Was ist ein Excimer-Laser?
Ein Excimer-Laser ist ein hochpräzises Lasergerät, das eine Mischung aus Edelgashalogeniden als Verstärkungsmedium verwendet, um ultraviolettes Licht mit extrem kurzen Wellenlängen zu erzeugen. Dieser Lasertyp ist für seine hohe Energieabgabe und präzise Steuerung bekannt und wird häufig in der Präzisionsmaterialbearbeitung und in medizinischen Anwendungen eingesetzt.
Anwendungen von Excimer-Lasern
Excimer-Laser werden aufgrund ihrer einzigartigen Eigenschaften in zahlreichen Branchen eingesetzt:
- Halbleiterherstellung: Wird in Lithographieprozessen zur Miniaturisierung verwendet.
- Augenchirurgie: Zum Beispiel LASIK, um das Sehvermögen der Patienten zu verbessern.
- Materialbearbeitung: Wird zum Bohren, Schneiden oder Markieren verschiedener Materialien verwendet.
- Wissenschaftliche Forschung: Wird bei präzisen Messungen und Experimenten in Physik und Chemie eingesetzt.
Gründe, sich für eine Excimer-Laser-Reparatur zu entscheiden
- Kosteneffizienz: Excimer-Laser sind teuer in der Anschaffung und im Betrieb. Durch die Reparatur anstelle des Austauschs dieser Geräte können die Kosten erheblich gesenkt werden.
- Verlängerte Lebensdauer: Regelmäßige professionelle Wartung stellt nicht nur die Laserleistung wieder her, sondern verlängert auch die Betriebslebensdauer erheblich.
- Verhinderung von Ausfallzeiten: Rechtzeitige Reparaturen verhindern längere Ausfallzeiten aufgrund von Geräteausfällen und gewährleisten so eine kontinuierliche Produktions- und Forschungstätigkeit.
Warum sollten Sie sich für unsere Reparaturdienste entscheiden?
- Branchenführend: Sky Fire Laser gehört zu den wenigen technischen Teams in China, die in der Lage sind, Excimer-Laser professionell zu reparieren.
- Erweiterte Einrichtungen: Unser Reparaturlabor ist mit branchenführenden Reparatur- und Überwachungsgeräten ausgestattet.
- Erfahrene Techniker: Unser Ingenieurteam verfügt über umfassende Kenntnisse und umfassende Erfahrung in der Reparatur von Lasertechnologie.
- Maßgeschneiderte Dienstleistungen: Wir bieten personalisierte Reparaturpläne an, die auf die spezifischen Bedürfnisse und Budgets unserer Kunden zugeschnitten sind.
Reparatur-Fallstudie: MIDI V5.2 Technolas Excimer Laser
Hintergrund
Im April 2024 haben wir ein anspruchsvolles Projekt durchgeführt, um die Leistung eines MIDI V5.2 Technolas Excimer-Lasers wiederherzustellen. Dieses Gerät konnte aufgrund mehrerer Leistungsprobleme die Werksspezifikationen nicht erfüllen, was sich auf die Produktion des Kunden auswirkte.
I. Wartungsdetails
- Laserhohlraum: Öffnen, Überprüfen, gründliches Reinigen und Warten des Laserhohlraums.
- Entladungselektroden: Sputtern und Korrosionsreinigung von Entladungselektroden und Vorionisierungskomponenten.
- Gaszirkulationsluftweg: Erneuerung des Gaszirkulationsluftwegs.
- Stromversorgung: Reparatur der Hochspannungs-Entstaubungsstromversorgung.
- Luftdichtheitsprüfung: Umfassende Luftdichtheitsprüfung und Reparatur.
- Maschinentests: Komplette Maschinentests, Wiederherstellung von Leistungsmaßstäben.
II. Vertragliche Leistungsbenchmarks
- Leistungswiederherstellung: Wiederherstellung der gesamten Laserleistung, wobei die maximale Einzelimpulsenergie des Lasers >100 mJ (193 nm) beträgt.
- Verlängerte Lebensdauer: Gewährleistet eine verlängerte Betriebslebensdauer des Geräts.
III. Ergebnisse der Wartungstests
- Wellenlänge: 193 nm
- Impulsenergie: Maximale Einzelimpulsenergie 158,3 mJ (@28 kV)
|
Energiespeicherspannung (kV) |
Energie (mJ) |
||||||||
|
1Hz |
10Hz |
20 Hz |
|||||||
|
Ave |
Std |
Relativer Standardprozentsatz |
Ave |
Std |
Relativer Standardprozentsatz |
Ave |
Std |
Relativer Standardprozentsatz |
|
|
25.0 |
139.2 |
0.89 |
0.64 |
135.1 |
1.34 |
0.99 |
129.7 |
1.75 |
1.35 |
|
26.0 |
148.7 |
1.09 |
0.73 |
142.2 |
1.19 |
0.84 |
136.9 |
1.46 |
1.07 |
|
27.0 |
153.1 |
1.11 |
0.73 |
148.2 |
1.13 |
0.76 |
143.4 |
1.44 |
1.00 |
|
28.0 |
158.3 |
1.43 |
0.90 |
153.8 |
1.52 |
0.99 |
148.8 |
1.37 |
0.92 |
- Betriebsgaslebensdauer bei 25 kV/20 Hz:
|
25kV/20Hz |
Energie mJ |
|
|
|
10Hz |
20 Hz |
|
0 |
135.1 |
129.7 |
|
36 |
128.9 |
123.8 |
|
72 |
121.8 |
119.2 |
|
108 |
114.7 |
113.5 |
|
15 Stunden im Leerlauf |
99.4 |
95.0 |
|
180 |
93.8 |
91.2 |
|
216 |
87.7 |
91.2 |
|
252 |
95.9 |
93.8 |
|
288 |
92.2 |
89.8 |
|
42 Stunden im Leerlauf |
85.5 |
80.5 |
|
324 |
79.4 |
76.1 |
|
360 |
72.9 |
70.1 |
|
396 |
67.6 |
65.9 |
|
432 |
62.5 |
61.5 |
|
468 |
60.1 |
58.4 |
|
504 |
55.1 |
52.9 |
|
540 |
50.1 |
49.2 |
- Vergleich vor und nach dem Linsenwechsel：
- Strahlprofil: 15 mm x 5 mm
Präsentation auf Fotopapier
Impulsbreite: FWHM ≈ 16 ns
IV. Fotos vom Testgelände
- Pulsweitenprüfung:
- Spektrumtests:
Häufig gestellte Fragen
F1: Wie kann ich feststellen, ob mein Excimer-Laser repariert werden muss?
A1: Wenn die Energieabgabe Ihres Lasers nachlässt und nicht mehr die optimale Leistung liefert, muss er möglicherweise repariert werden. Sie können uns Bilder der relevanten Teile zusenden und unsere Ingenieure führen eine Vorbeurteilung durch.
F2: Welche Informationen und Vorbereitungen sind erforderlich, bevor die Laserteile zur Reparatur eingeschickt werden?
A2: Zur Berechnung der Versandkosten benötigen wir Ihre Kontaktdaten sowie die Abmessungen und das Gewicht der Ausrüstung. Stellen Sie sicher, dass Sie das Gerät sicher verpacken und es deutlich als „Nur zur Reparatur“ kennzeichnen, um Zollgebühren zu vermeiden.
F3: Wie hoch sind die Reparaturkosten? Fallen zusätzliche Gebühren an?
A3: Die Reparaturkosten richten sich nach der Komplexität der Arbeit und den Kosten für den Austausch von Teilen. Zusätzliche Kosten können entstehen, wenn bei der Reparatur andere Probleme, wie zum Beispiel Fehler am internen Schwarzgerät, festgestellt werden. Die konkreten Kosten werden nach Besichtigung ermittelt.
F4: Wie werden Transport und Rücksendung nach der Reparatur organisiert?
A4: Nach Abschluss der Reparaturen organisieren wir den Transport basierend auf der von Ihnen angegebenen Rücksendeadresse. Bitte bestätigen Sie sowohl die Versand- als auch die Rücksendeadresse, da diese Auswirkungen auf das Versandangebot haben.
F5: Gibt es eine Garantie für den Reparaturservice?
A5: Wir gewähren für alle unsere Reparaturdienste eine Garantiezeit, um sicherzustellen, dass die reparierten Geräte den Leistungsstandards entsprechen.
F6: Wie kann ich den Fortschritt der Reparatur verfolgen?
A6: Sie können über unsere Kontaktmethoden wie WeChat und E-Mail über den Reparaturfortschritt auf dem Laufenden bleiben. Darüber hinaus informieren wir Sie proaktiv über wichtige Reparaturstände.
F7: Wie gehen Sie mit Reparaturbedarf für internationale Kunden um?
A7: Für internationale Kunden bieten wir umfassende logistische Unterstützung und Zollberatung, um sicherzustellen, dass Ihre Ausrüstung sicher unser Reparaturzentrum erreicht.
F8: Wie erfolgt die Kommunikation, wenn zusätzlicher Reparaturbedarf entsteht?
A8: Sollten während des Reparaturvorgangs weitere Probleme entdeckt werden, werden wir zeitnah mit Ihnen kommunizieren und einen detaillierten Reparaturplan und ein Budget bereitstellen, um sicherzustellen, dass Sie über ausreichende Informationen verfügen, um Entscheidungen treffen zu können.
