Vad är en Excimer Laser?

En excimerlaser är en laseranordning med hög precision som använder en blandning av ädelgashalider som förstärkningsmedium för att producera ultraviolett ljus med extremt korta våglängder. Denna typ av laser är känd för sin höga energieffekt och exakta kontroll och används i stor utsträckning i precisionsmaterialbearbetning och medicinska tillämpningar.

Tillämpningar av Excimer-lasrar

Excimerlasrar används i stor utsträckning i flera branscher på grund av deras unika egenskaper:

• Halvledartillverkning: Används i litografiprocesser för miniatyrisering.
• Ögonkirurgi: Som LASIK, för att förbättra patienternas syn.
• Materialbearbetning: Används för borrning, skärning eller märkning av olika material.
• Vetenskaplig forskning: Anställd i exakta mätningar och experiment inom fysik och kemi.

Skäl att välja Excimer Laser Repair

• Kostnadseffektivitet: Excimerlasrar är dyra att köpa och använda. Att reparera i stället för att byta ut dessa enheter kan minska kostnaderna avsevärt.
• Förlängd livslängd: Regelbundet professionellt underhåll återställer inte bara laserprestanda utan förlänger också dess livslängd avsevärt.
• Förebyggande av stillestånd: Reparationer i rätt tid förhindrar långa stilleståndstider orsakade av utrustningsfel, vilket säkerställer kontinuerlig produktion och forskningsaktiviteter.

Varför välja våra reparationstjänster?

• Branschledarskap: Sky Fire Laser är bland de få tekniska teamen i Kina som kan reparera excimerlasrar på ett professionellt sätt.
• Avancerade faciliteter: Vårt reparationslabb är utrustat med branschledande reparations- och övervakningsutrustning.
• Erfarna tekniker: Vårt ingenjörsteam har djup kunskap och lång erfarenhet av reparation av laserteknik.
• Anpassade tjänster: Vi erbjuder personliga reparationsplaner som är skräddarsydda för våra kunders specifika behov och budgetar.

Reparationsfallsstudie: MIDI V5.2 Technolas Excimer Laser

Bakgrund

I april 2024 genomförde vi ett utmanande projekt för att återställa prestandan hos en MIDI V5.2 Technolas excimerlaser. Den här enheten kunde inte uppfylla fabriksspecifikationerna på grund av flera prestandaproblem, vilket påverkar kundens produktion.

I. Underhållsdetaljer

1. Laserhålighet: Öppna, inspektera, rengöra och underhålla laserhålet.
2. Urladdningselektroder: Sputtring och korrosionsrengöring av urladdningselektroder och förjoniseringskomponenter.
3. Gascirkulationsluftväg: Renovering av gascirkulationsluftvägen.
4. Strömförsörjning: Reparation av strömförsörjningen för högspänningsdammborttagning.
5. Lufttäthetstestning: Omfattande lufttäthetstestning och reparation.
6. Maskintestning: Slutför maskintestning, återställ prestandariktmärken.

II. Kontraktuella prestandabenchmarks

• Prestandaåterställning: Återställande av övergripande laserprestanda, med laserns maximala enpulsenergi >100mJ (193nm).
• Förlängd livslängd: Säkerställer en förlängd livslängd för enheten.

III. Underhållstestresultat

• Våglängd: 193nm

Energilagringsspänning (kV)	Energi (mJ)
	1 Hz			10 Hz			20Hz
	Ave	Std	Relativ standard %	Ave	Std	Relativ standard %	Ave	Std	Relativ standard %
25.0	139.2	0.89	0.64	135.1	1.34	0.99	129.7	1.75	1.35
26.0	148.7	1.09	0.73	142.2	1.19	0.84	136.9	1.46	1.07
27.0	153.1	1.11	0.73	148.2	1.13	0.76	143.4	1.44	1.00
28.0	158.3	1.43	0.90	153.8	1.52	0.99	148.8	1.37	0.92

 

• Driftstid för gas vid 25kV/20Hz:

25kV/20Hz Pulsräkning (K)	Energi mJ
	10 Hz	20Hz
0	135.1	129.7
36	128.9	123.8
72	121.8	119.2
108	114.7	113.5
Tomgång i 15 timmar	99.4	95.0
180	93.8	91.2
216	87.7	91.2
252	95.9	93.8
288	92.2	89.8
Inaktiv i 42 timmar	85.5	80.5
324	79.4	76.1
360	72.9	70.1
396	67.6	65.9
432	62.5	61.5
468	60.1	58.4
504	55.1	52.9
540	50.1	49.2

 

• Jämförelse före och efter linsbyte：

• Balkprofil: 15mm*5mm

Presentation på fotopapper

 

Pulsbredd: FWHM ≈ 16ns

IV. Testa webbplatsfoton

• Pulsbreddstestning:

• Spektrumtestning: