Τι είναι το Excimer Λέιζερ;
Ένα excimer λέιζερ είναι μια συσκευή λέιζερ υψηλής ακρίβειας που χρησιμοποιεί ένα μείγμα σπάνιων αλογονιδίων αερίων ως μέσο ενίσχυσης για την παραγωγή υπεριώδους φωτός με εξαιρετικά μικρά μήκη κύματος. Γνωστό για την υψηλή ενεργειακή του απόδοση και τον ακριβή έλεγχο, αυτός ο τύπος λέιζερ χρησιμοποιείται εκτενώς στην ακριβή επεξεργασία υλικών και ιατρικές εφαρμογές.
Εφαρμογές των Excimer Λέιζερ
Τα excimer λέιζερ χρησιμοποιούνται ευρέως σε διάφορες βιομηχανίες λόγω των μοναδικών τους ιδιοτήτων:
- Κατασκευή Ημιαγωγών: Χρησιμοποιούνται σε διαδικασίες λιθογραφίας για μινιατούρα.
- Οφθαλμολογική Χειρουργική: Όπως το LASIK, για τη βελτίωση της όρασης των ασθενών.
- Επεξεργασία Υλικών: Χρησιμοποιούνται για διάτρηση, κοπή ή σήμανση διαφόρων υλικών.
- Επιστημονική Έρευνα: Χρησιμοποιούνται σε ακριβείς μετρήσεις και πειράματα στη φυσική και τη χημεία.
Λόγοι για να Επιλέξετε Επισκευή Excimer Λέιζερ
- Αποδοτικότητα Κόστους: Οι excimer λέιζερ είναι ακριβά στην αγορά και λειτουργία. Η επισκευή αντί της αντικατάστασης αυτών των συσκευών μπορεί να μειώσει σημαντικά τα κόστη.
- Επεκταμένη Διάρκεια Ζωής: Η τακτική επαγγελματική συντήρηση όχι μόνο αποκαθιστά την απόδοση του λέιζερ αλλά και επεκτείνει σημαντικά τη λειτουργική του ζωή.
- Πρόληψη Διακοπών Λειτουργίας: Έγκαιρες επισκευές αποτρέπουν μακροχρόνιες διακοπές λόγω βλαβών εξοπλισμού, εξασφαλίζοντας συνεχή παραγωγή και ερευνητικές δραστηριότητες.
Γιατί να Επιλέξετε τις Υπηρεσίες Επισκευής μας;
- Ηγεσία στον Κλάδο: Η Sky Fire Laser είναι μία από τις λίγες τεχνικές ομάδες στην Κίνα ικανές να επισκευάζουν επαγγελματικά excimer λέιζερ.
- Προηγμένες Εγκαταστάσεις: Το εργαστήριο επισκευών μας είναι εξοπλισμένο με κορυφαίο εξοπλισμό επισκευής και παρακολούθησης.
- Έμπειροι Τεχνικοί: Η ομάδα μηχανικών μας διαθέτει βαθιά γνώση και εκτενή εμπειρία στην επισκευή τεχνολογίας λέιζερ.
- Προσαρμοσμένες Υπηρεσίες: Προσφέρουμε εξατομικευμένα σχέδια επισκευής προσαρμοσμένα στις συγκεκριμένες ανάγκες και προϋπολογισμούς των πελατών μας.
Μελέτη Περίπτωσης Επισκευής: Excimer Λέιζερ MIDI V5.2 Technolas
Φόντο
Τον Απρίλιο του 2024, αναλάβαμε ένα απαιτητικό έργο για την αποκατάσταση της απόδοσης ενός excimer λέιζερ MIDI V5.2 Technolas. Αυτή η συσκευή δεν μπορούσε να πληροί τις εργοστασιακές προδιαγραφές λόγω πολλαπλών προβλημάτων απόδοσης, επηρεάζοντας την παραγωγή του πελάτη.
