엑시머 레이저란 무엇입니까?
엑시머 레이저는 희귀 가스 할로겐화물의 혼합물을 이득 매질로 사용하여 매우 짧은 파장의 자외선을 생성하는 고정밀 레이저 장치입니다. 높은 에너지 출력과 정밀한 제어로 잘 알려진 이 유형의 레이저는 정밀 재료 가공 및 의료 응용 분야에 광범위하게 사용됩니다.
엑시머 레이저의 응용
엑시머 레이저는 고유한 특성으로 인해 여러 산업에서 널리 활용됩니다.
- 반도체 제조: 소형화를 위한 리소그래피 공정에 사용됩니다.
- 안과 수술: 환자의 시력을 개선하기 위한 LASIK 등.
- 재료 가공: 다양한 재료를 드릴링, 절단 또는 표시하는 데 사용됩니다.
- 과학 연구: 물리학 및 화학 분야의 정밀 측정 및 실험에 종사합니다.
엑시머 레이저 수리를 선택하는 이유
- 비용 효율성: 엑시머 레이저는 구입 및 작동 비용이 많이 듭니다. 이러한 장치를 교체하는 것보다 수리하면 비용을 크게 줄일 수 있습니다.
- 수명 연장: 정기적인 전문 유지 관리는 레이저 성능을 복원할 뿐만 아니라 작동 수명을 크게 연장합니다.
- 다운타임 방지: 적시에 수리하면 장비 고장으로 인한 긴 다운타임을 방지하여 지속적인 생산 및 연구 활동을 보장할 수 있습니다.
왜 우리 수리 서비스를 선택해야 할까요?
- 업계 리더십: Sky Fire Laser는 엑시머 레이저를 전문적으로 수리할 수 있는 중국 내 몇 안 되는 기술 팀 중 하나입니다.
- 고급 시설: 당사 수리 연구소에는 업계 최고의 수리 및 모니터링 장비가 갖추어져 있습니다.
- 숙련된 기술자: 당사의 엔지니어링 팀은 레이저 기술 수리에 대한 깊은 지식과 광범위한 경험을 보유하고 있습니다.
- 맞춤형 서비스: 우리는 고객의 특정 요구 사항과 예산에 맞춰 맞춤화된 수리 계획을 제공합니다.
수리 사례 연구: MIDI V5.2 Technolas 엑시머 레이저
배경
2024년 4월, 우리는 MIDI V5.2 Technolas 엑시머 레이저의 성능을 복원하기 위한 도전적인 프로젝트에 착수했습니다. 이 장치는 여러 성능 문제로 인해 공장 사양을 충족할 수 없어 고객의 생산에 영향을 미쳤습니다.
I. 유지보수 세부사항
- 레이저 공동: 레이저 공동을 열고, 검사하고, 철저하게 청소하고 유지관리합니다.
- 방전 전극: 방전 전극 및 사전 이온화 부품의 스퍼터링 및 부식 세척.
- 가스 순환 공기 경로: 가스 순환 공기 경로를 개조합니다.
- 전원 공급 장치: 고전압 먼지 제거 전원 공급 장치를 수리합니다.
- 밀폐 테스트: 종합적인 기밀 테스트 및 수리.
- 기계 테스트: 기계 테스트를 완료하고 성능 벤치마크를 복원합니다.
II. 계약 성과 벤치마크
- 성능 복원: 레이저의 단일 펄스 최대 에너지가 >100mJ(193nm)인 전체 레이저 성능을 복원합니다.
- 수명 연장: 기기의 작동 수명을 연장합니다.
