• Energie impuls: Energia maximă a unui singur impuls 158.3mJ (@28kV)

Studiu de caz reparație: Recondiționare completă și îmbunătățire a performanței laserului excimer CompexPro102F

Sistem laser: Coherent CompexPro102F Excimer Laser
Data serviciului: iunie 2025
Obiectiv: Revizie completă a sistemului pentru a restaura și îmbunătăți performanța, depășind energia impulsului unic de 300mJ la 248nm și îmbunătățind durata de viață operațională generală.

Context și provocare:
Sistemul laser excimer CompexPro102F al unui client a necesitat întreținere și reparații complete. Obiectivul principal a fost restaurarea performanței operaționale, vizând în mod specific o energie a impulsului unic mai mare de 300mJ la lungimea de undă operațională de 248nm și asigurarea unei durate de viață extinse pentru întregul sistem.

Procesul nostru cuprinzător de service și reparații:
Echipa noastră a adoptat o abordare meticuloasă și sistematică pentru a aborda toate componentele critice ale laserului CompexPro102F:

1. Recondiționarea unității de descărcare: Recondiționare completă a electrozilor de descărcare și a unităților de pre-ionizare pentru a asigura o generare optimă și stabilă a plasmei.

2. Întreținerea cavității laser: Cavitatea laser a fost deschisă cu atenție, inspectată pentru orice uzură sau contaminare, curățată temeinic și recondiționată.

3. Revizia sistemului de circulație a gazului: Sistemul de circulație a gazului, inclusiv ventilatorul și conductele, a fost recondiționat pentru a asigura un flux eficient și curat de gaz, esențial pentru funcționarea stabilă a laserului și durata de viață a gazului.

4. Reparația modulului de declanșare thyratron: Modulul de declanșare thyratron a fost diagnosticat, reparat și testat riguros pentru a garanta comutarea precisă și fiabilă.

5. Diagnosticare și reparație a sistemului de control: Orice anomalii din sistemul de control au fost identificate și remediate pentru a asigura o funcționare lină și sigură.

6. Etanșeitatea gazului în întregul sistem: A fost efectuată o procedură cuprinzătoare de detectare a scurgerilor în întregul sistem de gaz, urmată de reparațiile necesare pentru a asigura integritatea vidului și puritatea gazului.

7. Întreținerea sursei de alimentare de înaltă tensiune: Sursa de alimentare de înaltă tensiune a fost inspectată și întreținută temeinic pentru a asigura o alimentare stabilă și fiabilă.

8. Testarea completă a sistemului și validarea performanței: După reparație, întregul sistem laser a fost asamblat și supus unor teste extinse pentru a confirma că toate metricile de performanță au fost atinse sau depășite.

Rezultate și realizări:
Recondiționarea a fost extrem de reușită, CompexPro102F nu doar că a atins, ci a depășit semnificativ țintele contractuale de performanță.

• Confirmare lungime de undă:

  • Atins: 248nm (Vârful spectral măsurat precis la 248.3nm)
    

• Energie puls:

  • Țintă: >300mJ @ 248nm

  • Maxim atins: 469mJ (la 28kV / 10Hz)

  • Laserul a demonstrat o stabilitate excelentă a energiei pe o gamă de tensiuni de operare și rate de repetiție.
    

Test Video

• Durata de viață a gazului:

  • Laserul a demonstrat o durată de viață robustă a gazului, menținând o ieșire semnificativă de energie pe o perioadă extinsă de impulsuri. La 24kV/10Hz, energia a început la 375.0mJ și a fost încă la 317.0mJ după 162.000 de impulsuri.
    

• Profilul fasciculului (dimensiunea spotului):

  • Măsurat: Aproximativ 24mm x 8mm

• Lățimea impulsului:

  • Măsurat (FWHM): Aproximativ 30ns

Concluzie:
Programul cuprinzător de reparații și întreținere pentru laserul excimer CompexPro102F a dus la o restaurare completă a capacităților sale operaționale. Sistemul depășește acum semnificativ specificațiile inițiale de performanță, în special în ceea ce privește energia maximă a impulsului, și demonstrează o stabilitate excelentă și o durată de viață a gazului remarcabilă. Această recondiționare de succes nu doar că răspunde nevoilor operaționale imediate ale clientului, dar asigură și o durată de viață extinsă pentru echipamentul lor valoros de laser.

Laserul dumneavoastră excimer are nevoie de atenție specializată? Contactați-ne astăzi pentru a discuta nevoile dumneavoastră de reparație și întreținere!

Video

Întrebări frecvente

Întrebarea 1: Cum pot ști dacă laserul meu excimer are nevoie de reparație?
A1: Dacă puterea de ieșire a laserului dumneavoastră scade și nu mai oferă performanță optimă, este posibil să necesite reparații. Ne puteți trimite poze cu piesele relevante, iar inginerii noștri vor face o evaluare preliminară.

Întrebarea 2: Ce informații și pregătiri sunt necesare înainte de a trimite piesele laser pentru reparație?
A2: Avem nevoie de informațiile dumneavoastră de contact, precum și de dimensiunile și greutatea echipamentului pentru a calcula costurile de transport. Asigurați-vă că ambalați dispozitivul în siguranță și îl marcați clar cu "Doar pentru reparație" pentru a evita taxele vamale.

Întrebarea 3: Care sunt costurile de reparație? Există taxe suplimentare?
A3: Costurile de reparație se bazează pe complexitatea lucrării și costul înlocuirii pieselor. Pot apărea costuri suplimentare dacă se descoperă alte probleme, cum ar fi defecțiuni ale dispozitivului intern negru, în timpul reparației. Costurile specifice vor fi determinate după inspecție.

Întrebarea 4: Cum se organizează transportul și returul după reparație?
A4: După finalizarea reparațiilor, vom aranja transportul în funcție de adresa de retur pe care o furnizați. Vă rugăm să confirmați atât adresa de expediere, cât și cea de retur, deoarece acestea vor influența cotația pentru transport.

Întrebarea 5: Există garanție pentru serviciul de reparație?
A5: Oferim o perioadă de garanție pentru toate serviciile noastre de reparație pentru a asigura că echipamentul reparat îndeplinește standardele de performanță.

Întrebarea 6: Cum pot urmări progresul reparației?
A6: Puteți urmări progresul reparației prin metodele noastre de contact, cum ar fi WeChat și email. De asemenea, vă vom actualiza proactiv cu privire la stările importante ale reparației.

Întrebarea 7: Cum gestionați nevoile de reparație pentru clienții internaționali?
A7: Pentru clienții internaționali, oferim suport logistic complet și consultanță vamală pentru a asigura că echipamentul dumneavoastră ajunge în siguranță la centrul nostru de reparații.

Întrebarea 8: Cum se gestionează comunicarea dacă apar nevoi suplimentare de reparație?
A8: Dacă se descoperă probleme suplimentare în timpul procesului de reparare, vă vom comunica prompt și vă vom oferi un plan detaliat de reparație și un buget pentru a vă asigura că aveți suficiente informații pentru a lua decizii.

Lecturi suplimentare:

• serviciu de reparare sursă laser cu fibră