• طاقة النبضة: أقصى طاقة نبضة واحدة 158.3mJ (@28kV)

دراسة حالة إصلاح: إعادة تأهيل كاملة وتحسين أداء ليزر CompexPro102F Excimer

نظام الليزر: ليزر Coherent CompexPro102F Excimer
تاريخ الخدمة: يونيو 2025
الهدف: إعادة تأهيل كاملة للنظام لاستعادة وتحسين الأداء، متجاوزًا طاقة نبضة واحدة 300 مللي جول عند 248 نانومتر وتحسين العمر التشغيلي العام.

الخلفية والتحدي:
تطلب نظام ليزر CompexPro102F Excimer الخاص بالعميل صيانة وإصلاح شاملة. كان الهدف الأساسي هو استعادة أدائه التشغيلي، مع التركيز بشكل خاص على تحقيق طاقة نبضة واحدة تزيد عن 300 مللي جول عند الطول الموجي التشغيلي 248 نانومتر، وضمان عمر افتراضي ممتد للنظام بأكمله.

عملية الخدمة والإصلاح الشاملة لدينا:
قام فريقنا باتباع نهج دقيق ومنهجي لمعالجة جميع المكونات الحرجة في ليزر CompexPro102F:

1. إعادة تأهيل وحدة التفريغ: إعادة تأهيل كاملة لأقطاب التفريغ ووحدات التأين المسبق لضمان توليد بلازما مثالي ومستقر.

2. خدمة تجويف الليزر: تم فتح تجويف الليزر بعناية، وفحصه لأي تآكل أو تلوث، وتنظيفه بدقة، وإعادة تأهيله.

3. تجديد نظام دوران الغاز: تم تجديد نظام دوران الغاز، بما في ذلك المروحة والقنوات، لضمان تدفق غاز فعال ونظيف، وهو أمر حاسم لتشغيل الليزر المستقر وعمر الغاز.

4. إصلاح وحدة تشغيل الثايراترون: تم تشخيص وإصلاح وحدة تشغيل الثايراترون واختبارها بدقة لضمان التبديل الدقيق والموثوق.

5. تشخيص وإصلاح نظام التحكم: تم تحديد وتصحيح أي شذوذات داخل نظام التحكم لضمان تشغيل سلس وآمن.

6. ضيق الغاز على مستوى النظام: تم إجراء إجراء شامل للكشف عن التسرب في نظام الغاز بأكمله، تلاه الإصلاحات اللازمة لضمان سلامة الفراغ ونقاء الغاز.

7. صيانة مزود الطاقة عالي الجهد: خضع مزود الطاقة عالي الجهد لفحص وصيانة دقيقة لضمان توفير طاقة مستقرة وموثوقة.

8. اختبار النظام الكامل والتحقق من الأداء: بعد الإصلاح، تم تجميع نظام الليزر بالكامل وخضع لاختبارات مكثفة لتأكيد تحقيق أو تجاوز جميع مقاييس الأداء.

النتائج والإنجازات:
كانت عملية التجديد ناجحة للغاية، حيث لم يقتصر جهاز CompexPro102F على تلبية أهداف الأداء التعاقدية فحسب، بل تجاوزها بشكل كبير.

• تأكيد الطول الموجي:

  • تم تحقيق: 248nm (تم قياس الذروة الطيفية بدقة عند 248.3nm)
    

• طاقة النبضة:

  • الهدف: >300mJ @ 248nm

  • الحد الأقصى المُحقق: 469mJ (عند 28kV / 10هرتز)

  • أظهر الليزر استقرارًا ممتازًا للطاقة عبر مجموعة من جهود التشغيل ومعدلات التكرار.
    

فيديو تجريبي

• عمر الغاز:

  • أظهر الليزر عمر غاز قوي، محافظًا على طاقة كبيرة على مدى عدد نبضات ممتد. عند 24kV/10Hz، بدأت الطاقة عند 375.0mJ وكانت لا تزال عند 317.0mJ بعد 162,000 نبضة.
    

