엑시머 레이저란 무엇입니까?

엑시머 레이저는 희귀 가스 할로겐화물의 혼합물을 이득 매질로 사용하여 매우 짧은 파장의 자외선을 생성하는 고정밀 레이저 장치입니다. 높은 에너지 출력과 정밀한 제어로 잘 알려진 이 유형의 레이저는 정밀 재료 가공 및 의료 응용 분야에 광범위하게 사용됩니다.

엑시머 레이저의 응용

엑시머 레이저는 고유한 특성으로 인해 여러 산업에서 널리 활용됩니다.

• 반도체 제조: 소형화를 위한 리소그래피 공정에 사용됩니다.
• 안과 수술: 환자의 시력을 개선하기 위한 LASIK 등.
• 재료 가공: 다양한 재료를 드릴링, 절단 또는 표시하는 데 사용됩니다.
• 과학 연구: 물리학 및 화학 분야의 정밀 측정 및 실험에 종사합니다.

엑시머 레이저 수리를 선택하는 이유

• 비용 효율성: 엑시머 레이저는 구입 및 작동 비용이 많이 듭니다. 이러한 장치를 교체하는 것보다 수리하면 비용을 크게 줄일 수 있습니다.
• 수명 연장: 정기적인 전문 유지 관리는 레이저 성능을 복원할 뿐만 아니라 작동 수명을 크게 연장합니다.
• 다운타임 방지: 적시에 수리하면 장비 고장으로 인한 긴 다운타임을 방지하여 지속적인 생산 및 연구 활동을 보장할 수 있습니다.

왜 우리 수리 서비스를 선택해야 할까요?

• 업계 리더십: Sky Fire Laser는 엑시머 레이저를 전문적으로 수리할 수 있는 중국 내 몇 안 되는 기술 팀 중 하나입니다.
• 고급 시설: 당사 수리 연구소에는 업계 최고의 수리 및 모니터링 장비가 갖추어져 있습니다.
• 숙련된 기술자: 당사의 엔지니어링 팀은 레이저 기술 수리에 대한 깊은 지식과 광범위한 경험을 보유하고 있습니다.
• 맞춤형 서비스: 우리는 고객의 특정 요구 사항과 예산에 맞춰 맞춤화된 수리 계획을 제공합니다.

수리 사례 연구: MIDI V5.2 Technolas 엑시머 레이저

배경

2024년 4월, 우리는 MIDI V5.2 Technolas 엑시머 레이저의 성능을 복원하기 위한 도전적인 프로젝트에 착수했습니다. 이 장치는 여러 성능 문제로 인해 공장 사양을 충족할 수 없어 고객의 생산에 영향을 미쳤습니다.

I. 유지보수 세부사항

1. 레이저 공동: 레이저 공동을 열고, 검사하고, 철저하게 청소하고 유지관리합니다.
2. 방전 전극: 방전 전극 및 사전 이온화 부품의 스퍼터링 및 부식 세척.
3. 가스 순환 공기 경로: 가스 순환 공기 경로를 개조합니다.
4. 전원 공급 장치: 고전압 먼지 제거 전원 공급 장치를 수리합니다.
5. 밀폐 테스트: 종합적인 기밀 테스트 및 수리.
6. 기계 테스트: 기계 테스트를 완료하고 성능 벤치마크를 복원합니다.

II. 계약 성과 벤치마크

• 성능 복원: 레이저의 단일 펄스 최대 에너지가 >100mJ(193nm)인 전체 레이저 성능을 복원합니다.
• 수명 연장: 기기의 작동 수명을 연장합니다.

III. 유지보수 테스트 결과

• 파장: 193nm

에너지 저장 전압(kV)	에너지(mJ)
	1Hz			10Hz			20Hz
	애비뉴	표준	상대 표준 %	애비뉴	표준	상대 표준 %	애비뉴	표준	상대 표준 %
25.0	139.2	0.89	0.64	135.1	1.34	0.99	129.7	1.75	1.35
26.0	148.7	1.09	0.73	142.2	1.19	0.84	136.9	1.46	1.07
27.0	153.1	1.11	0.73	148.2	1.13	0.76	143.4	1.44	1.00
28.0	158.3	1.43	0.90	153.8	1.52	0.99	148.8	1.37	0.92

 

• 25kV/20Hz에서 작동 가스 수명:

25kV/20Hz 펄스 수(K)	에너지 mJ
	10Hz	20Hz
0	135.1	129.7
36	128.9	123.8
72	121.8	119.2
108	114.7	113.5
15시간 동안 유휴 상태	99.4	95.0
180	93.8	91.2
216	87.7	91.2
252	95.9	93.8
288	92.2	89.8
42시간 동안 유휴 상태	85.5	80.5
324	79.4	76.1
360	72.9	70.1
396	67.6	65.9
432	62.5	61.5
468	60.1	58.4
504	55.1	52.9
540	50.1	49.2

 

• 렌즈 교체 전후 비교：

• 빔 프로필: 15mm*5mm

인화지 프레젠테이션

 

펄스 폭: FWHM ≒ 16ns

IV. 테스트 사이트 사진

• 펄스 폭 테스트:

• 스펙트럼 테스트: