Was ist ein Excimer-Laser?
Ein Excimer-Laser ist ein hochpräzises Lasersystem, das eine Mischung aus seltenen Gas-Halogeniden als Verstärkermedium verwendet, um ultraviolettes Licht mit extrem kurzen Wellenlängen zu erzeugen. Bekannt für seine hohe Energieausgabe und präzise Steuerung, wird dieser Lasertyp umfangreich in der präzisen Materialbearbeitung und in medizinischen Anwendungen eingesetzt.
Anwendungen von Excimer-Lasern
Excimer-Laser werden aufgrund ihrer einzigartigen Eigenschaften in mehreren Industriezweigen weit verbreitet eingesetzt:
- Halbleiterfertigung: Eingesetzt in Lithographieprozessen zur Miniaturisierung.
- Augenchirurgie: Wie LASIK, zur Verbesserung der Sehkraft von Patienten.
- Materialbearbeitung: Verwendet zum Bohren, Schneiden oder Markieren verschiedener Materialien.
- Wissenschaftliche Forschung: Eingesetzt für präzise Messungen und Experimente in Physik und Chemie.
Gründe für die Wahl der Excimerlaser-Reparatur
- Kosteneffizienz: Excimerlaser sind teuer in Anschaffung und Betrieb. Die Reparatur statt des Austauschs dieser Geräte kann die Kosten deutlich senken.
- Verlängerte Lebensdauer: Regelmäßige professionelle Wartung stellt nicht nur die Laserleistung wieder her, sondern verlängert auch die Betriebsdauer erheblich.
- Ausfallzeiten vermeiden: Rechtzeitige Reparaturen verhindern lange Ausfallzeiten durch Geräteausfälle und sichern kontinuierliche Produktions- und Forschungsaktivitäten.
Warum unsere Reparaturdienste wählen?
- Branchenführerschaft: Sky Fire Laser gehört zu den wenigen technischen Teams in China, die Excimerlaser professionell reparieren können.
- Fortschrittliche Einrichtungen: Unser Reparaturlabor ist mit branchenführender Reparatur- und Überwachungsausrüstung ausgestattet.
- Erfahrene Techniker: Unser Ingenieurteam verfügt über tiefgehendes Wissen und umfangreiche Erfahrung in der Reparatur von Lasertechnologie.
- Maßgeschneiderte Dienstleistungen: Wir bieten personalisierte Reparaturpläne, die auf die spezifischen Bedürfnisse und Budgets unserer Kunden zugeschnitten sind.
Reparatur-Fallstudie: MIDI V5.2 Technolas Excimerlaser
Hintergrund
Im April 2024 führten wir ein anspruchsvolles Projekt durch, um die Leistung eines MIDI V5.2 Technolas Excimerlasers wiederherzustellen. Dieses Gerät konnte aufgrund mehrerer Leistungsprobleme die Werksvorgaben nicht erfüllen, was die Produktion des Kunden beeinträchtigte.
I. Wartungsdetails
- Laserkavität: Öffnen, Inspizieren, gründliches Reinigen und Warten der Laserkavität.
- Entladungselektroden: Sputtern und Korrosionsreinigung der Entladungselektroden und Vorionisationskomponenten.
- Gaszirkulationsluftweg: Überholung des Gaszirkulationsluftwegs.
- Stromversorgung: Reparatur der Hochspannungs-Staubabsaugungs-Stromversorgung.
- Dichtheitstests: Umfassende Dichtheitstests und Reparatur.
- Maschinentests: Vollständige Maschinentests zur Wiederherstellung der Leistungskennzahlen.
II. Vertragliche Leistungskennzahlen
- Leistungswiederherstellung: Wiederherstellung der Gesamtleistung des Lasers, mit der maximalen Einzelpulsenergie des Lasers >100mJ (193nm).
- Verlängerte Lebensdauer: Gewährleistung einer verlängerten Betriebslebensdauer des Geräts.
