |
93.8 |
|
288 |
92.2 |
89.8 |
|
42 saat boşta |
85.5 |
80.5 |
|
324 |
79.4 |
76.1 |
|
360 |
72.9 |
70.1 |
|
396 |
67.6 |
65.9 |
|
432 |
62.5 |
61.5 |
|
468 |
60.1 |
58.4 |
|
504 |
55.1 |
52.9 |
|
540 |
50.1 |
49.2 |

- Lens değişimi öncesi ve sonrası karşılaştırma:

- Işın Profili:15mm*5mm
Fotoğrafik kağıt üzerinde sunum

Atım Genişliği: FWHM ≈ 16ns

IV. Test Alanı Fotoğrafları
- Atım Genişliği Testi:

- Spektrum Testi:

Onarım Vaka Çalışması: CompexPro102F Eksimer Lazer Tam Yenileme ve Performans Artırımı
Lazer Sistemi: Coherent CompexPro102F Eksimer Lazer
Servis Tarihi: Haziran 2025
Amaç: Performansı geri kazanmak ve artırmak için tam sistem revizyonu, 248nm'de 300mJ tek atım enerjisinin üzerine çıkmak ve genel çalışma ömrünü iyileştirmek.
Arka Plan ve Zorluk:
Bir müşterinin CompexPro102F eksimer lazer sistemi kapsamlı bakım ve onarım gerektiriyordu. Birincil hedef, çalışma dalga boyu 248nm'de 300mJ'den fazla tek atım enerjisi elde etmek ve tüm sistemin ömrünü uzatmaktı.
Kapsamlı Servis ve Onarım Sürecimiz:
Ekibimiz, CompexPro102F lazerin tüm kritik bileşenlerini ele almak için titiz ve sistematik bir yaklaşım benimsedi:
-
Deşarj Ünitesi Yenileme: Optimal ve stabil plazma üretimini sağlamak için deşarj elektrotları ve ön iyonizasyon birimlerinin tam yenilenmesi.
-
Lazer Boşluğu Servisi: Lazer boşluğu dikkatlice açıldı, aşınma veya kontaminasyon açısından incelendi, iyice temizlendi ve yeniden kondisyonlandı.
-
Gaz Dolaşım Sistemi Revizyonu: Fan ve kanal dahil gaz dolaşım sistemi yenilendi, bu da stabil lazer çalışması ve gaz ömrü için kritik olan verimli ve temiz gaz akışını sağladı.
-
Tiratron Tetik Modülü Onarımı: Tiratron tetik modülü teşhis edildi, onarıldı ve hassas ve güvenilir anahtarlamayı garanti etmek için titizlikle test edildi.
-
Kontrol Sistemi Teşhis ve Onarımı: Kontrol sistemindeki herhangi bir anormallik tespit edilip düzeltilerek sorunsuz ve güvenli çalışma sağlandı.
-
Sistem Genelinde Gaz Sızdırmazlığı: Tüm gaz sistemi genelinde kapsamlı bir kaçak tespit prosedürü uygulandı, ardından vakum bütünlüğü ve gaz saflığını sağlamak için gerekli onarımlar yapıldı.
-
Yüksek Voltaj Güç Kaynağı Bakımı: Yüksek voltaj güç kaynağı, kararlı ve güvenilir güç sağlamak için kapsamlı bir inceleme ve bakım sürecinden geçirildi.
-
Tam Sistem Testi ve Performans Doğrulaması: Onarımdan sonra, tüm lazer sistemi monte edildi ve tüm performans metriklerinin karşılandığını veya aşıldığını doğrulamak için kapsamlı testlere tabi tutuldu.
Sonuçlar ve Başarılar:
Yenileme işlemi son derece başarılı oldu, CompexPro102F sadece sözleşmeye bağlı performans hedeflerini karşılamakla kalmayıp önemli ölçüde aştı.
-
Dalga Boyu Onayı:
-
Elde Edilen: 248nm (Spektral tepe tam olarak 248.3nm'de ölçüldü)
-

-
Atım Enerjisi:
-
Hedef: >300mJ @ 248nm
-
Maksimum Elde Edildi: 469mJ (28kV / 10Hz'de)
-
Lazer, farklı çalışma voltajları ve tekrar oranları boyunca mükemmel enerji stabilitesi gösterdi.
-
|
Voltaj (kV) |
Enerji (mJ) |
|
|
5Hz Ortalama |
10Hz Ortalama |
|
|
22 |
319.0 |
316.0 |
|
23 |
345.0 |
347.0 |
|
24 |
379.0 |
375.0 |
|
25 |
404.0 |
402.0 |
|
26 |
430.0 |
426.0 |
|
27 |
452.0 |
451.0 |
|
28 |
473.0 |
469.0 |
Test Videosu

