• Pulseringsenergi: Maximal energi för enstaka puls 158,3mJ (@28kV)

Reparationsfallstudie: CompexPro102F Excimer Laser Fullständig renovering och prestandaförbättring

Lasersystem: Coherent CompexPro102F Excimer Laser
Service Datum: Juni 2025
Mål: Fullständig systemöversyn för att återställa och förbättra prestanda, överstiga 300mJ enstaka pulsånga vid 248nm och förbättra den övergripande driftlivslängden.

Bakgrund och utmaning:
En kunds CompexPro102F excimerlaser krävde omfattande underhåll och reparation. Huvudmålet var att återställa dess driftprestanda, med särskilt fokus på en enstaka pulsånga större än 300mJ vid dess driftvåglängd på 248nm, samt att säkerställa en förlängd livslängd för hela systemet.

Vår omfattande service- och reparationsprocess:
Vårt team genomförde en noggrann och systematisk metod för att åtgärda alla kritiska komponenter i CompexPro102F-lasern:

1. Renovering av urladdningsenhet: Fullständig renovering av urladdningselektroder och förjoniseringsenheter för att säkerställa optimal och stabil plasmagenerering.

2. Service av laserkavitet: Laserkaviteten öppnades försiktigt, inspekterades för slitage eller kontaminering, rengjordes noggrant och återställdes.

3. Översyn av gascirkulationssystem: Gascirkulationssystemet, inklusive fläkt och kanaler, renoverades för att säkerställa effektiv och ren gasflöde, vilket är avgörande för stabil laserdrift och gaslivslängd.

4. Reparation av thyratron-trigger-modul: Thyratron-trigger-modulen diagnostiserades, reparerades och testades noggrant för att garantera exakt och pålitlig växling.

5. Diagnostik & reparation av styrsystem: Eventuella avvikelser i styrsystemet identifierades och åtgärdades för att säkerställa smidig och säker drift.

6. Systemomfattande gastäthet: En omfattande läckagedetekteringsprocedur utfördes över hela gassystemet, följt av nödvändiga reparationer för att säkerställa vakuumintegritet och gasrenhet.

7. Underhåll av högspänningsaggregat: Högspänningsaggregatet genomgick noggrann inspektion och underhåll för att säkerställa stabil och pålitlig strömförsörjning.

8. Fullständig systemtestning & prestandavalidering: Efter reparationen monterades hela lasersystemet och genomgick omfattande tester för att bekräfta att alla prestandamått uppfylldes eller överträffades.

Resultat & prestationer:
Renoveringen var mycket framgångsrik, där CompexPro102F inte bara uppfyllde utan betydligt överträffade de kontraktsenliga prestandamålen.

• Våglängdsbekräftelse:

  • Uppnått: 248nm (Spektralt toppvärde exakt mätt till 248,3nm)
    

• Pulserande energi:

  • Mål: >300mJ @ 248nm

  • Uppnått maximum: 469mJ (vid 28kV / 10Hz)

  • Lasern visade utmärkt energistabilitet över ett spann av driftspänningar och repetitionsfrekvenser.
    

Testvideo

• Gastid:

  • Lasern visade robust gastid, med bibehållen betydande energiutgång över ett utökat antal pulser. Vid 24kV/10Hz startade energin på 375,0mJ och var fortfarande på 317,0mJ efter 162 000 pulser.
    

• Strålprofil (Fläckstorlek):

  • Uppmätt: Ungefär 24mm x 8mm

• Pulslängd:

  • Uppmätt (FWHM): Ungefär 30ns

Slutsats:
Det omfattande reparations- och underhållsprogrammet för CompexPro102F excimerlaser resulterade i en fullständig återställning av dess driftförmåga. Systemet överträffar nu avsevärt sina ursprungliga prestandaspecifikationer, särskilt i maximal pulseringsenergi, och visar utmärkt stabilitet och gaslivslängd. Denna framgångsrika renovering uppfyller inte bara kundens omedelbara driftsbehov utan säkerställer också en förlängd livslängd för deras värdefulla laserutrustning.

Behöver din excimerlaser expertvård? Kontakta oss idag för att diskutera dina reparations- och underhållsbehov!

Video

Vanliga frågor

Q1: Hur kan jag avgöra om min excimerlaser behöver repareras?
A1: Om energin i din laser minskar och inte längre levererar optimal prestanda kan den behöva repareras. Du kan skicka bilder på relevanta delar till oss, och våra ingenjörer gör en preliminär bedömning.

Q2: Vilken information och vilka förberedelser behövs innan laserdelarna skickas för reparation?
A2: Vi behöver dina kontaktuppgifter samt utrustningens mått och vikt för att beräkna fraktkostnader. Se till att paketera enheten säkert och märk tydligt "Endast för reparation" för att undvika tullavgifter.

Q3: Vad kostar reparationen? Finns det några extra avgifter?
A3: Reparationskostnader baseras på arbetskomplexitet och kostnaden för att byta delar. Ytterligare kostnader kan uppstå om andra problem, såsom fel på den interna svarta enheten, upptäcks under reparationen. Specifika kostnader fastställs efter inspektion.

Q4: Hur ordnas transport och retur efter reparation?
A4: Efter att reparationerna är slutförda ordnar vi transport baserat på den returadress du anger. Vänligen bekräfta både avsändar- och returadresser eftersom de påverkar fraktkostnaden.

Q5: Finns det någon garanti för reparationsservicen?
A5: Vi erbjuder en garantitid för alla våra reparationsservice för att säkerställa att den reparerade utrustningen uppfyller prestandastandarder.

Q6: Hur kan jag följa reparationsförloppet?
A6: Du kan följa reparationsförloppet via våra kontaktmetoder, såsom WeChat och e-post. Vi kommer också proaktivt att uppdatera dig om viktiga reparationsstatusar.

Q7: Hur hanterar ni reparationsbehov för internationella kunder?
A7: För internationella kunder erbjuder vi komplett logistiskt stöd och tullrådgivning för att säkerställa att din utrustning når vår reparationscentral säkert.

Q8: Hur hanteras kommunikationen om ytterligare reparationsbehov uppstår?
A8: Om ytterligare problem upptäcks under reparationsprocessen kommer vi att kommunicera med dig i god tid och tillhandahålla en detaljerad reparationsplan och budget för att säkerställa att du har tillräcklig information för att fatta beslut.

Vidare läsning:

• fiberlaser källreparationsservice