• ملف الشعاع (حجم البقعة):

  • تم القياس: تقريبًا 24مم × 8مم

• عرض النبضة:

  • القياس (FWHM): تقريبًا 30ns

الخاتمة:
أدى برنامج الإصلاح والصيانة الشامل لليزر الإكسيمر CompexPro102F إلى استعادة كاملة لقدراته التشغيلية. النظام الآن يتجاوز بشكل كبير مواصفات الأداء الأصلية، خاصة في أقصى طاقة للنبضة، ويظهر استقرارًا ممتازًا وعمر غاز طويل. هذا التجديد الناجح لا يلبي فقط الاحتياجات التشغيلية الفورية للعميل ولكنه يضمن أيضًا عمر خدمة ممتد لمعدات الليزر القيمة الخاصة بهم.

هل يحتاج ليزر الإكسيمر الخاص بك إلى اهتمام خبير؟ اتصل بنا اليوم لمناقشة احتياجات الإصلاح والصيانة الخاصة بك!

فيديو

الأسئلة المتكررة

س1: كيف يمكنني معرفة ما إذا كان ليزر الإكسيمر الخاص بي يحتاج إلى إصلاح؟
A1: إذا انخفضت طاقة إخراج الليزر ولم تعد تقدم الأداء الأمثل، فقد يحتاج إلى إصلاح. يمكنك إرسال صور للأجزاء ذات الصلة، وسيقوم مهندسونا بإجراء تقييم أولي.

س2: ما المعلومات والاستعدادات المطلوبة قبل إرسال أجزاء الليزر للإصلاح؟
A2: نحتاج إلى معلومات الاتصال الخاصة بك، بالإضافة إلى أبعاد ووزن المعدات لحساب تكاليف الشحن. تأكد من تغليف الجهاز بأمان ووضع علامة واضحة عليه "للإصلاح فقط" لتجنب الرسوم الجمركية.

س3: ما هي تكاليف الإصلاح؟ هل هناك رسوم إضافية؟
A3: تعتمد تكاليف الإصلاح على تعقيد العمل وتكلفة استبدال الأجزاء. قد تنشأ تكاليف إضافية إذا تم اكتشاف مشكلات أخرى، مثل أعطال في الجهاز الأسود الداخلي، أثناء الإصلاح. سيتم تحديد التكاليف المحددة بعد الفحص.

س4: كيف يتم ترتيب النقل والإرجاع بعد الإصلاح؟
A4: بعد الانتهاء من الإصلاحات، سنرتب النقل بناءً على عنوان الإرجاع الذي تقدمه. يرجى تأكيد كل من عناوين الإرسال والإرجاع لأنها ستؤثر على عرض تكلفة الشحن.

س5: هل هناك ضمان لخدمة الإصلاح؟
A5: نوفر فترة ضمان لجميع خدمات الإصلاح لدينا لضمان أن المعدات التي تم إصلاحها تلبي معايير الأداء.

س6: كيف يمكنني تتبع تقدم الإصلاح؟
A6: يمكنك متابعة تقدم الإصلاح عبر طرق الاتصال الخاصة بنا، مثل WeChat والبريد الإلكتروني. سنقوم أيضًا بتحديثك بشكل استباقي بحالة الإصلاحات المهمة.

س7: كيف تتعاملون مع احتياجات الإصلاح للعملاء الدوليين؟
A7: للعملاء الدوليين، نقدم دعمًا لوجستيًا كاملاً ونصائح جمركية لضمان وصول معداتك بأمان إلى مركز الإصلاح لدينا.

س8: كيف يتم التعامل مع التواصل إذا ظهرت احتياجات إصلاح إضافية؟
A8: إذا تم اكتشاف مشكلات إضافية أثناء عملية الإصلاح، سنتواصل معك في الوقت المناسب ونقدم خطة إصلاح مفصلة وميزانية لضمان حصولك على معلومات كافية لاتخاذ القرارات.

قراءة إضافية:

• خدمة إصلاح مصدر الليزر الليفي