III. 유지보수 테스트 결과
- 파장: 193nm
- 펄스 에너지: 최대 단일 펄스 에너지 158.3mJ(@28kV)
|
에너지 저장 전압(kV) |
에너지(mJ) |
||||||||
|
1Hz |
10Hz |
20Hz |
|||||||
|
애비뉴 |
표준 |
상대 표준 % |
애비뉴 |
표준 |
상대 표준 % |
애비뉴 |
표준 |
상대 표준 % |
|
|
25.0 |
139.2 |
0.89 |
0.64 |
135.1 |
1.34 |
0.99 |
129.7 |
1.75 |
1.35 |
|
26.0 |
148.7 |
1.09 |
0.73 |
142.2 |
1.19 |
0.84 |
136.9 |
1.46 |
1.07 |
|
27.0 |
153.1 |
1.11 |
0.73 |
148.2 |
1.13 |
0.76 |
143.4 |
1.44 |
1.00 |
|
28.0 |
158.3 |
1.43 |
0.90 |
153.8 |
1.52 |
0.99 |
148.8 |
1.37 |
0.92 |
- 25kV/20Hz에서 작동 가스 수명:
|
25kV/20Hz |
에너지 mJ |
|
|
|
10Hz |
20Hz |
|
0 |
135.1 |
129.7 |
|
36 |
128.9 |
123.8 |
|
72 |
121.8 |
119.2 |
|
108 |
114.7 |
113.5 |
|
15시간 동안 유휴 상태 |
99.4 |
95.0 |
|
180 |
93.8 |
91.2 |
|
216 |
87.7 |
91.2 |
|
252 |
95.9 |
93.8 |
|
288 |
92.2 |
89.8 |
|
42시간 동안 유휴 상태 |
85.5 |
80.5 |
|
324 |
79.4 |
76.1 |
|
360 |
72.9 |
70.1 |
|
396 |
67.6 |
65.9 |
|
432 |
62.5 |
61.5 |
|
468 |
60.1 |
58.4 |
|
504 |
55.1 |
52.9 |
|
540 |
50.1 |
49.2 |
- 렌즈 교체 전후 비교：
- 빔 프로필: 15mm*5mm
인화지 프레젠테이션
펄스 폭: FWHM ≒ 16ns
IV. 테스트 사이트 사진
- 펄스 폭 테스트:
- 스펙트럼 테스트:
자주 묻는 질문
Q1: 엑시머 레이저에 수리가 필요한지 어떻게 알 수 있나요?
A1: 레이저의 에너지 출력이 감소하여 더 이상 최적의 성능을 제공하지 못하는 경우 수리가 필요할 수 있습니다. 관련 부품의 사진을 보내주시면 당사 엔지니어가 사전 평가를 실시해 드립니다.
Q2: 수리를 위해 레이저 부품을 보내기 전에 어떤 정보와 준비가 필요합니까?
A2: 배송비를 계산하려면 연락처 정보와 장비의 크기 및 무게가 필요합니다. 관세를 피하려면 장치를 안전하게 포장하고 "수리 전용"이라고 명확하게 표시하십시오.
Q3: 수리 비용은 얼마입니까? 추가 비용이 있나요?
A3: 수리 비용은 작업의 복잡성과 부품 교체 비용에 따라 결정됩니다. 수리 중 내부 블랙 장치의 결함 등 다른 문제가 발견될 경우 추가 비용이 발생할 수 있습니다. 구체적인 비용은 점검 후 결정됩니다.
Q4: 수리 후 운송 및 반납은 어떻게 이루어지나요?
A4: 수리가 완료된 후 귀하가 제공한 반송 주소를 기준으로 운송 수단을 마련해 드립니다. 배송 주소와 반품 주소는 배송 견적에 영향을 미치므로 모두 확인하시기 바랍니다.
Q5: 수리 서비스에 대한 보증이 있습니까?
A5: 우리는 수리된 장비가 성능 표준을 충족하는지 확인하기 위해 모든 수리 서비스에 대해 보증 기간을 제공합니다.
Q6: 수리 진행 상황을 어떻게 추적할 수 있나요?
A6: WeChat, 이메일 등 연락 방법을 통해 수리 진행 상황을 확인할 수 있습니다. 또한 중요한 수리 상태에 대해서도 적극적으로 업데이트해 드리겠습니다.
Q7: 해외 고객의 수리 요구 사항을 어떻게 처리합니까?
A7: 해외 고객의 경우 장비가 수리 센터에 안전하게 도착할 수 있도록 완벽한 물류 지원과 통관 조언을 제공합니다.
Q8: 추가 수리가 필요한 경우 통신은 어떻게 처리됩니까?
A8: 수리 과정에서 추가 문제가 발견되면 적시에 귀하에게 연락하고 상세한 수리 계획 및 예산을 제공하여 귀하가 결정을 내릴 수 있도록 충분한 정보를 확보할 것입니다.
