• Impulsenergie: Maximale Einzelimpulsenergie 158,3mJ (@28kV)

Reparatur-Fallstudie: Komplette Überholung und Leistungssteigerung des CompexPro102F Excimerlasers

Lasersystem: Coherent CompexPro102F Excimerlaser
Servicedatum: Juni 2025
Ziel: Komplette Systemüberholung zur Wiederherstellung und Verbesserung der Leistung, mit einer Einzelpulsenenergie von über 300mJ bei 248nm und Verbesserung der gesamten Betriebslebensdauer.

Hintergrund & Herausforderung:
Das CompexPro102F-Excimerlasersystem eines Kunden erforderte eine umfassende Wartung und Reparatur. Das Hauptziel war die Wiederherstellung der Betriebsleistung, insbesondere die Erreichung einer Einzelpulsenenergie von über 300mJ bei der Betriebswellenlänge von 248nm, sowie die Sicherstellung einer verlängerten Lebensdauer des gesamten Systems.

Unser umfassender Service- und Reparaturprozess:
Unser Team verfolgte einen sorgfältigen und systematischen Ansatz, um alle kritischen Komponenten des CompexPro102F-Lasers zu bearbeiten:

1. Überholung der Entladungseinheit: Komplette Überholung der Entladungselektroden und Vorionisationseinheiten, um eine optimale und stabile Plasmagenerierung sicherzustellen.

2. Wartung der Laserkavität: Der Laserkavität wurde sorgfältig geöffnet, auf Verschleiß oder Verunreinigungen untersucht, gründlich gereinigt und instand gesetzt.

3. Überholung des Gaszirkulationssystems: Das Gaszirkulationssystem, einschließlich Lüfter und Kanäle, wurde überholt, um einen effizienten und sauberen Gasfluss sicherzustellen, der für einen stabilen Laserbetrieb und die Gaslebensdauer entscheidend ist.

4. Reparatur des Thyratron-Trigger-Moduls: Das Thyratron-Trigger-Modul wurde diagnostiziert, repariert und rigoros getestet, um präzises und zuverlässiges Schalten zu garantieren.

5. Diagnose & Reparatur des Steuersystems: Alle Anomalien im Steuersystem wurden identifiziert und behoben, um einen reibungslosen und sicheren Betrieb zu gewährleisten.

6. Systemweite Gasdichtigkeit: Eine umfassende Lecksuche wurde im gesamten Gassystem durchgeführt, gefolgt von notwendigen Reparaturen, um die Vakuumdichtigkeit und Gasreinheit zu gewährleisten.

7. Wartung des Hochspannungsnetzteils: Das Hochspannungsnetzteil wurde gründlich inspiziert und gewartet, um eine stabile und zuverlässige Stromversorgung sicherzustellen.

8. Umfassende Systemtests & Leistungsvalidierung: Nach der Reparatur wurde das gesamte Lasersystem montiert und umfangreichen Tests unterzogen, um zu bestätigen, dass alle Leistungskennzahlen erreicht oder übertroffen wurden.

Ergebnisse & Erfolge:
Die Überholung war äußerst erfolgreich, wobei der CompexPro102F nicht nur die vertraglichen Leistungsziele erfüllte, sondern diese deutlich übertraf.

• Wellenlängenbestätigung:

  • Erreicht: 248nm (Spektralspitze genau bei 248,3nm gemessen)
    

• Impulsenergie:

  • Ziel: >300mJ @ 248nm

  • Erzieltes Maximum: 469mJ (bei 28kV / 10Hz)

  • Der Laser zeigte eine ausgezeichnete Energie-Stabilität über einen Bereich von Betriebsspannungen und Wiederholraten.
    

Testvideo

• Gaslebensdauer:

  • Der Laser zeigte eine robuste Gaslebensdauer und hielt eine signifikante Energieabgabe über eine verlängerte Pulsanzahl aufrecht. Bei 24kV/10Hz begann die Energie bei 375,0mJ und lag nach 162.000 Pulsen noch bei 317,0mJ.
    

