¿Qué es un láser excimer?

Un láser excimer es un dispositivo láser de alta precisión que utiliza una mezcla de haluros de gases raros como medio de ganancia para producir luz ultravioleta con longitudes de onda extremadamente cortas. Conocido por su alta producción de energía y control preciso, este tipo de láser se utiliza ampliamente en aplicaciones médicas y de procesamiento de materiales de precisión.

Aplicaciones de los láseres excimer

Los láseres excimer se utilizan ampliamente en varias industrias debido a sus propiedades únicas:

• Fabricación de semiconductores: Se utiliza en procesos de litografía para miniaturización.
• Cirugía Oftálmica: Como LASIK, para mejorar la visión de los pacientes.
• Procesamiento de materiales: Se utiliza para perforar, cortar o marcar diversos materiales.
• Investigación científica: Empleada en mediciones precisas y experimentos en física y química.

Razones para elegir la reparación con láser excimer

• Rentabilidad: Los láseres excimer son costosos de comprar y operar. Reparar estos dispositivos en lugar de reemplazarlos puede reducir significativamente los costos.
• Vida útil extendida: El mantenimiento profesional regular no solo restaura el rendimiento del láser sino que también extiende significativamente su vida operativa.
• Prevención de tiempos de inactividad: las reparaciones oportunas evitan tiempos de inactividad prolongados causados ​​por fallas en los equipos, lo que garantiza actividades continuas de producción e investigación.

¿Por qué elegir nuestros servicios de reparación?

• Liderazgo de la industria: Sky Fire Laser se encuentra entre los pocos equipos técnicos de China capaces de reparar láseres excimer de forma profesional.
• Instalaciones avanzadas: Nuestro laboratorio de reparación está equipado con equipos de monitoreo y reparación líderes en la industria.
• Técnicos experimentados: Nuestro equipo de ingeniería posee un profundo conocimiento y una amplia experiencia en reparación con tecnología láser.
• Servicios personalizados: Ofrecemos planes de reparación personalizados adaptados a las necesidades y presupuestos específicos de nuestros clientes.

Estudio de caso de reparación: MIDI V5.2 Technolas Excimer Laser

Fondo

En abril de 2024, emprendimos un proyecto desafiante para restaurar el rendimiento de un láser excimer MIDI V5.2 Technolas. Este dispositivo no pudo cumplir con las especificaciones de fábrica debido a múltiples problemas de rendimiento, lo que afectó la producción del cliente.

I. Detalles de mantenimiento

1. Cavidad del láser: Abrir, inspeccionar, limpiar a fondo y mantener la cavidad del láser.
2. Electrodos de descarga: limpieza por pulverización y corrosión de electrodos de descarga y componentes de preionización.
3. Vía de aire de circulación de gas: Rehabilitación de la vía de aire de circulación de gas.
4. Fuente de Alimentación: Reparación de la fuente de alimentación de eliminación de polvo de alto voltaje.
5. Pruebas de estanqueidad: Pruebas y reparaciones integrales de estanqueidad.
6. Pruebas de máquinas: Pruebas de máquinas completas, restaurando puntos de referencia de rendimiento.

II. Puntos de referencia de desempeño contractual

• Restauración del rendimiento: Restauración del rendimiento general del láser, con una energía máxima de un solo pulso del láser >100 mJ (193 nm).
• Vida útil extendida: Garantiza una vida útil operativa prolongada del dispositivo.

III. Resultados de la prueba de mantenimiento

• Longitud de onda: 193 nm

• Vida útil operativa del gas a 25 kV/20 Hz:

• Comparación antes y después del reemplazo de lentes：

• Perfil del haz: 15 mm * 5 mm

Presentación en papel fotográfico.

Ancho de pulso: FWHM ≈ 16ns

IV. Fotos del sitio de prueba

• Prueba de ancho de pulso:

• Pruebas de espectro: