• Energia dell'impulso: Energia massima di un singolo impulso 158.3mJ (@28kV)

Caso di studio sulla riparazione: Ristrutturazione completa e miglioramento delle prestazioni del laser excimer CompexPro102F

Sistema laser: Laser excimer Coherent CompexPro102F
Data del servizio: Giugno 2025
Obiettivo: Revisione completa del sistema per ripristinare e migliorare le prestazioni, superando i 300mJ di energia per impulso singolo a 248nm e migliorando la durata operativa complessiva.

Contesto e sfida:
Il sistema laser excimer CompexPro102F di un cliente necessitava di una manutenzione e riparazione complete. L'obiettivo principale era ripristinare le prestazioni operative, puntando specificamente a un'energia per impulso singolo superiore a 300mJ alla lunghezza d'onda operativa di 248nm, e garantire una durata estesa per l'intero sistema.

Il nostro processo completo di servizio e riparazione:
Il nostro team ha adottato un approccio meticoloso e sistematico per affrontare tutti i componenti critici del laser CompexPro102F:

1. Ristrutturazione dell'unità di scarica: Ristrutturazione completa degli elettrodi di scarica e delle unità di pre-ionizzazione per garantire una generazione di plasma ottimale e stabile.

2. Manutenzione della cavità laser: La cavità del laser è stata accuratamente aperta, ispezionata per usura o contaminazione, pulita a fondo e ricondizionata.

3. Revisione del sistema di circolazione del gas: Il sistema di circolazione del gas, inclusi ventilatore e canalizzazione, è stato revisionato per garantire un flusso di gas efficiente e pulito, fondamentale per un funzionamento stabile del laser e la durata del gas.

4. Riparazione del modulo di trigger del tiratron: Il modulo di trigger del tiratron è stato diagnosticato, riparato e testato rigorosamente per garantire commutazioni precise e affidabili.

5. Diagnostica e riparazione del sistema di controllo: Eventuali anomalie nel sistema di controllo sono state identificate e corrette per garantire un funzionamento fluido e sicuro.

6. Tenuta ermetica dell'intero sistema a gas: È stata eseguita una procedura completa di rilevamento perdite su tutto il sistema a gas, seguita dalle riparazioni necessarie per garantire l'integrità del vuoto e la purezza del gas.

7. Manutenzione dell'alimentatore ad alta tensione: L'alimentatore ad alta tensione è stato sottoposto a un'ispezione e manutenzione approfondite per garantire un'erogazione di potenza stabile e affidabile.

8. Test completo del sistema e convalida delle prestazioni: Dopo la riparazione, l'intero sistema laser è stato assemblato e sottoposto a test approfonditi per confermare che tutte le metriche di prestazione fossero raggiunte o superate.

Risultati e traguardi:
La revisione è stata altamente riuscita, con il CompexPro102F che non solo ha raggiunto ma ha superato significativamente gli obiettivi prestazionali contrattuali.

• Conferma della lunghezza d'onda:

  • Raggiunto: 248nm (Picco spettrale misurato con precisione a 248,3nm)
    

• Energia dell'impulso:

  • Obiettivo: >300mJ @ 248nm

  • Massimo raggiunto: 469mJ (a 28kV / 10Hz)

  • Il laser ha dimostrato un'eccellente stabilità energetica su una gamma di tensioni operative e frequenze di ripetizione.
    

Video di prova

• Durata del gas:

  • Il laser ha dimostrato una robusta durata del gas, mantenendo un'energia significativa su un numero esteso di impulsi. A 24kV/10Hz, l'energia è iniziata a 375,0mJ ed era ancora a 317,0mJ dopo 162.000 impulsi.
    

• Profilo del fascio (dimensione del punto):

  • Misurato: Circa 24mm x 8mm

• Larghezza dell'impulso:

  • Misurato (FWHM): Circa 30ns

Conclusione:
Il programma completo di riparazione e manutenzione per il laser excimer CompexPro102F ha portato a un completo ripristino delle sue capacità operative. Il sistema ora supera significativamente le specifiche di prestazione originali, in particolare per l'energia massima dell'impulso, e dimostra eccellente stabilità e durata del gas. Questo successo nella ristrutturazione non solo soddisfa le esigenze operative immediate del cliente, ma garantisce anche una vita utile estesa per il loro prezioso equipaggiamento laser.

Il vostro laser excimer necessita di assistenza esperta? Contattateci oggi per discutere le vostre esigenze di riparazione e manutenzione!

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Domande Frequenti

Q1: Come posso capire se il mio laser excimer necessita di riparazione?
A1: Se l'output energetico del vostro laser diminuisce e non offre più prestazioni ottimali, potrebbe necessitare di riparazioni. Potete inviarci foto delle parti interessate e i nostri ingegneri effettueranno una valutazione preliminare.

Q2: Quali informazioni e preparazioni sono necessarie prima di inviare le parti laser per la riparazione?
A2: Abbiamo bisogno delle vostre informazioni di contatto, nonché delle dimensioni e del peso dell'attrezzatura per calcolare i costi di spedizione. Assicuratevi di imballare il dispositivo in modo sicuro e di contrassegnarlo chiaramente con "Solo per riparazione" per evitare dazi doganali.

Q3: Quali sono i costi di riparazione? Ci sono costi aggiuntivi?
A3: I costi di riparazione si basano sulla complessità del lavoro e sul costo della sostituzione delle parti. Potrebbero sorgere costi aggiuntivi se durante la riparazione vengono scoperti altri problemi, come guasti al dispositivo nero interno. I costi specifici saranno determinati dopo l'ispezione.

Q4: Come vengono organizzati il trasporto e il ritorno dopo la riparazione?
A4: Dopo il completamento delle riparazioni, organizzeremo il trasporto in base all'indirizzo di ritorno che fornirete. Si prega di confermare sia l'indirizzo di spedizione che quello di ritorno poiché influenzeranno il preventivo di spedizione.

Q5: Esiste una garanzia per il servizio di riparazione?
A5: Forniamo un periodo di garanzia per tutti i nostri servizi di riparazione per garantire che l'attrezzatura riparata soddisfi gli standard di prestazione.

Q6: Come posso monitorare l'avanzamento della riparazione?
A6: Potete seguire l'avanzamento della riparazione tramite i nostri metodi di contatto, come WeChat e email. Vi aggiorneremo inoltre proattivamente sugli stati significativi della riparazione.

Q7: Come gestite le esigenze di riparazione per i clienti internazionali?
A7: Per i clienti internazionali, offriamo supporto logistico completo e consulenza doganale per garantire che la vostra attrezzatura arrivi in sicurezza al nostro centro di riparazione.

Q8: Come viene gestita la comunicazione se sorgono ulteriori necessità di riparazione?
A8: Se durante il processo di riparazione dovessero emergere problemi aggiuntivi, comunicheremo tempestivamente con voi e forniremo un piano di riparazione dettagliato e un preventivo per assicurarci che abbiate tutte le informazioni necessarie per prendere decisioni.

Ulteriori letture:

• servizio di riparazione sorgente laser a fibra