Eksimer Lazer Nedir?
Eksimer lazer, ultraviyole ışık üretmek için nadir gaz halojen karışımını kazanç ortamı olarak kullanan yüksek hassasiyetli bir lazer cihazıdır ve son derece kısa dalga boylarına sahiptir. Yüksek enerji çıkışı ve hassas kontrolü ile bilinen bu lazer türü, hassas malzeme işleme ve tıbbi uygulamalarda yaygın olarak kullanılır.
Eksimer Lazerlerin Uygulamaları
Eksimer lazerler, benzersiz özellikleri nedeniyle birçok endüstride yaygın olarak kullanılmaktadır:
- Yarı İletken Üretimi: Miniatürleştirme için litografi süreçlerinde kullanılır.
- Göz Cerrahisi: Hastaların görüşünü iyileştirmek için LASIK gibi.
- Malzeme İşleme: Çeşitli malzemelerin delme, kesme veya işaretlenmesinde kullanılır.
- Bilimsel Araştırma: Fizik ve kimyada hassas ölçümler ve deneylerde kullanılır.
Eksimer Lazer Onarımını Seçme Nedenleri
- Maliyet Etkinliği: Eksimer lazerler satın alma ve işletme açısından pahalıdır. Bu cihazların değiştirilmesi yerine onarılması maliyetleri önemli ölçüde azaltabilir.
- Uzun Ömür: Düzenli profesyonel bakım, lazer performansını geri kazandırmakla kalmaz, aynı zamanda operasyonel ömrünü önemli ölçüde uzatır.
- Arıza Süresi Önleme: Zamanında onarımlar, ekipman arızalarından kaynaklanan uzun duruş sürelerini önler, sürekli üretim ve araştırma faaliyetlerini garanti eder.
Neden Onarım Hizmetlerimizi Seçmelisiniz?
- Sektör Liderliği: Sky Fire Laser, Çin'de eksimer lazerleri profesyonelce onarabilen az sayıdaki teknik ekipten biridir.
- Gelişmiş Tesisler: Onarım laboratuvarımız, sektör lideri onarım ve izleme ekipmanları ile donatılmıştır.
- Deneyimli Teknisyenler: Mühendislik ekibimiz lazer teknolojisi onarımında derin bilgi ve geniş deneyime sahiptir.
- Özelleştirilmiş Hizmetler: Müşterilerimizin özel ihtiyaçlarına ve bütçelerine uygun kişiselleştirilmiş onarım planları sunuyoruz.
Onarım Vaka Çalışması: MIDI V5.2 Technolas Eksimer Lazer
Arka Plan
Nisan 2024'te, MIDI V5.2 Technolas eksimer lazerin performansını geri kazandırmak için zorlu bir projeye başladık. Bu cihaz, birden fazla performans sorunu nedeniyle fabrika spesifikasyonlarını karşılayamıyor ve müşterinin üretimini etkiliyordu.
I. Bakım Detayları
- Lazer Kavitesi: Lazer kavitesinin açılması, incelenmesi, detaylı temizliği ve bakımı.
- Deşarj Elektrotları: Deşarj elektrotları ve ön iyonizasyon bileşenlerinin sputter temizliği ve korozyon giderimi.
- Gaz Dolaşım Hava Yolu: Gaz dolaşım hava yolunun yenilenmesi.
- Güç Kaynağı: Yüksek voltaj toz giderme güç kaynağının onarımı.
- Hava Geçirmezlik Testi: Kapsamlı hava geçirmezlik testi ve onarımı.
- Makine Testi: Performans kriterlerini geri kazandıran tam makine testi.
II. Sözleşmeye Bağlı Performans Kriterleri
- Performans Geri Kazanımı: Lazerin tek atım maksimum enerjisi >100mJ (193nm) ile genel lazer performansının geri kazanımı.
- Uzun Ömür: Cihazın uzun operasyonel ömrünü sağlama.
