Τι είναι το Excimer Laser;

Το λέιζερ excimer είναι μια συσκευή λέιζερ υψηλής ακρίβειας που χρησιμοποιεί ένα μείγμα σπάνιων αλογονιδίων αερίων ως μέσο απολαβής για την παραγωγή υπεριώδους φωτός με εξαιρετικά μικρά μήκη κύματος. Γνωστός για την υψηλή απόδοση ενέργειας και τον ακριβή έλεγχο του, αυτός ο τύπος λέιζερ χρησιμοποιείται ευρέως στην επεξεργασία υλικών ακριβείας και σε ιατρικές εφαρμογές.

Εφαρμογές Excimer Laser

Τα λέιζερ Excimer χρησιμοποιούνται ευρέως σε πολλές βιομηχανίες λόγω των μοναδικών ιδιοτήτων τους:

• Κατασκευή ημιαγωγών: Χρησιμοποιείται σε διαδικασίες λιθογραφίας για μικρογραφία.
• Οφθαλμική χειρουργική: Όπως το LASIK, για τη βελτίωση της όρασης των ασθενών.
• Επεξεργασία υλικού: Χρησιμοποιείται για διάτρηση, κοπή ή σήμανση διαφόρων υλικών.
• Επιστημονική έρευνα: Χρησιμοποιείται σε ακριβείς μετρήσεις και πειράματα στη φυσική και τη χημεία.

Λόγοι για να επιλέξετε το Excimer Laser Repair

• Αποτελεσματικότητα κόστους: Η αγορά και η λειτουργία των λέιζερ Excimer είναι ακριβά. Η επισκευή αντί για την αντικατάσταση αυτών των συσκευών μπορεί να μειώσει σημαντικά το κόστος.
• Εκτεταμένη διάρκεια ζωής: Η τακτική επαγγελματική συντήρηση όχι μόνο αποκαθιστά την απόδοση του λέιζερ αλλά και επεκτείνει σημαντικά τη διάρκεια ζωής του.
• Πρόληψη χρόνου διακοπής λειτουργίας: Οι έγκαιρες επισκευές αποτρέπουν τους μεγάλους χρόνους διακοπής λειτουργίας που προκαλούνται από βλάβες του εξοπλισμού, διασφαλίζοντας συνεχείς δραστηριότητες παραγωγής και έρευνας.

Γιατί να επιλέξετε τις υπηρεσίες επισκευής μας;

• Ηγεσία του κλάδου: Το Sky Fire Laser είναι από τις λίγες τεχνικές ομάδες στην Κίνα που είναι σε θέση να επισκευάζουν επαγγελματικά λέιζερ excimer.
• Προηγμένες εγκαταστάσεις: Το εργαστήριο επισκευής μας είναι εξοπλισμένο με κορυφαίο στον κλάδο εξοπλισμό επισκευής και παρακολούθησης.
• Έμπειροι Τεχνικοί: Η ομάδα μηχανικών μας διαθέτει βαθιά γνώση και μεγάλη εμπειρία στην επισκευή τεχνολογίας λέιζερ.
• Προσαρμοσμένες υπηρεσίες: Προσφέρουμε εξατομικευμένα σχέδια επισκευής προσαρμοσμένα στις συγκεκριμένες ανάγκες και προϋπολογισμούς των πελατών μας.

Μελέτη περίπτωσης επισκευής: MIDI V5.2 Technolas Excimer Laser

Ιστορικό

Τον Απρίλιο του 2024, αναλάβαμε ένα δύσκολο έργο για την αποκατάσταση της απόδοσης ενός excimer laser MIDI V5.2 Technolas. Αυτή η συσκευή δεν ήταν σε θέση να πληροί τις εργοστασιακές προδιαγραφές λόγω πολλών προβλημάτων απόδοσης, που επηρεάζουν την παραγωγή του πελάτη.

I. Στοιχεία Συντήρησης

1. Κοιλότητα λέιζερ: Άνοιγμα, επιθεώρηση, σχολαστικός καθαρισμός και συντήρηση της κοιλότητας λέιζερ.
2. Ηλεκτρόδια εκφόρτισης: Καθαρισμός εκτόξευσης και διάβρωσης ηλεκτροδίων εκκένωσης και εξαρτημάτων προ-ιονισμού.
3. Διαδρομή αέρα κυκλοφορίας αερίου: Ανακαίνιση της διαδρομής αέρα κυκλοφορίας αερίου.
4. Τροφοδοσία: Επισκευή του τροφοδοτικού απομάκρυνσης σκόνης υψηλής τάσης.
5. Δοκιμή αεροστεγανότητας: Πλήρης δοκιμή και επισκευή αεροστεγανότητας.
6. Δοκιμή μηχανής: Ολοκληρωμένη δοκιμή μηχανών, επαναφορά σημείων αναφοράς απόδοσης.

II. Σημεία αναφοράς συμβατικών επιδόσεων

• Αποκατάσταση απόδοσης: Αποκατάσταση της συνολικής απόδοσης λέιζερ, με τη μέγιστη ενέργεια ενός παλμού του λέιζερ >100mJ (193nm).
• Εκτεταμένη διάρκεια ζωής: Εξασφάλιση εκτεταμένης διάρκειας ζωής της συσκευής.

III. Αποτελέσματα δοκιμής συντήρησης

• Μήκος κύματος: 193 nm

Τάση αποθήκευσης ενέργειας (kV)	Ενέργεια (mJ)
	1Hz			10 Hz			20 Hz
	Λεωφ	Std	Σχετικό Std %	Λεωφ	Std	Σχετικό Std %	Λεωφ	Std	Σχετικό Std %
25.0	139.2	0.89	0.64	135.1	1.34	0.99	129.7	1.75	1.35
26.0	148.7	1.09	0.73	142.2	1.19	0.84	136.9	1.46	1.07
27.0	153.1	1.11	0.73	148.2	1.13	0.76	143.4	1.44	1.00
28.0	158.3	1.43	0.90	153.8	1.52	0.99	148.8	1.37	0.92

 

• Διάρκεια ζωής αερίου λειτουργίας στα 25kV/20Hz:

25kV/20Hz Πλήθος παλμών (K)	Ενέργεια mJ
	10 Hz	20 Hz
0	135.1	129.7
36	128.9	123.8
72	121.8	119.2
108	114.7	113.5
Σε αδράνεια για 15 ώρες	99.4	95.0
180	93.8	91.2
216	87.7	91.2
252	95.9	93.8
288	92.2	89.8
Σε αδράνεια για 42 ώρες	85.5	80.5
324	79.4	76.1
360	72.9	70.1
396	67.6	65.9
432	62.5	61.5
468	60.1	58.4
504	55.1	52.9
540	50.1	49.2

 

• Σύγκριση πριν και μετά την αντικατάσταση φακού：

• Προφίλ δοκού: 15mm*5mm

Παρουσίαση σε φωτογραφικό χαρτί

 

Πλάτος παλμού: FWHM ≈ 16ns

IV. Φωτογραφίες τοποθεσίας δοκιμής

• Δοκιμή πλάτους παλμού:

• Δοκιμή φάσματος: