• طاقة النبضة: أقصى طاقة نبضة واحدة 158.3mJ (@28kV)

دراسة حالة إصلاح: إعادة تأهيل كاملة وتحسين أداء ليزر الإكسيمر CompexPro102F

نظام الليزر: Coherent CompexPro102F Excimer Laser
تاريخ الخدمة: يونيو 2025
الهدف: إعادة تأهيل كاملة للنظام لاستعادة وتحسين الأداء، متجاوزًا طاقة نبضة واحدة 300mJ عند 248nm وتحسين العمر التشغيلي العام.

الخلفية والتحدي:
نظام ليزر الإكسيمر CompexPro102F الخاص بالعميل تطلب صيانة وإصلاح شاملة. الهدف الأساسي كان استعادة أدائه التشغيلي، مع التركيز بشكل خاص على تحقيق طاقة نبضة واحدة تزيد عن 300mJ عند الطول الموجي التشغيلي 248nm، وضمان عمر افتراضي ممتد للنظام بأكمله.

عملية الخدمة والإصلاح الشاملة لدينا:
قام فريقنا باتباع نهج دقيق ومنهجي لمعالجة جميع المكونات الحرجة في ليزر CompexPro102F:

1. تجديد وحدة التفريغ: تجديد كامل لأقطاب التفريغ ووحدات التأين المسبق لضمان توليد بلازما مثالي ومستقر.

2. خدمة تجويف الليزر: تم فتح تجويف الليزر بعناية، وفحصه لأي تآكل أو تلوث، وتنظيفه بدقة، وإعادة تأهيله.

3. تجديد نظام دوران الغاز: تم تجديد نظام دوران الغاز، بما في ذلك المروحة والقنوات، لضمان تدفق غاز فعال ونظيف، وهو أمر حاسم لتشغيل الليزر المستقر وعمر الغاز.

4. إصلاح وحدة تشغيل الثايراترون: تم تشخيص وإصلاح وحدة تشغيل الثايراترون واختبارها بدقة لضمان التبديل الدقيق والموثوق.

5. تشخيص وإصلاح نظام التحكم: تم تحديد وتصحيح أي شذوذات داخل نظام التحكم لضمان تشغيل سلس وآمن.

6. ضيق الغاز على مستوى النظام: تم إجراء إجراء شامل للكشف عن التسرب في نظام الغاز بأكمله، تلاه الإصلاحات اللازمة لضمان سلامة الفراغ ونقاء الغاز.

7. صيانة مزود الطاقة عالي الجهد: خضع مزود الطاقة عالي الجهد لفحص وصيانة دقيقة لضمان توفير طاقة مستقرة وموثوقة.

8. اختبار النظام الكامل والتحقق من الأداء: بعد الإصلاح، تم تجميع نظام الليزر بالكامل وخضع لاختبارات مكثفة للتأكد من تحقيق أو تجاوز جميع مقاييس الأداء.

النتائج والإنجازات:
كان التجديد ناجحًا للغاية، حيث لم يقتصر جهاز CompexPro102F على تحقيق أهداف الأداء التعاقدية فحسب، بل تجاوزها بشكل كبير.

• تأكيد الطول الموجي:

  • تم تحقيقه: 248nm (تم قياس الذروة الطيفية بدقة عند 248.3nm)
    

• طاقة النبضة:

  • الهدف: >300mJ @ 248nm

  • الحد الأقصى المحقق: 469mJ (عند 28kV / 10Hz)

  • أظهر الليزر استقرارًا ممتازًا للطاقة عبر مجموعة من جهود التشغيل ومعدلات التكرار.
    

فيديو تجريبي

• عمر الغاز:

  • أظهر الليزر عمر غاز قوي، محافظًا على طاقة كبيرة على مدى عدد نبضات ممتد. عند 24kV/10Hz، بدأت الطاقة عند 375.0mJ ولا تزال عند 317.0mJ بعد 162,000 نبضة.
    

• ملف الشعاع (حجم البقعة):

  • المقاس: تقريبًا 24مم × 8مم

• عرض النبضة:

  • المقاس (FWHM): تقريبًا 30 نانوثانية

الخاتمة:
أسفر برنامج الإصلاح والصيانة الشامل لليزر الإكسيمر CompexPro102F عن استعادة كاملة لقدراته التشغيلية. النظام الآن يتجاوز بشكل كبير مواصفات الأداء الأصلية، خاصة في أقصى طاقة للنبضة، ويظهر استقرارًا ممتازًا وعمر غاز طويل. هذا التجديد الناجح لا يلبي فقط الاحتياجات التشغيلية الفورية للعميل، بل يضمن أيضًا عمر خدمة ممتد لمعدات الليزر القيمة الخاصة بهم.

هل يحتاج ليزر الإكسيمر الخاص بك إلى اهتمام خبير؟ اتصل بنا اليوم لمناقشة احتياجات الإصلاح والصيانة الخاصة بك!

فيديو

الأسئلة المتكررة

السؤال 1: كيف يمكنني معرفة ما إذا كان ليزري الإكسيمر يحتاج إلى إصلاح؟
الإجابة 1: إذا انخفضت طاقة إخراج الليزر الخاص بك ولم يعد يقدم الأداء الأمثل، فقد يحتاج إلى إصلاح. يمكنك إرسال صور للأجزاء ذات الصلة، وسيقوم مهندسونا بإجراء تقييم أولي.

السؤال 2: ما المعلومات والاستعدادات المطلوبة قبل إرسال أجزاء الليزر للإصلاح؟
الإجابة 2: نحتاج إلى معلومات الاتصال الخاصة بك، بالإضافة إلى أبعاد ووزن المعدات لحساب تكاليف الشحن. تأكد من تغليف الجهاز بشكل آمن ووضع علامة واضحة عليه "للإصلاح فقط" لتجنب الرسوم الجمركية.

السؤال 3: ما هي تكاليف الإصلاح؟ هل هناك رسوم إضافية؟
الإجابة 3: تعتمد تكاليف الإصلاح على تعقيد العمل وتكلفة استبدال الأجزاء. قد تنشأ تكاليف إضافية إذا تم اكتشاف مشكلات أخرى، مثل أعطال في الجهاز الأسود الداخلي، أثناء الإصلاح. سيتم تحديد التكاليف المحددة بعد الفحص.

السؤال 4: كيف يتم ترتيب النقل والإرجاع بعد الإصلاح؟
الإجابة 4: بعد الانتهاء من الإصلاحات، سنرتب النقل بناءً على عنوان الإرجاع الذي تقدمه. يرجى تأكيد كل من عناوين الإرسال والإرجاع لأنها ستؤثر على تكلفة الشحن.

السؤال 5: هل هناك ضمان لخدمة الإصلاح؟
الإجابة 5: نوفر فترة ضمان لجميع خدمات الإصلاح لدينا لضمان أن المعدات التي تم إصلاحها تلبي معايير الأداء.

السؤال 6: كيف يمكنني تتبع تقدم الإصلاح؟
الإجابة 6: يمكنك متابعة تقدم الإصلاح عبر طرق الاتصال الخاصة بنا، مثل WeChat والبريد الإلكتروني. سنقوم أيضًا بتحديثك بشكل استباقي بحالة الإصلاحات المهمة.

السؤال 7: كيف تتعاملون مع احتياجات الإصلاح للعملاء الدوليين؟
الإجابة 7: للعملاء الدوليين، نقدم دعمًا لوجستيًا كاملاً ونصائح جمركية لضمان وصول معداتك بأمان إلى مركز الإصلاح لدينا.

السؤال 8: كيف يتم التعامل مع التواصل إذا ظهرت احتياجات إصلاح إضافية؟
الإجابة 8: إذا تم اكتشاف مشكلات إضافية أثناء عملية الإصلاح، سنقوم بالتواصل معك في الوقت المناسب وتقديم خطة إصلاح مفصلة وميزانية لضمان حصولك على معلومات كافية لاتخاذ القرارات.

قراءة إضافية:

• خدمة إصلاح مصدر الليزر الليفي