III. Bakım Test Sonuçları
- Dalga Boyu: 193nm
- Atım Enerjisi: Maksimum tek atım enerjisi 158.3mJ (@28kV)
|
Enerji Depolama Voltajı (kV) |
Enerji (mJ) |
||||||||
|
1Hz |
10Hz |
20Hz |
|||||||
|
Ort |
Std |
Göreceli Std % |
Ort |
Std |
Göreceli Std % |
Ort |
Std |
Göreceli Std % |
|
|
25.0 |
139.2 |
0.89 |
0.64 |
135.1 |
1.34 |
0.99 |
129.7 |
1.75 |
1.35 |
|
26.0 |
148.7 |
1.09 |
0.73 |
142.2 |
1.19 |
0.84 |
136.9 |
1.46 |
1.07 |
|
27.0 |
153.1 |
1.11 |
0.73 |
148.2 |
1.13 |
0.76 |
143.4 |
1.44 |
1.00 |
|
28.0 |
158.3 |
1.43 |
0.90 |
153.8 |
1.52 |
0.99 |
148.8 |
1.37 |
0.92 |
- 25kV/20Hz'de Operasyonel Gaz Ömrü:
|
25kV/20Hz |
Enerji mJ |
|
|
|
10Hz |
20Hz |
|
0 |
135.1 |
129.7 |
|
36 |
128.9 |
123.8 |
|
72 |
121.8 |
119.2 |
|
108 |
114.7 |
113.5 |
|
15 saat boşta |
99.4 |
95.0 |
|
180 |
93.8 |
91.2 |
|
216 |
87.7 |
91.2 |
|
252 |
95.9 |
93.8 |
|
288 |
92.2 |
89.8 |
|
42 saat boşta |
85.5 |
80.5 |
|
324 |
79.4 |
76.1 |
|
360 |
72.9 |
70.1 |
|
396 |
67.6 |
65.9 |
|
432 |
62.5 |
61.5 |
|
468 |
60.1 |
58.4 |
|
504 |
55.1 |
52.9 |
|
540 |
50.1 |
49.2 |
- Lens değişimi öncesi ve sonrası karşılaştırma：
- Işın Profili:15mm*5mm
Fotoğrafik kağıt üzerinde sunum
Atım Genişliği: FWHM ≈ 16ns
IV. Test Alanı Fotoğrafları
- Atım Genişliği Testi:
- Spektrum Testi:
Onarım Vaka Çalışması: CompexPro102F Eksimer Lazer Tam Yenileme & Performans Artırımı
Lazer Sistemi: Coherent CompexPro102F Eksimer Lazer
Servis Tarihi: Haziran 2025
Amaç: Performansı geri kazanmak ve artırmak için tam sistem yenilemesi, 248nm'de 300mJ tek atım enerjisinin üzerine çıkmak ve genel çalışma ömrünü iyileştirmek.
Arka Plan & Zorluk:
Bir müşterinin CompexPro102F eksimer lazer sistemi kapsamlı bakım ve onarım gerektiriyordu. Birincil hedef, çalışma dalga boyu 248nm'de 300mJ'den fazla tek atım enerjisi elde etmek ve tüm sistemin ömrünü uzatmaktı.
Kapsamlı Servis & Onarım Sürecimiz:
Ekibimiz, CompexPro102F lazerin tüm kritik bileşenlerini ele almak için titiz ve sistematik bir yaklaşım benimsedi:
-
Deşarj Ünitesi Yenileme: Deşarj elektrotları ve ön iyonizasyon ünitelerinin tam yenilenmesi, optimal ve stabil plazma üretimini sağlamak için.
-
Lazer Boşluğu Servisi: Lazer boşluğu dikkatlice açıldı, aşınma veya kirlenme açısından incelendi, iyice temizlendi ve yeniden kondisyona alındı.
-
Gaz Dolaşım Sistemi Revizyonu: Fan ve kanal dahil gaz dolaşım sistemi yenilendi; bu, stabil lazer çalışması ve gaz ömrü için kritik olan verimli ve temiz gaz akışını sağladı.
-
Tiratron Tetik Modülü Onarımı: Tiratron tetik modülü teşhis edildi, onarıldı ve hassas ve güvenilir anahtarlama garantisi için titizlikle test edildi.
-
Kontrol Sistemi Teşhis & Onarımı: Kontrol sistemindeki tüm anormallikler tespit edilip giderilerek sorunsuz ve güvenli çalışma sağlandı.
-
Sistem Genelinde Gaz Sızdırmazlığı: Tüm gaz sistemi genelinde kapsamlı bir kaçak tespiti prosedürü uygulandı, ardından vakum bütünlüğü ve gaz saflığını sağlamak için gerekli onarımlar yapıldı.
-
Yüksek Voltaj Güç Kaynağı Bakımı: Yüksek voltaj güç kaynağı, kararlı ve güvenilir güç sağlamak için kapsamlı bir inceleme ve bakımdan geçirildi.
-
Tam Sistem Testi & Performans Doğrulaması: Onarım sonrası, tüm lazer sistemi monte edildi ve tüm performans metriklerinin karşılandığını veya aşıldığını doğrulamak için kapsamlı testlere tabi tutuldu.
Sonuçlar & Başarılar:
Yenileme son derece başarılı oldu; CompexPro102F sadece sözleşmeye bağlı performans hedeflerini karşılamakla kalmayıp, önemli ölçüde aştı.
-
Dalga Boyu Onayı:
-
Başarıldı: 248nm (Spektral tepe tam olarak 248.3nm'de ölçüldü)
-
-
Atım Enerjisi:
-
Hedef: >300mJ @ 248nm
-
Elde Edilen Maksimum: 469mJ (28kV / 10Hz'de)
-
Lazer, çeşitli çalışma voltajları ve tekrar oranları boyunca mükemmel enerji kararlılığı gösterdi.