I. Λεπτομέρειες Συντήρησης
- Θάλαμος Λέιζερ: Άνοιγμα, επιθεώρηση, σχολαστικός καθαρισμός και συντήρηση του θαλάμου λέιζερ.
- Ηλεκτρόδια Εκκένωσης: Καθαρισμός με σπινθηρισμό και απομάκρυνση διάβρωσης των ηλεκτροδίων εκκένωσης και των εξαρτημάτων προϊονισμού.
- Διαδρομή Κυκλοφορίας Αερίου: Ανακαίνιση της διαδρομής κυκλοφορίας αερίου.
- Τροφοδοτικό Ρεύματος: Επισκευή του τροφοδοτικού υψηλής τάσης για απομάκρυνση σκόνης.
- Δοκιμές Αεροστεγανότητας: Ολοκληρωμένες δοκιμές αεροστεγανότητας και επισκευή.
- Δοκιμές Μηχανής: Πλήρης δοκιμή μηχανής, αποκαθιστώντας τα πρότυπα απόδοσης.
II. Συμβατικά Πρότυπα Απόδοσης
- Αποκατάσταση Απόδοσης: Αποκατάσταση της συνολικής απόδοσης του λέιζερ, με τη μέγιστη ενέργεια ενός παλμού του λέιζερ >100mJ (193nm).
- Επεκταμένη Διάρκεια Ζωής: Εξασφάλιση επεκταμένης λειτουργικής διάρκειας της συσκευής.
III. Αποτελέσματα Δοκιμών Συντήρησης
- Μήκος κύματος: 193nm
- Ενέργεια παλμού: Μέγιστη ενέργεια μεμονωμένου παλμού 158.3mJ (@28kV)
|
Τάση αποθήκευσης ενέργειας (kV) |
Ενέργεια (mJ) |
||||||||
|
1Hz |
10Hz |
20Hz |
|||||||
|
Μέσος |
Std |
Σχετικό Std % |
Μέσος |
Std |
Σχετικό Std % |
Μέσος |
Std |
Σχετικό Std % |
|
|
25.0 |
139.2 |
0.89 |
0.64 |
135.1 |
1.34 |
0.99 |
129.7 |
1.75 |
1.35 |
|
26.0 |
148.7 |
1.09 |
0.73 |
142.2 |
1.19 |
0.84 |
136.9 |
1.46 |
1.07 |
|
27.0 |
153.1 |
1.11 |
0.73 |
148.2 |
1.13 |
0.76 |
143.4 |
1.44 |
1.00 |
|
28.0 |
158.3 |
1.43 |
0.90 |
153.8 |
1.52 |
0.99 |
148.8 |
1.37 |
0.92 |
- Χρόνος ζωής λειτουργικού αερίου στα 25kV/20Hz:
|
25kV/20Hz |
Ενέργεια mJ |
|
|
|
10Hz |
20Hz |
|
0 |
135.1 |
129.7 |
|
36 |
128.9 |
123.8 |
|
72 |
121.8 |
119.2 |
|
108 |
114.7 |
113.5 |
|
Αδράνεια για 15 ώρες |
99.4 |
95.0 |
|
180 |
93.8 |
91.2 |
|
216 |
87.7 |
91.2 |
|
252 |
95.9 |
93.8 |
|
288 |
92.2 |
89.8 |
|
Αδράνεια για 42 ώρες |
85.5 |
80.5 |
|
324 |
79.4 |
76.1 |
|
360 |
72.9 |
70.1 |
|
396 |
67.6 |
65.9 |
|
432 |
62.5 |
61.5 |
|
468 |
60.1 |
58.4 |
|
504 |
55.1 |
52.9 |
|
540 |
50.1 |
49.2 |
- Σύγκριση πριν και μετά την αντικατάσταση φακού：
- Προφίλ δέσμης:15mm*5mm
Παρουσίαση σε φωτογραφικό χαρτί
Πλάτος Παλμού: FWHM ≈ 16ns
IV. Φωτογραφίες Χώρου Δοκιμών
- Δοκιμή Πλάτους Παλμού:
- Δοκιμή Φάσματος:
Μελέτη Περίπτωσης Επισκευής: Πλήρης Ανακαίνιση & Βελτίωση Απόδοσης Excimer Λέιζερ CompexPro102F
Σύστημα Λέιζερ: Coherent CompexPro102F Excimer Laser
Ημερομηνία Υπηρεσίας: Ιούνιος 2025
Στόχος: Πλήρης ανακαίνιση συστήματος για αποκατάσταση και βελτίωση της απόδοσης, υπερβαίνοντας τα 300mJ ενέργεια ενός παλμού στα 248nm και βελτιώνοντας τη συνολική διάρκεια ζωής λειτουργίας.
