ما هو ليزر الإكسيمر؟

ليزر الإكسيمر هو جهاز ليزر عالي الدقة يستخدم خليطًا من هاليدات الغاز النادرة كوسيط كسب لإنتاج ضوء فوق بنفسجي بأطوال موجية قصيرة للغاية. يشتهر هذا النوع من الليزر بإنتاجه العالي للطاقة والتحكم الدقيق، ويستخدم على نطاق واسع في معالجة المواد الدقيقة والتطبيقات الطبية.

تطبيقات ليزر الإكسيمر

يتم استخدام ليزر الإكسيمر على نطاق واسع في العديد من الصناعات نظرًا لخصائصه الفريدة:

• تصنيع أشباه الموصلات: يستخدم في عمليات الطباعة الحجرية للتصغير.
• جراحة العيون: مثل الليزك لتحسين رؤية المرضى.
• معالجة المواد: تستخدم لحفر المواد المختلفة أو قطعها أو وضع علامات عليها.
• البحث العلمي: يستخدم في القياسات والتجارب الدقيقة في الفيزياء والكيمياء.

أسباب اختيار إصلاح ليزر الإكسيمر

• فعالية التكلفة: يعد شراء وتشغيل ليزر الإكسيمر باهظ الثمن. يمكن أن يؤدي إصلاح هذه الأجهزة بدلاً من استبدالها إلى تقليل التكاليف بشكل كبير.
• العمر الافتراضي الممتد: لا تؤدي الصيانة الاحترافية المنتظمة إلى استعادة أداء الليزر فحسب، بل تعمل أيضًا على إطالة عمره التشغيلي بشكل كبير.
• منع فترات التوقف عن العمل: تعمل الإصلاحات في الوقت المناسب على منع فترات التوقف الطويلة الناجمة عن أعطال المعدات، مما يضمن استمرار أنشطة الإنتاج والبحث.

لماذا تختار خدمات الإصلاح لدينا؟

• الريادة في الصناعة: تعد Sky Fire Laser من بين الفرق الفنية القليلة في الصين القادرة على إصلاح أجهزة ليزر الإكسيمر بشكل احترافي.
• المرافق المتقدمة: تم تجهيز معمل الإصلاح لدينا بمعدات إصلاح ومراقبة رائدة في الصناعة.
• الفنيون ذوو الخبرة: يتمتع فريقنا الهندسي بمعرفة عميقة وخبرة واسعة في إصلاح تكنولوجيا الليزر.
• الخدمات المخصصة: نحن نقدم خطط إصلاح مخصصة مصممة خصيصًا لتلبية الاحتياجات والميزانيات المحددة لعملائنا.

دراسة حالة الإصلاح: MIDI V5.2 Technolas Excimer Laser

خلفية

في أبريل 2024، قمنا بتنفيذ مشروع مليء بالتحديات لاستعادة أداء ليزر MIDI V5.2 Technolas excimer. لم يتمكن هذا الجهاز من تلبية مواصفات المصنع بسبب مشكلات متعددة في الأداء، مما أثر على إنتاج العميل.

I. تفاصيل الصيانة

1. تجويف الليزر: فتح تجويف الليزر وفحصه وتنظيفه بالكامل وصيانته.
2. أقطاب التفريغ: تنظيف الأخرق والتآكل لأقطاب التفريغ ومكونات ما قبل التأين.
3. المسار الهوائي لتدوير الغاز: تجديد مسار الهواء لتدوير الغاز.
4. مصدر الطاقة: إصلاح مصدر طاقة إزالة الغبار عالي الجهد.
5. اختبار محكم الإغلاق: اختبار وإصلاح محكم الإغلاق الشامل.
6. اختبار الآلة: إكمال اختبار الآلة واستعادة معايير الأداء.

ثانيا. معايير الأداء التعاقدي

• استعادة الأداء: استعادة أداء الليزر الإجمالي، مع الطاقة القصوى لنبضة الليزر الفردية > 100 مللي جول (193 نانومتر).
• العمر الافتراضي الممتد: ضمان العمر التشغيلي الممتد للجهاز.

ثالثا. نتائج اختبار الصيانة

• الطول الموجي: 193 نانومتر

جهد تخزين الطاقة (كيلو فولت)	الطاقة (ملي جول)
	1 هرتز			10 هرتز			20 هرتز
	افي	الأمراض المنقولة جنسيا	النسبة المئوية النسبية	افي	الأمراض المنقولة جنسيا	النسبة المئوية النسبية	افي	الأمراض المنقولة جنسيا	النسبة المئوية النسبية
25.0	139.2	0.89	0.64	135.1	1.34	0.99	129.7	1.75	1.35
26.0	148.7	1.09	0.73	142.2	1.19	0.84	136.9	1.46	1.07
27.0	153.1	1.11	0.73	148.2	1.13	0.76	143.4	1.44	1.00
28.0	158.3	1.43	0.90	153.8	1.52	0.99	148.8	1.37	0.92

 

• عمر الغاز التشغيلي عند 25 كيلو فولت/20 هرتز:

25kV/20Hz عدد النبض (ك)	الطاقة ملي جول
	10 هرتز	20 هرتز
0	135.1	129.7
36	128.9	123.8
72	121.8	119.2
108	114.7	113.5
خاملاً لمدة 15 ساعة	99.4	95.0
180	93.8	91.2
216	87.7	91.2
252	95.9	93.8
288	92.2	89.8
خاملاً لمدة 42 ساعة	85.5	80.5
324	79.4	76.1
360	72.9	70.1
396	67.6	65.9
432	62.5	61.5
468	60.1	58.4
504	55.1	52.9
540	50.1	49.2

 

• مقارنة قبل وبعد استبدال العدسة：

• ملف الشعاع: 15 مم * 5 مم

العرض على ورق التصوير الفوتوغرافي

 

عرض النبض: FWHM ≈ 16ns

رابعا. صور الموقع التجريبي

• اختبار عرض النبض:

• اختبار الطيف: