Aprile 2024 segna una pietra miliare nel nostro impegno a mantenere tecnologie all'avanguardia con il successo della ristrutturazione del Laser Excimer MIDI V5.2 Technolas. Questo post approfondisce il complesso processo di riparazione, mostrando come abbiamo restaurato questo pezzo cruciale di attrezzatura al suo massimo rendimento e ne abbiamo esteso la vita operativa.
Cura Completa per Tecnologia Avanzata
Il MIDI V5.2, noto per le sue capacità laser precise e potenti, ha subito un processo di riparazione completo per affrontare l'usura che ne influiva sulle prestazioni. Ecco una panoramica dei passaggi che abbiamo seguito per ridare nuova vita a questa sofisticata macchina:
- Rinascita della Cavità Laser: Abbiamo iniziato aprendo la cavità laser per un'ispezione dettagliata seguita da una pulizia e manutenzione approfondite.
- Restauro dei Componenti: Gli elettrodi di scarica e i componenti di pre-ionizzazione sono stati sottoposti a sputtering e pulizia dalla corrosione con cura meticolosa.
- Miglioramento del Sistema: Abbiamo rinnovato il percorso dell'aria per la circolazione del gas per garantire un funzionamento ottimale.
- Revisione dell'Alimentazione: L'alimentatore ad alta tensione per la rimozione della polvere è stato riparato meticolosamente.
- Controlli di Tenuta: Sono stati effettuati test completi di ermeticità e riparazioni per proteggere il laser da potenziali contaminanti esterni.
- Test di Prestazione: Infine, la macchina completa è stata testata per assicurarsi che rispettasse tutti i parametri di prestazione, confermando il successo dei nostri interventi di riparazione.
Successo Misurato: Parametri di Prestazione Ripristinati
Dopo la riparazione, il MIDI V5.2 non solo è tornato ai suoi standard di prestazione originali, ma ha superato le aspettative. Ecco i risultati convincenti dei nostri sforzi:
- Output Energetico Ripristinato: L'energia massima del singolo impulso è stata ripristinata oltre 100mJ (193nm), con un picco notevole a 158,3mJ (@28kV).
Analisi Dettagliata dell'Energia dell'Impulso:
Abbiamo condotto test dettagliati sull'output energetico in varie impostazioni:
| Tensione (kV) | 1Hz (mJ medi) | 1Hz Deviazione Std | 1Hz Deviazione Std Relativa % | 10Hz (mJ medi) | Std a 10Hz | Std Relativo a 10Hz % | 20Hz (Media mJ) | Std a 20Hz | Std Relativo a 20Hz % |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 25.0 | 139.2 | 0.89 | 0.64 | 135.1 | 1.34 | 0.99 | 129.7 | 1.75 | 1.35 |
| 26.0 | 148.7 | 1.09 | 0.73 | 142.2 | 1.19 | 0.84 | 136.9 | 1.46 | 1.07 |
| 27.0 | 153.1 | 1.11 | 0.73 | 148.2 | 1.13 | 0.76 | 143.4 | 1.44 | 1.00 |
| 28.0 | 158.3 | 1.43 | 0.90 | 153.8 | 1.52 | 0.99 | 148.8 | 1.37 | 0.92 |
Durata Operativa del Gas a 25kV/20Hz
Test approfonditi hanno anche dimostrato miglioramenti significativi nella durata operativa del gas, riflettendo la durabilità e l'efficienza del laser dopo la riparazione:
| Conteggio Impulsi (K) | Energia a 10Hz (mJ) | Energia a 20Hz (mJ) |
|---|---|---|
| 0 | 135.1 | 129.7 |
| 36 | 128.9 | 123.8 |
| 72 | 121.8 | 119.2 |
| 108 | 114.7 | 113.5 |
| Inattivo per 15 ore | 99.4 | 95.0 |
| 180 | 93.8 | 91.2 |
| 216 | 87.7 | 91.2 |
| 252 | 95.9 | 93.8 |
| 288 | 92.2 | 89.8 |
| Inattivo per 42 ore | 85.5 | 80.5 |
| 324 | 79.4 | 76.1 |
| 360 | 72.9 | 70.1 |
| 396 | 67.6 | 65.9 |
| 432 | 62.5 | 61.5 |
| 468 | 60.1 | 58.4 |
| 504 | 55.1 | 52.9 |
| 540 | 50.1 | 49.2 |
Confronto del funzionamento a 10Hz e 20Hz:
Confronto prima e dopo la sostituzione della lente：
Conferma Visiva della Precisione
Il profilo del fascio misurato dopo la riparazione ha mostrato dimensioni precise di 15mm x 5mm su carta fotografica, con larghezze di impulso segnate a circa 16ns FWHM, confermando la cura meticolosa e la precisione del nostro processo di riparazione.
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Questo percorso di riparazione illustra non solo la nostra capacità di ripristinare la funzionalità, ma anche la nostra dedizione a migliorare la durata operativa e l'efficienza di sistemi laser complessi. Il Laser Excimer Technolas MIDI V5.2 è ora completamente equipaggiato per continuare il suo ruolo critico in vari settori high-tech, tutto grazie a un processo di riparazione dettagliato e dedicato che garantisce che ogni componente funzioni perfettamente.
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