Ce este un laser cu excimer?

Un laser excimer este un dispozitiv laser de înaltă precizie care utilizează un amestec de halogenuri de gaz rare ca mediu de câștig pentru a produce lumină ultravioletă cu lungimi de undă extrem de scurte. Cunoscut pentru puterea sa ridicată de energie și controlul precis, acest tip de laser este utilizat pe scară largă în prelucrarea de precizie a materialelor și aplicații medicale.

Aplicații ale laserelor excimer

Laserele excimer sunt utilizate pe scară largă în mai multe industrii datorită proprietăților lor unice:

• Producție de semiconductori: utilizat în procesele de litografie pentru miniaturizare.
• Chirurgie oftalmică: cum ar fi LASIK, pentru a îmbunătăți vederea pacienților.
• Prelucrarea materialelor: folosit pentru găurirea, tăierea sau marcarea diferitelor materiale.
• Cercetare științifică: folosit în măsurători și experimente precise în fizică și chimie.

Motive pentru a alege Excimer Laser Repair

• Eficiență a costurilor: laserele cu excimer sunt scumpe de cumpărat și de utilizat. Repararea, mai degrabă decât înlocuirea acestor dispozitive, poate reduce semnificativ costurile.
• Durată de viață extinsă: Întreținerea profesională regulată nu numai că restabilește performanța laserului, ci și îi prelungește semnificativ durata de viață.
• Prevenirea perioadelor de nefuncționare: reparațiile la timp previn perioadele de nefuncționare prelungite cauzate de defecțiuni ale echipamentelor, asigurând activități continue de producție și cercetare.

De ce să alegeți serviciile noastre de reparații?

• Lider în industrie: Sky Fire Laser este printre puținele echipe tehnice din China capabile să repare profesional lasere cu excimeri.
• Facilități avansate: Laboratorul nostru de reparații este echipat cu echipamente de reparații și monitorizare de vârf.
• Tehnicieni cu experiență: echipa noastră de ingineri posedă cunoștințe aprofundate și experiență vastă în repararea tehnologiei laser.
• Servicii personalizate: oferim planuri de reparații personalizate, adaptate nevoilor și bugetelor specifice ale clienților noștri.

Studiu de caz pentru reparații: MIDI V5.2 Technolas Excimer Laser

fundal

În aprilie 2024, am întreprins un proiect provocator pentru a restabili performanța unui laser excimer MIDI V5.2 Technolas. Acest dispozitiv nu a putut îndeplini specificațiile din fabrică din cauza multiplelor probleme de performanță, care afectează producția clientului.

I. Detalii de întreținere

1. Cavitatea laser: deschiderea, inspectarea, curățarea temeinică și menținerea cavității laser.
2. Electrozi de descărcare: Curățarea prin pulverizare și coroziune a electrozilor de descărcare și a componentelor de preionizare.
3. Circulația aerului de gaz: renovarea căii de aer de circulație a gazului.
4. Sursa de alimentare: Repararea sursei de alimentare de înaltă tensiune pentru îndepărtarea prafului.
5. Testarea etanșeității la aer: testare și reparare cuprinzătoare de etanșeitate la aer.
6. Testarea mașinilor: testarea completă a mașinilor, restabilind standardele de performanță.

II. Benchmarkuri de performanță contractuală

• Restabilirea performanței: restabilirea performanței generale a laserului, cu energia maximă a impulsului unui singur laser >100mJ (193nm).
• Durată de viață extinsă: asigurarea unei durate de viață extinse a dispozitivului.

III. Rezultatele testelor de întreținere

• Lungime de undă: 193 nm

Tensiune de stocare a energiei (kV)	Energie (mJ)
	1 Hz			10 Hz			20 Hz
	Ave	Std	% relativ std	Ave	Std	% relativ std	Ave	Std	% relativ std
25.0	139.2	0.89	0.64	135.1	1.34	0.99	129.7	1.75	1.35
26.0	148.7	1.09	0.73	142.2	1.19	0.84	136.9	1.46	1.07
27.0	153.1	1.11	0.73	148.2	1.13	0.76	143.4	1.44	1.00
28.0	158.3	1.43	0.90	153.8	1.52	0.99	148.8	1.37	0.92

 

• Durată de viață operațională a gazului la 25kV/20Hz:

25kV/20Hz Numărarea pulsului (K)	Energie mJ
	10 Hz	20 Hz
0	135.1	129.7
36	128.9	123.8
72	121.8	119.2
108	114.7	113.5
Inactiv timp de 15 ore	99.4	95.0
180	93.8	91.2
216	87.7	91.2
252	95.9	93.8
288	92.2	89.8
Inactiv timp de 42 de ore	85.5	80.5
324	79.4	76.1
360	72.9	70.1
396	67.6	65.9
432	62.5	61.5
468	60.1	58.4
504	55.1	52.9
540	50.1	49.2

 

• Comparație înainte și după înlocuirea lentilelor：

• Profil fascicul: 15mm*5mm

Prezentare pe hârtie fotografică

 

Lățimea impulsului: FWHM ≈ 16ns

IV. Fotografii ale site-ului de testare

• Testarea lățimii pulsului:

• Testarea spectrului: