• 펄스 에너지: 최대 단일 펄스 에너지 158.3mJ (@28kV)

수리 사례 연구: CompexPro102F 엑시머 레이저 완전 재정비 및 성능 향상

레이저 시스템: Coherent CompexPro102F 엑시머 레이저
서비스 날짜: 2025년 6월
목표: 성능 복원 및 향상을 위한 전체 시스템 점검, 248nm에서 300mJ 이상의 단일 펄스 에너지 달성 및 전반적인 작동 수명 개선.

배경 및 과제:
고객의 CompexPro102F 엑시머 레이저 시스템은 종합적인 유지보수와 수리가 필요했습니다. 주요 목표는 작동 파장 248nm에서 단일 펄스 에너지가 300mJ 이상이 되도록 성능을 복원하고, 시스템 전체의 수명을 연장하는 것이었습니다.

종합 서비스 및 수리 절차:
우리 팀은 CompexPro102F 레이저의 모든 핵심 부품을 체계적이고 꼼꼼하게 점검했습니다:

1. 방전 장치 재정비: 최적의 안정적인 플라즈마 생성을 위해 방전 전극과 사전 이온화 장치의 완전한 재정비.

2. 레이저 캐비티 서비스: 레이저 캐비티를 신중하게 열어 마모나 오염 여부를 점검하고, 철저히 청소한 후 재정비했습니다.

3. 가스 순환 시스템 전면 점검: 팬과 덕트를 포함한 가스 순환 시스템이 리퍼비시되어 안정적인 레이저 작동과 가스 수명에 중요한 효율적이고 깨끗한 가스 흐름을 보장했습니다.

4. 싸이러트론 트리거 모듈 수리: 싸이러트론 트리거 모듈이 진단, 수리 및 엄격한 테스트를 거쳐 정밀하고 신뢰할 수 있는 스위칭을 보장했습니다.

5. 제어 시스템 진단 및 수리: 제어 시스템 내 모든 이상 현상이 식별되고 수정되어 원활하고 안전한 작동이 보장되었습니다.

6. 시스템 전체 가스 밀폐성: 전체 가스 시스템에 대해 포괄적인 누출 감지 절차가 수행되었으며, 진공 무결성과 가스 순도를 보장하기 위해 필요한 수리가 이루어졌습니다.

7. 고전압 전원 공급 장치 유지보수: 고전압 전원 공급 장치는 안정적이고 신뢰할 수 있는 전력 공급을 보장하기 위해 철저한 점검과 유지보수를 받았습니다.

8. 전체 시스템 테스트 및 성능 검증: 수리 후 전체 레이저 시스템이 조립되어 모든 성능 지표가 충족되거나 초과되었음을 확인하기 위해 광범위한 테스트를 거쳤습니다.

결과 및 성과:
리퍼비시가 매우 성공적이었으며, CompexPro102F는 계약 성능 목표를 충족했을 뿐만 아니라 크게 초과 달성했습니다.

• 파장 확인:

  • 달성: 248nm (스펙트럼 피크가 정확히 248.3nm에서 측정됨)
    

• 펄스 에너지:

  • 목표: >300mJ @ 248nm

  • 최대 달성: 469mJ (28kV / 10Hz에서)

  • 레이저는 다양한 작동 전압 및 반복 속도에서 우수한 에너지 안정성을 보여주었습니다.
    

테스트 비디오

• 가스 수명:

  • 레이저는 강력한 가스 수명을 보여주었으며, 연장된 펄스 수 동안 상당한 에너지 출력을 유지했습니다. 24kV/10Hz에서 에너지는 375.0mJ에서 시작하여  162,000 펄스 후에도 317.0mJ였습니다.
    

• 빔 프로필 (스팟 크기):

  • 측정됨: 대략 24mm x 8mm

• 펄스 폭:

  • 측정값 (FWHM): 대략 30ns

결론:
CompexPro102F 엑시머 레이저에 대한 종합 수리 및 유지보수 프로그램은 작동 능력을 완전히 복원했습니다. 시스템은 최대 펄스 에너지에서 원래 성능 사양을 크게 초과하며 우수한 안정성과 가스 수명을 보여줍니다. 이 성공적인 개조는 고객의 즉각적인 운영 요구를 충족할 뿐만 아니라 귀중한 레이저 장비의 서비스 수명을 연장합니다.

엑시머 레이저가 전문가의 점검이 필요하신가요? 오늘 저희에게 연락하여 수리 및 유지보수 요구 사항을 상담하세요!

비디오

자주 묻는 질문

Q1: 엑시머 레이저가 수리가 필요한지 어떻게 알 수 있나요?
A1: 레이저의 에너지 출력이 감소하여 최적 성능을 발휘하지 못하면 수리가 필요할 수 있습니다. 관련 부품 사진을 보내주시면 엔지니어가 예비 평가를 진행합니다.

Q2: 레이저 부품을 수리 보내기 전에 어떤 정보와 준비가 필요한가요?
A2: 배송비 계산을 위해 연락처 정보와 장비의 크기 및 무게가 필요합니다. 장비를 안전하게 포장하고 '수리 전용'이라고 명확히 표시하여 관세 부과를 방지하세요.

Q3: 수리 비용은 얼마이며 추가 비용이 있나요?
A3: 수리 비용은 작업의 복잡성과 부품 교체 비용에 따라 결정됩니다. 내부 블랙 장치 결함 등 다른 문제가 발견되면 추가 비용이 발생할 수 있습니다. 구체적인 비용은 점검 후 결정됩니다.

Q4: 수리 후 운송과 반송은 어떻게 이루어지나요?
A4: 수리 완료 후, 제공하신 반송 주소를 기준으로 운송을 배치합니다. 발송 및 반송 주소를 확인해 주시기 바랍니다. 이는 배송 견적에 영향을 미칩니다.

Q5: 수리 서비스에 보증이 있나요?
A5: 모든 수리 서비스에 대해 보증 기간을 제공하여 수리된 장비가 성능 기준을 충족하도록 보장합니다.

Q6: 수리 진행 상황은 어떻게 확인할 수 있나요?
A6: 위챗, 이메일 등 연락 수단을 통해 수리 진행 상황을 확인할 수 있습니다. 또한 주요 수리 상태에 대해 적극적으로 업데이트해 드립니다.

Q7: 해외 고객의 수리 요청은 어떻게 처리하나요?
A7: 해외 고객을 위해 완전한 물류 지원과 통관 조언을 제공하여 장비가 안전하게 수리 센터에 도착할 수 있도록 합니다.

Q8: 추가 수리 필요가 발생하면 어떻게 소통하나요?
A8: 수리 과정에서 추가 문제가 발견될 경우, 신속하게 연락드리며 상세한 수리 계획과 예산을 제공하여 충분한 정보를 바탕으로 결정하실 수 있도록 하겠습니다.

추가 읽을거리:

• 파이버 레이저 소스 수리 서비스