• Strahlprofil (Spotgröße):

  • Gemessen: Ungefähr 24mm x 8mm

• Pulsbreite:

  • Gemessen (FWHM): Ungefähr 30ns

Fazit:
Das umfassende Reparatur- und Wartungsprogramm für den CompexPro102F Excimerlaser führte zu einer vollständigen Wiederherstellung seiner Betriebsfähigkeit. Das System übertrifft nun seine ursprünglichen Leistungsspezifikationen deutlich, insbesondere bei der maximalen Pulsenergie, und zeigt ausgezeichnete Stabilität sowie Gaslebensdauer. Diese erfolgreiche Überholung erfüllt nicht nur die unmittelbaren Betriebsanforderungen des Kunden, sondern gewährleistet auch eine verlängerte Lebensdauer seiner wertvollen Laserausrüstung.

Benötigt Ihr Excimerlaser fachkundige Betreuung? Kontaktieren Sie uns noch heute, um Ihre Reparatur- und Wartungsbedürfnisse zu besprechen!

Video

Häufig gestellte Fragen

F1: Woran erkenne ich, ob mein Excimerlaser repariert werden muss?
A1: Wenn die Energieausgabe Ihres Lasers abnimmt und nicht mehr die optimale Leistung erbringt, könnte eine Reparatur notwendig sein. Sie können uns Bilder der relevanten Teile senden, und unsere Ingenieure führen eine erste Bewertung durch.

F2: Welche Informationen und Vorbereitungen sind vor dem Versand der Laserteile zur Reparatur erforderlich?
A2: Wir benötigen Ihre Kontaktdaten sowie die Abmessungen und das Gewicht der Ausrüstung, um die Versandkosten zu berechnen. Bitte verpacken Sie das Gerät sicher und kennzeichnen Sie es deutlich mit "Nur zur Reparatur", um Zollgebühren zu vermeiden.

F3: Was kosten die Reparaturen? Gibt es zusätzliche Gebühren?
A3: Die Reparaturkosten basieren auf dem Arbeitsaufwand und den Kosten für den Ersatz von Teilen. Zusätzliche Kosten können entstehen, wenn während der Reparatur weitere Probleme, wie Fehler am internen schwarzen Gerät, entdeckt werden. Die genauen Kosten werden nach der Inspektion festgelegt.

F4: Wie werden Transport und Rücksendung nach der Reparatur organisiert?
A4: Nach Abschluss der Reparaturen organisieren wir den Transport basierend auf der von Ihnen angegebenen Rücksendeadresse. Bitte bestätigen Sie sowohl die Versand- als auch die Rücksendeadresse, da diese den Versandpreis beeinflussen.

F5: Gibt es eine Garantie für den Reparaturdienst?
A5: Wir bieten für alle unsere Reparaturdienste eine Garantiezeit an, um sicherzustellen, dass die reparierte Ausrüstung die Leistungsstandards erfüllt.

F6: Wie kann ich den Fortschritt der Reparatur verfolgen?
A6: Sie können den Reparaturfortschritt über unsere Kontaktmöglichkeiten wie WeChat und E-Mail verfolgen. Wir werden Sie auch proaktiv über wichtige Reparaturstatus informieren.

F7: Wie gehen Sie mit Reparaturbedarfen für internationale Kunden um?
A7: Für internationale Kunden bieten wir vollständige logistische Unterstützung und Zollberatung, um sicherzustellen, dass Ihre Ausrüstung sicher unser Reparaturzentrum erreicht.

F8: Wie wird die Kommunikation gehandhabt, wenn zusätzliche Reparaturbedarfe auftreten?
A8: Sollten während des Reparaturprozesses weitere Probleme entdeckt werden, werden wir Sie rechtzeitig informieren und einen detaillierten Reparaturplan sowie ein Budget bereitstellen, damit Sie über ausreichende Informationen für Ihre Entscheidungen verfügen.

Weiterführende Literatur:

• Faserlaser-Quellenreparaturdienst