Ιστορικό & Πρόκληση:
Το σύστημα excimer λέιζερ CompexPro102F ενός πελάτη απαιτούσε ολοκληρωμένη συντήρηση και επισκευή. Ο πρωταρχικός στόχος ήταν η αποκατάσταση της λειτουργικής του απόδοσης, με συγκεκριμένο στόχο την ενέργεια ενός παλμού μεγαλύτερη από 300mJ στο λειτουργικό μήκος κύματος των 248nm, και η εξασφάλιση παρατεταμένης διάρκειας ζωής για ολόκληρο το σύστημα.
Η Ολοκληρωμένη Διαδικασία Υπηρεσιών & Επισκευών μας:
Η ομάδα μας ακολούθησε μια σχολαστική και συστηματική προσέγγιση για να αντιμετωπίσει όλα τα κρίσιμα εξαρτήματα του λέιζερ CompexPro102F:
-
Ανακαίνιση Μονάδας Εκφόρτισης: Πλήρης ανακαίνιση των ηλεκτροδίων εκφόρτισης και των μονάδων προϊονισμού για να εξασφαλιστεί η βέλτιστη και σταθερή παραγωγή πλάσματος.
-
Συντήρηση Κοιλότητας Λέιζερ: Η κοιλότητα του λέιζερ ανοίχτηκε προσεκτικά, ελέγχθηκε για τυχόν φθορές ή μόλυνση, καθαρίστηκε σχολαστικά και ανακαινίστηκε.
-
Ανακαίνιση Συστήματος Κυκλοφορίας Αερίου: Το σύστημα κυκλοφορίας αερίου, συμπεριλαμβανομένου του ανεμιστήρα και των αγωγών, ανακαινίστηκε για να εξασφαλιστεί αποδοτική και καθαρή ροή αερίου, κρίσιμη για σταθερή λειτουργία λέιζερ και διάρκεια ζωής αερίου.
-
Επισκευή Μονάδας Ενεργοποίησης Θύρατρον: Η μονάδα ενεργοποίησης θύρατρον διαγνώστηκε, επισκευάστηκε και δοκιμάστηκε αυστηρά για να εγγυηθεί ακριβή και αξιόπιστη εναλλαγή.
-
Διαγνωστικός Έλεγχος & Επισκευή Συστήματος Ελέγχου: Εντοπίστηκαν και διορθώθηκαν τυχόν ανωμαλίες στο σύστημα ελέγχου για να εξασφαλιστεί ομαλή και ασφαλής λειτουργία.
-
Αεροστεγανότητα σε Όλο το Σύστημα: Πραγματοποιήθηκε ολοκληρωμένη διαδικασία ανίχνευσης διαρροών σε ολόκληρο το σύστημα αερίου, ακολουθούμενη από τις απαραίτητες επισκευές για να διασφαλιστεί η ακεραιότητα του κενού και η καθαρότητα του αερίου.
-
Συντήρηση Τροφοδοσίας Υψηλής Τάσης: Η τροφοδοσία υψηλής τάσης υποβλήθηκε σε λεπτομερή επιθεώρηση και συντήρηση για να εξασφαλιστεί σταθερή και αξιόπιστη παροχή ρεύματος.