-
|
Voltaj (kV) |
Enerji (mJ) |
|
|
5Hz Ortalama |
10Hz Ortalama |
|
|
22 |
319.0 |
316.0 |
|
23 |
345.0 |
347.0 |
|
24 |
379.0 |
375.0 |
|
25 |
404.0 |
402.0 |
|
26 |
430.0 |
426.0 |
|
27 |
452.0 |
451.0 |
|
28 |
473.0 |
469.0 |
Test Videosu
-
Gaz Ömrü:
-
Lazer, uzun bir darbe sayısı boyunca önemli enerji çıkışını koruyarak sağlam gaz ömrü gösterdi. 24kV/10Hz'de, enerji 375.0mJ ile başladı ve hala 162.000 darbeden sonra 317.0mJ seviyesindeydi.
-
|
Darbe Sayısı (K) |
Enerji (mJ/24kV) |
|
10Hz |
|
|
Ort |
|
|
0 |
375.0 |
|
18 |
371.0 |
|
18 |
348.0 |
|
36 |
352.0 |
|
54 |
355.0 |
|
72 |
347.0 |
|
90 |
338.0 |
|
108 |
333.0 |
|
126 |
328.0 |
|
144 |
327.0 |
|
162 |
317.0 |
-
Işın Profili (Leke Boyutu):
-
Ölçülen: Yaklaşık 24mm x 8mm
-
-
Darbe Genişliği:
-
Ölçülen (FWHM): Yaklaşık 30ns
-
Sonuç:
CompexPro102F eksimer lazer için kapsamlı onarım ve bakım programı, sistemin çalışma yeteneklerinin tamamen geri kazanılmasını sağladı. Sistem artık özellikle maksimum darbe enerjisinde orijinal performans spesifikasyonlarını önemli ölçüde aşmakta ve mükemmel stabilite ile gaz ömrü göstermektedir. Bu başarılı yenileme, müşterinin anlık operasyonel ihtiyaçlarını karşılamakla kalmayıp, değerli lazer ekipmanlarının hizmet ömrünü de uzatmaktadır.
Eksimer lazeriniz uzman ilgisi gerektiriyor mu? Onarım ve bakım ihtiyaçlarınızı görüşmek için bugün bizimle iletişime geçin!
Video
Sıkça Sorulan Sorular
Q1: Eksimer lazerimin onarıma ihtiyacı olup olmadığını nasıl anlarım?
A1: Lazerinizin enerji çıkışı azaldıysa ve artık optimal performans sağlamıyorsa, onarım gerekebilir. İlgili parçaların fotoğraflarını bize gönderebilirsiniz, mühendislerimiz ön değerlendirme yapacaktır.
Q2: Lazer parçalarını onarım için göndermeden önce hangi bilgi ve hazırlıklar gereklidir?
A2: Nakliye maliyetlerini hesaplamak için iletişim bilgilerinizin yanı sıra ekipmanın boyutları ve ağırlığı gereklidir. Cihazı güvenli şekilde paketleyip "Sadece Onarım İçin" olarak açıkça işaretleyerek gümrük vergilerinden kaçının.
Q3: Onarım maliyetleri nedir? Ek ücretler var mı?
A3: Onarım maliyetleri işin karmaşıklığına ve parça değişim maliyetine bağlıdır. Onarım sırasında iç siyah cihazdaki arızalar gibi başka sorunlar tespit edilirse ek maliyetler ortaya çıkabilir. Kesin maliyetler inceleme sonrası belirlenecektir.
Q4: Onarım sonrası taşıma ve iade nasıl düzenlenir?
A4: Onarımlar tamamlandıktan sonra, sağladığınız iade adresine göre taşıma düzenlemesi yapacağız. Gönderim ve iade adreslerini lütfen onaylayın, çünkü bunlar nakliye fiyatını etkiler.
Q5: Onarım hizmeti için garanti var mı?
A5: Onarılan ekipmanın performans standartlarını karşılamasını sağlamak için tüm onarım hizmetlerimizde garanti süresi sunuyoruz.
Q6: Onarım sürecini nasıl takip edebilirim?
A6: Onarım ilerlemesini WeChat ve e-posta gibi iletişim yöntemlerimizle takip edebilirsiniz. Ayrıca önemli onarım durumları hakkında proaktif olarak sizi bilgilendireceğiz.
Q7: Uluslararası müşteriler için onarım ihtiyaçları nasıl karşılanıyor?
A7: Uluslararası müşterilerimiz için ekipmanınızın onarım merkezimize güvenli bir şekilde ulaşmasını sağlamak amacıyla tam lojistik destek ve gümrük danışmanlığı sunuyoruz.
Q8: Ek onarım ihtiyaçları ortaya çıkarsa iletişim nasıl sağlanır?
A8: Onarım sürecinde ek sorunlar keşfedilirse, sizinle zamanında iletişim kuracak ve karar vermeniz için yeterli bilgiye sahip olmanızı sağlamak amacıyla ayrıntılı bir onarım planı ve bütçe sunacağız.
