Koherent excimerlaskälla

Vad är en Excimerlaser?

En excimerlaser är en högprecisionslaserenhet som använder en blandning av ädelgas-halider som förstärkningsmedium för att producera ultraviolett ljus med extremt korta våglängder. Känd för sin höga energiproduktion och precisa kontroll, används denna typ av laser i stor utsträckning inom precisionsmaterialbearbetning och medicinska tillämpningar.

Tillämpningar av Excimerlasrar

excimerlaser i medicinsk tillämpning

Excimerlasrar används i stor utsträckning inom flera industrier tack vare deras unika egenskaper:

  • Halvledartillverkning: Används i litografiprocesser för miniaturisering.
  • Ögonskirurgi: Som LASIK, för att förbättra patienters syn.
  • Materialbearbetning: Används för borrning, skärning eller märkning av olika material.
  • Vetenskaplig forskning: Används i precisa mätningar och experiment inom fysik och kemi.

Anledningar att välja Excimerlaserreparation

  • Kostnadseffektivitet: Excimerlasrar är dyra att köpa och driva. Att reparera istället för att byta ut dessa enheter kan avsevärt minska kostnaderna.
  • Förlängd livslängd: Regelbundet professionellt underhåll återställer inte bara laserprestandan utan förlänger också dess driftstid avsevärt.
  • Förebyggande av driftstopp: Snabba reparationer förhindrar långa driftstopp orsakade av utrustningsfel, vilket säkerställer kontinuerlig produktion och forskningsverksamhet.

Varför välja våra reparations tjänster?

  • Branschledarskap: Sky Fire Laser är bland de få tekniska teamen i Kina som kan reparera excimerlasrar professionellt.
  • Avancerade faciliteter: Vårt reparationslabb är utrustat med branschledande reparations- och övervakningsutrustning.
  • Erfarna tekniker: Vårt ingenjörsteam har djup kunskap och omfattande erfarenhet av laserteknikreparationer.
  • Anpassade tjänster: Vi erbjuder personliga reparationsplaner anpassade efter kundernas specifika behov och budgetar.

Reparationsfallstudie: MIDI V5.2 Technolas Excimerlaser

Bakgrund

I april 2024 genomförde vi ett utmanande projekt för att återställa prestandan hos en MIDI V5.2 Technolas excimerlaser. Denna enhet kunde inte uppfylla fabrikspecifikationerna på grund av flera prestandaproblem, vilket påverkade kundens produktion.

I. Underhållsdetaljer

  1. Laserkavitet: Öppning, inspektion, grundlig rengöring och underhåll av laserkaviteter.
  2. Utsläppselektroder: Sputtring och korrosionsrengöring av utsläppselektroder och förjoniseringskomponenter.
  3. Gas-cirkulationsluftväg: Renovering av gas-cirkulationsluftvägen.
  4. Strömförsörjning: Reparation av högspänningsströmförsörjningen för dammborttagning.
  5. Täthetsprovning: Omfattande täthetsprovning och reparation.
  6. Maskintestning: Komplett maskintestning, återställande av prestandamått.

II. Kontraktsmässiga prestandamått

  • Prestandaåterställning: Återställning av den totala laserprestandan, med laserens maximala energi per enstaka puls >100mJ (193nm).
  • Förlängd livslängd: Säkerställer en förlängd driftstid för enheten.

III. Underhållstestresultat

  • Wavelength: 193nm
våglängdstestbild
  • Pulse Energy: Maximal energi för enstaka puls 158,3mJ (@28kV)

Energilagringsspänning (kV)

Energi (mJ)

1Hz

10Hz

20Hz

Medel

Std

Relativ Std %

Medel

Std

Relativ Std %

Medel

Std

Relativ Std %

25.0

139.2

0.89

0.64

135.1

1.34

0.99

129.7

1.75

1.35

26.0

148.7

1.09

0.73

142.2

1.19

0.84

136.9

1.46

1.07

27.0

153.1

1.11

0.73

148.2

1.13

0.76

143.4

1.44

1.00

28.0

158.3

1.43

0.90

153.8

1.52

0.99

148.8

1.37

0.92

 