-
Πλήρης Δοκιμή Συστήματος & Επικύρωση Απόδοσης: Μετά την επισκευή, ολόκληρο το σύστημα λέιζερ συναρμολογήθηκε και υποβλήθηκε σε εκτεταμένες δοκιμές για να επιβεβαιωθεί ότι όλοι οι δείκτες απόδοσης πληρούνταν ή υπερβαίνονταν.
Αποτελέσματα & Επιτεύγματα:
Η ανακαίνιση ήταν ιδιαίτερα επιτυχής, με το CompexPro102F να μην ικανοποιεί μόνο αλλά και να υπερβαίνει σημαντικά τους συμβατικούς στόχους απόδοσης.
-
Επιβεβαίωση Μήκους Κύματος:
-
Επιτεύχθηκε: 248nm (Φασματική κορυφή μετρημένη ακριβώς στα 248.3nm)
-
-
Ενέργεια Παλμού:
-
Στόχος: >300mJ @ 248nm
-
Επιτεύχθηκε Μέγιστο: 469mJ (στα 28kV / 10Hz)
-
Ο λέιζερ επέδειξε εξαιρετική σταθερότητα ενέργειας σε ένα εύρος λειτουργικών τάσεων και ρυθμών επανάληψης.
-
|
Τάση (kV) |
Ενέργεια (mJ) |
|
|
5Hz Μέσος |
10Hz Μέσος |
|
|
22 |
319.0 |
316.0 |
|
23 |
345.0 |
347.0 |
|
24 |
379.0 |
375.0 |
|
25 |
404.0 |
402.0 |
|
26 |
430.0 |
426.0 |
|
27 |
452.0 |
451.0 |
|
28 |
473.0 |
469.0 |
Δοκιμαστικό Βίντεο
-
Διάρκεια ζωής αερίου:
-
Ο λέιζερ απέδειξε ανθεκτική διάρκεια ζωής αερίου, διατηρώντας σημαντική ενεργειακή απόδοση σε μεγάλο αριθμό παλμών. Στα 24kV/10Hz, η ενέργεια ξεκίνησε από 375.0mJ και ήταν ακόμα στο 317.0mJ μετά από 162.000 παλμούς.
-
|
Αριθμός παλμών (K) |
Ενέργεια (mJ/24kV) |
|
10Hz |
|
|
Μέσος |
|
|
0 |
375.0 |
|
18 |
371.0 |
|
18 |
348.0 |
|
36 |
352.0 |
|
54 |
355.0 |
|
72 |
347.0 |
|
90 |
338.0 |
|
108 |
333.0 |
|
126 |
328.0 |
|
144 |
327.0 |
|
162 |
317.0 |
-
Προφίλ δέσμης (Μέγεθος κηλίδας):
-
Μετρημένο: Περίπου 24mm x 8mm
-
-
Πλάτος παλμού:
-
Μετρημένο (FWHM): Περίπου 30ns
-
Συμπέρασμα:
Το ολοκληρωμένο πρόγραμμα επισκευής και συντήρησης για το excimer λέιζερ CompexPro102F οδήγησε σε πλήρη αποκατάσταση των λειτουργικών του δυνατοτήτων. Το σύστημα πλέον υπερβαίνει σημαντικά τις αρχικές προδιαγραφές απόδοσης, ιδιαίτερα στην μέγιστη ενέργεια παλμού, και επιδεικνύει εξαιρετική σταθερότητα και διάρκεια ζωής αερίου. Αυτή η επιτυχημένη ανακαίνιση όχι μόνο καλύπτει τις άμεσες λειτουργικές ανάγκες του πελάτη αλλά και εξασφαλίζει παρατεταμένη διάρκεια ζωής για τον πολύτιμο λέιζερ εξοπλισμό τους.