-
Gaz Ömrü:
-
Lazer, geniş bir darbe sayısı boyunca önemli enerji çıkışını koruyarak sağlam gaz ömrü gösterdi. 24kV/10Hz'de enerji 375.0mJ ile başladı ve 162.000 darbeden sonra hala 317.0mJ idi.
-
|
Darbe Sayısı (K) |
Enerji (mJ/24kV) |
|
10Hz |
|
|
Ortalama |
|
|
0 |
375.0 |
|
18 |
371.0 |
|
18 |
348.0 |
|
36 |
352.0 |
|
54 |
355.0 |
|
72 |
347.0 |
|
90 |
338.0 |
|
108 |
333.0 |
|
126 |
328.0 |
|
144 |
327.0 |
|
162 |
317.0 |

-
Işın Profili (Leke Boyutu):
-
Ölçülen: Yaklaşık 24mm x 8mm
-

-
Darbe Genişliği:
-
Ölçülen (FWHM): Yaklaşık 30ns
-

Sonuç:
CompexPro102F eksimer lazer için kapsamlı onarım ve bakım programı, operasyonel yeteneklerinin tam olarak geri kazanılmasını sağladı. Sistem artık özellikle maksimum darbe enerjisinde orijinal performans spesifikasyonlarını önemli ölçüde aşmakta ve mükemmel stabilite ile gaz ömrü sergilemektedir. Bu başarılı yenileme, müşterinin acil operasyonel ihtiyaçlarını karşılamakla kalmayıp, değerli lazer ekipmanları için uzatılmış bir hizmet ömrü de garanti etmektedir.


Eksimer lazeriniz uzman ilgisi gerektiriyor mu? Tamir ve bakım ihtiyaçlarınızı görüşmek için bugün bizimle iletişime geçin!
Video
Sıkça Sorulan Sorular
S1: Eksimer lazerimin tamire ihtiyacı olduğunu nasıl anlarım?
A1: Lazerinizin enerji çıkışı azaldıysa ve artık optimal performans sağlamıyorsa, tamire ihtiyacı olabilir. İlgili parçaların fotoğraflarını bize gönderebilirsiniz, mühendislerimiz ön değerlendirme yapacaktır.
S2: Lazer parçalarını tamire göndermeden önce hangi bilgiler ve hazırlıklar gereklidir?
A2: Nakliye maliyetlerini hesaplamak için iletişim bilgilerinizin yanı sıra ekipmanın boyutları ve ağırlığı gereklidir. Cihazı güvenli şekilde paketleyip "Sadece Tamir İçin" olarak açıkça işaretleyin, böylece gümrük vergilerinden kaçınılır.
S3: Tamir maliyetleri nedir? Ek ücretler var mı?
A3: Tamir maliyetleri işin karmaşıklığına ve parça değişim maliyetine bağlıdır. İç siyah cihazdaki arızalar gibi diğer sorunlar tamir sırasında tespit edilirse ek maliyetler çıkabilir. Kesin maliyetler inceleme sonrası belirlenecektir.
S4: Tamir sonrası taşıma ve iade nasıl düzenlenir?
A4: Tamir tamamlandıktan sonra, sağladığınız iade adresine göre taşıma düzenlemesi yapacağız. Gönderim ve iade adreslerini onaylayınız, çünkü bunlar nakliye fiyatını etkiler.
S5: Tamir hizmeti için garanti var mı?
A5: Tamir edilen ekipmanın performans standartlarını karşılamasını sağlamak için tüm tamir hizmetlerimizde garanti süresi sunuyoruz.
S6: Tamirin ilerlemesini nasıl takip edebilirim?
A6: WeChat ve e-posta gibi iletişim yöntemlerimizle tamir ilerlemesini takip edebilirsiniz. Ayrıca önemli tamir durumları hakkında sizi proaktif olarak bilgilendireceğiz.
S7: Uluslararası müşterilerin tamir ihtiyaçlarını nasıl karşılıyorsunuz?
A7: Uluslararası müşteriler için, ekipmanınızın tamir merkezimize güvenli bir şekilde ulaşmasını sağlamak amacıyla tam lojistik destek ve gümrük danışmanlığı sunuyoruz.
S8: Ek tamir ihtiyaçları ortaya çıkarsa iletişim nasıl sağlanır?
A8: Tamir sürecinde ek sorunlar keşfedilirse, sizinle zamanında iletişim kuracak ve karar vermeniz için yeterli bilgiye sahip olmanızı sağlamak amacıyla ayrıntılı bir tamir planı ve bütçe sunacağız.