  • Operationell gaslivslängd vid 25kV/20Hz:

25kV/20Hz
Pulscount (K)

Energi mJ

 

10Hz

20Hz

0

135.1

129.7

36

128.9

123.8

72

121.8

119.2

108

114.7

113.5

I vila i 15 timmar

99.4

95.0

180

93.8

91.2

216

87.7

91.2

252

95.9

93.8

288

92.2

89.8

I vila i 42 timmar

85.5

80.5

324

79.4

76.1

360

72.9

70.1

396

67.6

65.9

432

62.5

61.5

468

60.1

58.4

504

55.1

52.9

540

50.1

49.2


driftsprestanda vid 10hz och 20hz

 

  • Jämförelse före och efter linsbyte
driftsprestanda före och efter linsbyte

  • Strålprofil:15mm*5mm

Presentation på fotopapper

Presentation av fotografiskt papper

 

Pulslängd: FWHM ≈ 16ns

Pulslängd


IV. Testplatsfoton

  • Pulslängdstestning:
Pulslängdstestning
  • Spektrumtestning:
Spektrumtestning

Reparationsfallstudie: CompexPro102F Excimerlaser Fullständig Renovering & Prestandaförbättring

Lasersystem: Coherent CompexPro102F Excimerlaser
Servicedatum: Juni 2025
Mål: Fullständig systemöversyn för att återställa och förbättra prestanda, överstiga 300mJ enstaka pulseringsenergi vid 248nm och förbättra den totala driftlivslängden.

Bakgrund och utmaning:
En kunds CompexPro102F excimerlasersystem krävde omfattande underhåll och reparation. Huvudmålet var att återställa dess driftprestanda, med särskilt fokus på en enstaka pulseringsenergi över 300mJ vid dess driftvåglängd på 248nm, samt att säkerställa en förlängd livslängd för hela systemet.

Vår omfattande service- och reparationsprocess:
Vårt team genomförde en noggrann och systematisk genomgång av alla kritiska komponenter i CompexPro102F-lasern:

  1. Renovering av urladdningsenhet: Fullständig renovering av urladdningselektroder och förjoniseringsenheter för att säkerställa optimal och stabil plasmagenerering.

  2. Laserhålsservice: Laserkaviteten öppnades försiktigt, inspekterades för slitage eller kontaminering, rengjordes noggrant och återställdes.

  3. Översyn av gascirkulationssystem: Gascirkulationssystemet, inklusive fläkt och kanaler, renoverades för att säkerställa effektiv och ren gasflöde, vilket är avgörande för stabil laserdrift och gaslivslängd.

  4. Reparation av thyratron-trigger-modul: Thyratron-trigger-modulen diagnostiserades, reparerades och testades noggrant för att garantera exakt och pålitlig omkoppling.

  5. Diagnostik & reparation av styrsystem: Eventuella avvikelser i styrsystemet identifierades och åtgärdades för att säkerställa sömlös och säker drift.

  6. Systemomfattande gastäthet: En omfattande läckagedetekteringsprocedur utfördes över hela gassystemet, följt av nödvändiga reparationer för att säkerställa vakuumintegritet och gasrenhet.

  7. Underhåll av högspänningsaggregat: Högspänningsaggregatet genomgick noggrann inspektion och underhåll för att säkerställa stabil och pålitlig strömförsörjning.

  8. Fullständig systemtestning & prestandavalidering: Efter reparation monterades hela lasersystemet och genomgick omfattande tester för att bekräfta att alla prestandamått uppfylldes eller överträffades.

Resultat & Framgångar:
Renoveringen var mycket framgångsrik, där CompexPro102F inte bara uppfyllde utan betydligt överträffade de kontraktsenliga prestandamålen.

  • Våglängdsbekräftelse:

    • Uppnått: 248nm (Spektralt toppvärde exakt mätt till 248,3nm)

  • Pulsenergi:

    • Mål: >300mJ @ 248nm

    • Uppnått maximum: 469mJ (vid 28kV / 10Hz)

    • Lasern visade utmärkt energistabilitet över ett intervall av driftspänningar och repetitionsfrekvenser.