Χρειάζεται το excimer λέιζερ σας εξειδικευμένη προσοχή; Επικοινωνήστε μαζί μας σήμερα για να συζητήσουμε τις ανάγκες επισκευής και συντήρησής σας!
Βίντεο
Συχνές Ερωτήσεις
Ε1: Πώς μπορώ να καταλάβω αν το excimer λέιζερ μου χρειάζεται επισκευή;
A1: Εάν η ενεργειακή απόδοση του λέιζερ σας μειωθεί και δεν παρέχει πλέον βέλτιστη απόδοση, μπορεί να χρειάζεται επισκευή. Μπορείτε να μας στείλετε φωτογραφίες των σχετικών μερών και οι μηχανικοί μας θα κάνουν μια προκαταρκτική αξιολόγηση.
Ε2: Ποιες πληροφορίες και προετοιμασίες απαιτούνται πριν την αποστολή των μερών λέιζερ για επισκευή;
A2: Χρειαζόμαστε τα στοιχεία επικοινωνίας σας, καθώς και τις διαστάσεις και το βάρος του εξοπλισμού για να υπολογίσουμε τα έξοδα αποστολής. Φροντίστε να συσκευάσετε με ασφάλεια τη συσκευή και να τη σημειώσετε καθαρά "Μόνο για Επισκευή" για να αποφύγετε τελωνειακά τέλη.
Ε3: Ποιο είναι το κόστος επισκευής; Υπάρχουν επιπλέον χρεώσεις;
A3: Το κόστος επισκευής βασίζεται στην πολυπλοκότητα της εργασίας και το κόστος αντικατάστασης ανταλλακτικών. Επιπλέον κόστη μπορεί να προκύψουν αν εντοπιστούν άλλα προβλήματα, όπως βλάβες στη μαύρη εσωτερική συσκευή, κατά την επισκευή. Τα συγκεκριμένα κόστη θα καθοριστούν μετά την επιθεώρηση.
Ε4: Πώς οργανώνονται η μεταφορά και η επιστροφή μετά την επισκευή;
A4: Μετά την ολοκλήρωση των επισκευών, θα οργανώσουμε τη μεταφορά βάσει της διεύθυνσης επιστροφής που παρέχετε. Παρακαλούμε επιβεβαιώστε τόσο τη διεύθυνση αποστολής όσο και επιστροφής καθώς επηρεάζουν την προσφορά αποστολής.
Ε5: Υπάρχει εγγύηση για την υπηρεσία επισκευής;
A5: Παρέχουμε περίοδο εγγύησης για όλες τις υπηρεσίες επισκευής μας ώστε να διασφαλίσουμε ότι ο επισκευασμένος εξοπλισμός πληροί τα πρότυπα απόδοσης.
Ε6: Πώς μπορώ να παρακολουθώ την πρόοδο της επισκευής;
A6: Μπορείτε να παρακολουθείτε την πρόοδο της επισκευής μέσω των μεθόδων επικοινωνίας μας, όπως WeChat και email. Θα σας ενημερώνουμε επίσης προληπτικά για σημαντικές καταστάσεις επισκευής.
Ε7: Πώς διαχειρίζεστε τις ανάγκες επισκευής για διεθνείς πελάτες;
A7: Για διεθνείς πελάτες, προσφέρουμε πλήρη υποστήριξη logistics και συμβουλές τελωνείων για να διασφαλίσουμε ότι ο εξοπλισμός σας φτάνει με ασφάλεια στο κέντρο επισκευής μας.
Ε8: Πώς γίνεται η επικοινωνία αν προκύψουν επιπλέον ανάγκες επισκευής;
A8: Εάν εντοπιστούν επιπλέον προβλήματα κατά τη διαδικασία επισκευής, θα επικοινωνήσουμε μαζί σας εγκαίρως και θα παρέχουμε λεπτομερή σχέδιο επισκευής και προϋπολογισμό για να διασφαλίσουμε ότι έχετε επαρκείς πληροφορίες για να λάβετε αποφάσεις.