III. Wartungsergebnisse
- Wellenlänge: 193nm
- Pulsenergie: Maximale Einzelpulsenergie 158,3mJ (@28kV)
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Energiespeicherspannung (kV) |
Energie (mJ) |
||||||||
|
1Hz |
10Hz |
20Hz |
|||||||
|
Durchschn. |
Std |
Relative Std % |
Durchschn. |
Std |
Relative Std % |
Durchschn. |
Std |
Relative Std % |
|
|
25.0 |
139.2 |
0.89 |
0.64 |
135.1 |
1.34 |
0.99 |
129.7 |
1.75 |
1.35 |
|
26.0 |
148.7 |
1.09 |
0.73 |
142.2 |
1.19 |
0.84 |
136.9 |
1.46 |
1.07 |
|
27.0 |
153.1 |
1.11 |
0.73 |
148.2 |
1.13 |
0.76 |
143.4 |
1.44 |
1.00 |
|
28.0 |
158.3 |
1.43 |
0.90 |
153.8 |
1.52 |
0.99 |
148.8 |
1.37 |
0.92 |
- Betriebliche Gaslebensdauer bei 25kV/20Hz:
|
25kV/20Hz |
Energie mJ |
|
|
|
10Hz |
20Hz |
|
0 |
135.1 |
129.7 |
|
36 |
128.9 |
123.8 |
|
72 |
121.8 |
119.2 |
|
108 |
114.7 |
113.5 |
|
Leerlauf für 15 Std. |
99.4 |
95.0 |
|
180 |
93.8 |
91.2 |
|
216 |
87.7 |
91.2 |
|
252 |
95.9 |
93.8 |
|
288 |
92.2 |
89.8 |
|
Leerlauf für 42 Std. |
85.5 |
80.5 |
|
324 |
79.4 |
76.1 |
|
360 |
72.9 |
70.1 |
|
396 |
67.6 |
65.9 |
|
432 |
62.5 |
61.5 |
|
468 |
60.1 |
58.4 |
|
504 |
55.1 |
52.9 |
|
540 |
50.1 |
49.2 |
- Vergleich vor und nach dem Linsenaustausch：
- Strahlprofil:15mm*5mm
Präsentation auf Fotopapier
Pulsbreite: FWHM ≈ 16ns
IV. Fotos vom Teststandort
- Pulsbreitentest:
- Spektrumstest:
Reparatur-Fallstudie: CompexPro102F Excimer-Laser Vollüberholung & Leistungssteigerung
Lasersystem: Coherent CompexPro102F Excimer-Laser
Servicedatum: Juni 2025
Ziel: Komplette Systemüberholung zur Wiederherstellung und Verbesserung der Leistung, mit einer Einzelpulsenenergie von über 300mJ bei 248nm und einer Verbesserung der gesamten Betriebslebensdauer.
Hintergrund & Herausforderung:
Das CompexPro102F-Excimer-Lasersystem eines Kunden erforderte eine umfassende Wartung und Reparatur. Das Hauptziel war die Wiederherstellung der Betriebsleistung, insbesondere die Erreichung einer Einzelpulsenenergie von über 300mJ bei der Betriebswellenlänge von 248nm, sowie die Sicherstellung einer verlängerten Lebensdauer des gesamten Systems.
Unser umfassender Service- & Reparaturprozess:
Unser Team verfolgte einen sorgfältigen und systematischen Ansatz, um alle kritischen Komponenten des CompexPro102F-Lasers zu bearbeiten:
-
Überholung der Entladungseinheit: Komplette Überholung der Entladungselektroden und Vorionisationseinheiten zur Sicherstellung einer optimalen und stabilen Plasmagenerierung.
-
Wartung der Laserkavität: Die Laserkavität wurde sorgfältig geöffnet, auf Verschleiß oder Verunreinigungen geprüft, gründlich gereinigt und instand gesetzt.
-
Überholung des Gaszirkulationssystems: Das Gaszirkulationssystem, einschließlich Lüfter und Kanäle, wurde überholt, um einen effizienten und sauberen Gasfluss sicherzustellen, der für einen stabilen Laserbetrieb und die Gaslebensdauer entscheidend ist.
-
Reparatur des Thyratron-Trigger-Moduls: Das Thyratron-Trigger-Modul wurde diagnostiziert, repariert und rigoros getestet, um präzises und zuverlässiges Schalten zu garantieren.
-
Diagnose & Reparatur des Steuersystems: Alle Anomalien im Steuersystem wurden identifiziert und behoben, um einen reibungslosen und sicheren Betrieb zu gewährleisten.
-
Systemweite Gasdichtigkeit: Eine umfassende Lecksuche wurde im gesamten Gassystem durchgeführt, gefolgt von notwendigen Reparaturen zur Sicherstellung der Vakuumdichtigkeit und Gasreinheit.
-
Wartung des Hochspannungsnetzteils: Das Hochspannungsnetzteil wurde gründlich inspiziert und gewartet, um eine stabile und zuverlässige Stromversorgung sicherzustellen.
-
Gesamtsystemprüfung & Leistungsvalidierung: Nach der Reparatur wurde das gesamte Lasersystem montiert und umfangreichen Tests unterzogen, um zu bestätigen, dass alle Leistungskennwerte erreicht oder übertroffen wurden.
Ergebnisse & Erfolge:
Die Überholung war äußerst erfolgreich, wobei der CompexPro102F nicht nur die vertraglichen Leistungsziele erfüllte, sondern diese deutlich übertraf.
-
Wellenlängenbestätigung:
-
Erreicht: 248nm (Spektraler Spitzenwert präzise bei 248,3nm gemessen)
-
-
Pulsenergie:
-
Ziel: >300mJ @ 248nm
-
Erzieltes Maximum: 469mJ (bei 28kV / 10Hz)
-
Der Laser zeigte eine ausgezeichnete Energie-Stabilität über einen Bereich von Betriebsspannungen und Wiederholraten.
-
|
Spannung (kV) |
Energie (mJ) |
|
|
5Hz Durchschnitt |
10Hz Durchschnitt |
|
|
22 |
319.0 |
316.0 |
|
23 |
345.0 |
347.0 |
|
24 |
379.0 |
375.0 |
|
25 |
404.0 |
402.0 |
|
26 |
430.0 |
426.0 |
|
27 |
452.0 |
451.0 |
|
28 |
473.0 |
469.0 |
Testvideo
-
Gaslebensdauer:
-
Der Laser zeigte eine robuste Gaslebensdauer und hielt eine signifikante Energieabgabe über eine verlängerte Pulsanzahl aufrecht. Bei 24kV/10Hz begann die Energie bei 375,0mJ und lag nach 162.000 Pulsen noch bei 317,0mJ.
-
|
Anzahl der Pulse (K) |
Energie (mJ/24kV) |
|
10Hz |
|
|
Durchschn. |
|
|
0 |
375.0 |
|
18 |
371.0 |
|
18 |
348.0 |
|
36 |
352.0 |
|
54 |
355.0 |
|
72 |
347.0 |
|
90 |
338.0 |
|
108 |
333.0 |
|
126 |
328.0 |
|
144 |
327.0 |
|
162 |
317.0 |
-
Strahlprofil (Spotgröße):
-
Gemessen: Ungefähr 24mm x 8mm
-
-
Pulsbreite:
-
Gemessen (FWHM): Ungefähr 30ns
-
Fazit:
Das umfassende Reparatur- und Wartungsprogramm für den CompexPro102F Excimer-Laser führte zu einer vollständigen Wiederherstellung seiner Betriebsfähigkeit. Das System übertrifft nun deutlich seine ursprünglichen Leistungsspezifikationen, insbesondere bei der maximalen Pulsenergie, und zeigt ausgezeichnete Stabilität sowie Gaslebensdauer. Diese erfolgreiche Überholung erfüllt nicht nur die unmittelbaren Betriebsanforderungen des Kunden, sondern gewährleistet auch eine verlängerte Lebensdauer seiner wertvollen Laserausrüstung.
Benötigt Ihr Excimer-Laser fachkundige Betreuung? Kontaktieren Sie uns noch heute, um Ihre Reparatur- und Wartungsbedürfnisse zu besprechen!
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Häufig gestellte Fragen
Q1: Woran erkenne ich, ob mein Excimer-Laser repariert werden muss?
A1: Wenn die Energieausgabe Ihres Lasers abnimmt und nicht mehr die optimale Leistung erbringt, könnte eine Reparatur notwendig sein. Sie können uns Bilder der betreffenden Teile senden, und unsere Ingenieure führen eine erste Einschätzung durch.
Q2: Welche Informationen und Vorbereitungen sind erforderlich, bevor die Laserteile zur Reparatur gesendet werden?
A2: Wir benötigen Ihre Kontaktdaten sowie die Maße und das Gewicht der Ausrüstung, um die Versandkosten zu berechnen. Bitte verpacken Sie das Gerät sicher und kennzeichnen Sie es deutlich mit „Nur zur Reparatur“, um Zollgebühren zu vermeiden.
Q3: Was kosten die Reparaturen? Gibt es zusätzliche Gebühren?
A3: Die Reparaturkosten richten sich nach dem Arbeitsaufwand und den Kosten für den Austausch von Teilen. Zusätzliche Kosten können entstehen, wenn während der Reparatur weitere Probleme, wie Fehler am internen schwarzen Gerät, entdeckt werden. Die genauen Kosten werden nach der Inspektion festgelegt.
Q4: Wie werden Transport und Rücksendung nach der Reparatur organisiert?
A4: Nach Abschluss der Reparaturen organisieren wir den Transport basierend auf der von Ihnen angegebenen Rücksendeadresse. Bitte bestätigen Sie sowohl die Versand- als auch die Rücksendeadresse, da diese den Versandpreis beeinflussen.
Q5: Gibt es eine Garantie für den Reparaturservice?
A5: Für alle unsere Reparaturleistungen bieten wir eine Garantiezeit an, um sicherzustellen, dass die reparierte Ausrüstung die Leistungsstandards erfüllt.
Q6: Wie kann ich den Fortschritt der Reparatur verfolgen?
A6: Sie können den Reparaturfortschritt über unsere Kontaktmöglichkeiten wie WeChat und E-Mail verfolgen. Wir werden Sie auch proaktiv über wichtige Reparaturstatus informieren.
Q7: Wie gehen Sie mit Reparaturbedarfen für internationale Kunden um?
A7: Für internationale Kunden bieten wir vollständige logistische Unterstützung und Zollberatung, um sicherzustellen, dass Ihre Ausrüstung sicher unser Reparaturzentrum erreicht.
Q8: Wie wird die Kommunikation gehandhabt, wenn zusätzliche Reparaturbedarfe auftreten?
A8: Sollten während des Reparaturprozesses weitere Probleme entdeckt werden, werden wir Sie umgehend informieren und einen detaillierten Reparaturplan sowie ein Budget bereitstellen, damit Sie über ausreichende Informationen für Ihre Entscheidungen verfügen.