Spänning (kV)

Energi (mJ)

5Hz medelvärde

10Hz medelvärde

22

319.0

316.0

23

345.0

347.0

24

379.0

375.0

25

404.0

402.0

26

430.0

426.0

27

452.0

451.0

28

473.0

469.0

Testvideo

 

  • Gaslivslängd:

    • Lasern visade robust gaslivslängd och bibehöll betydande energiutgång över ett utökat antal pulser. Vid 24kV/10Hz började energin på 375,0mJ och var fortfarande på 317,0mJ efter 162 000 pulser.

Antal pulser (K)

Energi (mJ/24kV)

10Hz

Medel

0

375.0

18

371.0

18

348.0

36

352.0

54

355.0

72

347.0

90

338.0

108

333.0

126

328.0

144

327.0

162

317.0

  • Strålprofil (Spotstorlek):

    • Uppmätt: Ungefär 24mm x 8mm



 

  • Pulslängd:

    • Uppmätt (FWHM): Ungefär 30ns



Slutsats:
Det omfattande reparations- och underhållsprogrammet för CompexPro102F excimerlaser resulterade i en fullständig återställning av dess operativa kapacitet. Systemet överträffar nu betydligt sina ursprungliga prestandaspecifikationer, särskilt i maximal pulseringsenergi, och visar utmärkt stabilitet och gaslivslängd. Denna framgångsrika renovering uppfyller inte bara kundens omedelbara operativa behov utan säkerställer också en förlängd livslängd för deras värdefulla laserutrustning.

Behöver din excimerlaser expertvård? Kontakta oss idag för att diskutera dina reparations- och underhållsbehov!

 

 

Video

Vanliga frågor

Q1: Hur kan jag avgöra om min excimerlaser behöver repareras?
A1: Om energin i din laser minskar och inte längre levererar optimal prestanda kan den behöva repareras. Du kan skicka bilder på de relevanta delarna till oss, och våra ingenjörer gör en preliminär bedömning.

Q2: Vilken information och förberedelser behövs innan laserdelarna skickas för reparation?
A2: Vi behöver din kontaktinformation samt utrustningens mått och vikt för att beräkna fraktkostnader. Se till att paketera enheten säkert och märk tydligt "Endast för reparation" för att undvika tullavgifter.

Q3: Vad kostar reparationen? Finns det några extra avgifter?
A3: Reparationskostnader baseras på arbetskomplexitet och kostnaden för att byta ut delar. Ytterligare kostnader kan tillkomma om andra problem, såsom fel på den interna svarta enheten, upptäcks under reparationen. Specifika kostnader fastställs efter inspektion.

Q4: Hur ordnas transport och retur efter reparation?
A4: Efter att reparationerna är slutförda ordnar vi transport baserat på den returadress du anger. Vänligen bekräfta både avsändar- och returadresser eftersom de påverkar fraktkostnaden.

Q5: Finns det någon garanti för reparationsservicen?
A5: Vi erbjuder en garantitid för alla våra reparationsservice för att säkerställa att den reparerade utrustningen uppfyller prestandastandarder.

Q6: Hur kan jag följa reparationsförloppet?
A6: Du kan följa reparationsprocessen via våra kontaktmetoder, såsom WeChat och e-post. Vi kommer också proaktivt att uppdatera dig om viktiga reparationsstatusar.

Q7: Hur hanterar ni reparationsbehov för internationella kunder?
A7: För internationella kunder erbjuder vi komplett logistiskt stöd och tullrådgivning för att säkerställa att din utrustning når vår reparationscentral säkert.

Q8: Hur hanteras kommunikationen om ytterligare reparationsbehov uppstår?
A8: Om ytterligare problem upptäcks under reparationsprocessen kommer vi att kommunicera med dig i god tid och tillhandahålla en detaljerad reparationsplan och budget för att säkerställa att du har tillräcklig information för att fatta beslut.

 

Vidare läsning:



Fiberlaser Källreparationskursmaterial - Komplett e-bok

Kolla in det