• Energía del Pulso: Energía máxima de pulso único 158.3mJ (@28kV)

Estudio de Caso de Reparación: Reacondicionamiento Completo y Mejora de Rendimiento del Láser Excímero CompexPro102F

Sistema Láser: Láser Excímero Coherent CompexPro102F
Fecha de Servicio: Junio 2025
Objetivo: Revisión completa del sistema para restaurar y mejorar el rendimiento, superando los 300mJ de energía por pulso único a 248nm y mejorando la vida útil operativa general.

Antecedentes y Desafío:
El sistema láser excímero CompexPro102F de un cliente requirió mantenimiento y reparación exhaustivos. El objetivo principal fue restaurar su rendimiento operativo, apuntando específicamente a una energía de pulso único superior a 300mJ en su longitud de onda operativa de 248nm, y asegurar una vida útil prolongada para todo el sistema.

Nuestro Proceso Integral de Servicio y Reparación:
Nuestro equipo adoptó un enfoque meticuloso y sistemático para abordar todos los componentes críticos del láser CompexPro102F:

1. Reacondicionamiento de la Unidad de Descarga: Renovación completa de los electrodos de descarga y unidades de preionización para asegurar una generación óptima y estable del plasma.

2. Servicio de la cavidad del láser: La cavidad del láser fue cuidadosamente abierta, inspeccionada en busca de desgaste o contaminación, limpiada a fondo y reacondicionada.

3. Revisión completa del sistema de circulación de gas: El sistema de circulación de gas, incluyendo el ventilador y los conductos, fue renovado para asegurar un flujo de gas eficiente y limpio, crítico para la operación estable del láser y la vida útil del gas.

4. Reparación del módulo disparador del tiratrón: El módulo disparador del tiratrón fue diagnosticado, reparado y probado rigurosamente para garantizar un conmutado preciso y confiable.

5. Diagnóstico y reparación del sistema de control: Se identificaron y corrigieron cualquier anomalía dentro del sistema de control para asegurar una operación fluida y segura.

6. Estanqueidad del sistema de gas en todo el sistema: Se realizó un procedimiento exhaustivo de detección de fugas en todo el sistema de gas, seguido de las reparaciones necesarias para garantizar la integridad del vacío y la pureza del gas.

7. Mantenimiento de la fuente de alimentación de alto voltaje: La fuente de alimentación de alto voltaje fue inspeccionada y mantenida a fondo para asegurar una entrega de energía estable y confiable.

8. Pruebas completas del sistema y validación del rendimiento: Después de la reparación, todo el sistema láser fue ensamblado y sometido a pruebas exhaustivas para confirmar que se cumplieron o superaron todos los parámetros de rendimiento.

Resultados y logros:
La renovación fue altamente exitosa, con el CompexPro102F no solo cumpliendo sino superando significativamente los objetivos de rendimiento contractuales.

• Confirmación de longitud de onda:

  • Logrado: 248nm (Pico espectral medido con precisión en 248.3nm)
    

• Energía del pulso:

  • Objetivo: >300mJ @ 248nm

  • Máximo alcanzado: 469mJ (a 28kV / 10Hz)

  • El láser demostró una excelente estabilidad de energía a lo largo de un rango de voltajes de operación y tasas de repetición.
    

Video de prueba

• Vida útil del gas:

  • El láser demostró una vida útil robusta del gas, manteniendo una salida de energía significativa durante un conteo extendido de pulsos. A 24kV/10Hz, la energía comenzó en 375.0mJ y aún estaba en 317.0mJ después de 162,000 pulsos.
    

• Perfil del haz (tamaño del punto):

  • Medido: Aproximadamente 24mm x 8mm

• Ancho de pulso:

  • Medido (FWHM): Aproximadamente 30ns

Conclusión:
El programa integral de reparación y mantenimiento para el láser excímero CompexPro102F resultó en una restauración completa de sus capacidades operativas. El sistema ahora supera significativamente sus especificaciones originales de rendimiento, especialmente en la energía máxima del pulso, y demuestra excelente estabilidad y vida útil del gas. Esta exitosa renovación no solo satisface las necesidades operativas inmediatas del cliente, sino que también asegura una vida útil prolongada para su valioso equipo láser.

¿Su láser excímero necesita atención experta? ¡Contáctenos hoy para discutir sus necesidades de reparación y mantenimiento!

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Preguntas frecuentes

P1: ¿Cómo puedo saber si mi láser excímero necesita reparación?
A1: Si la salida de energía de su láser disminuye y ya no ofrece un rendimiento óptimo, puede necesitar reparaciones. Puede enviarnos fotos de las partes relevantes y nuestros ingenieros realizarán una evaluación preliminar.

P2: ¿Qué información y preparativos se necesitan antes de enviar las piezas del láser para reparación?
A2: Necesitamos su información de contacto, así como las dimensiones y el peso del equipo para calcular los costos de envío. Asegúrese de embalar el dispositivo de forma segura y marcarlo claramente como "Solo para reparación" para evitar aranceles aduaneros.

P3: ¿Cuáles son los costos de reparación? ¿Hay cargos adicionales?
A3: Los costos de reparación se basan en la complejidad del trabajo y el costo de reemplazo de piezas. Pueden surgir costos adicionales si se descubren otros problemas, como fallas en el dispositivo negro interno, durante la reparación. Los costos específicos se determinarán tras la inspección.

P4: ¿Cómo se organizan el transporte y la devolución después de la reparación?
A4: Después de completar las reparaciones, organizaremos el transporte según la dirección de retorno que usted proporcione. Por favor, confirme tanto la dirección de envío como la de retorno, ya que afectarán la cotización del envío.

P5: ¿Existe garantía para el servicio de reparación?
A5: Proporcionamos un período de garantía para todos nuestros servicios de reparación para asegurar que el equipo reparado cumpla con los estándares de rendimiento.

P6: ¿Cómo puedo rastrear el progreso de la reparación?
A6: Puede seguir el progreso de la reparación a través de nuestros métodos de contacto, como WeChat y correo electrónico. También le actualizaremos proactivamente sobre estados importantes de la reparación.

P7: ¿Cómo manejan las necesidades de reparación para clientes internacionales?
A7: Para clientes internacionales, ofrecemos soporte logístico completo y asesoría aduanera para garantizar que su equipo llegue de forma segura a nuestro centro de reparación.

P8: ¿Cómo se maneja la comunicación si surgen necesidades adicionales de reparación?
A8: Si se descubren problemas adicionales durante el proceso de reparación, nos comunicaremos con usted de manera oportuna y proporcionaremos un plan de reparación detallado y un presupuesto para asegurarnos de que tenga suficiente información para tomar decisiones.

Lectura adicional:

• servicio de reparación de fuente láser de fibra