
Wat is een Excimerlaser?
Een excimerlaser is een hoogprecisie laserapparaat dat een mengsel van zeldzame gashalogeniden gebruikt als versterkingsmedium om ultraviolet licht met extreem korte golflengten te produceren. Bekend om zijn hoge energie-output en precieze controle, wordt dit type laser veelvuldig gebruikt in precisie materiaalbewerking en medische toepassingen.
Toepassingen van Excimerlasers

Excimerlasers worden op grote schaal gebruikt in verschillende industrieën vanwege hun unieke eigenschappen:
- Halfgeleiderfabricage: Gebruikt in lithografieprocessen voor miniaturisatie.
- Oogheelkundige Chirurgie: Zoals LASIK, om het gezichtsvermogen van patiënten te verbeteren.
- Materiaalbewerking: Gebruikt voor boren, snijden of markeren van diverse materialen.
- Wetenschappelijk Onderzoek: Gebruikt voor nauwkeurige metingen en experimenten in de natuurkunde en scheikunde.
Redenen om te Kiezen voor Excimerlaser Reparatie
- Kosteneffectiviteit: Excimerlasers zijn duur in aanschaf en gebruik. Repareren in plaats van vervangen kan de kosten aanzienlijk verlagen.
- Verlengde Levensduur: Regelmatig professioneel onderhoud herstelt niet alleen de laserprestatie, maar verlengt ook aanzienlijk de operationele levensduur.
- Voorkomen van Stilstand: Tijdige reparaties voorkomen langdurige stilstand door apparatuurstoringen, wat zorgt voor continue productie- en onderzoeksactiviteiten.
Waarom Kiezen voor Onze Reparatiediensten?
- Leiderschap in de Industrie: Sky Fire Laser behoort tot de weinige technische teams in China die excimerlasers professioneel kunnen repareren.
- Geavanceerde Faciliteiten: Ons reparatielab is uitgerust met toonaangevende reparatie- en monitorapparatuur.
- Ervaren Technici: Ons engineeringteam beschikt over diepgaande kennis en uitgebreide ervaring in lasertechnologie reparatie.
- Gepersonaliseerde Diensten: Wij bieden op maat gemaakte reparatieplannen die zijn afgestemd op de specifieke behoeften en budgetten van onze klanten.
Reparatie Casestudy: MIDI V5.2 Technolas Excimerlaser
Achtergrond
In april 2024 hebben we een uitdagend project uitgevoerd om de prestatie van een MIDI V5.2 Technolas excimerlaser te herstellen. Dit apparaat voldeed niet aan de fabriekspecificaties vanwege meerdere prestatieproblemen, wat de productie van de klant beïnvloedde.
I. Onderhoudsdetails
- Laserkamer: Openen, inspecteren, grondig reinigen en onderhouden van de laserkamer.
- Ontladings-elektroden: Sputteren en corrosiereiniging van ontladings-elektroden en pre-ionisatiecomponenten.
- Gascirculatieluchtpad: Renovatie van het gascirculatieluchtpad.
- Voeding: Reparatie van de hoogspanningsstofverwijderingsvoeding.
- Luchtdichtheidstest: Uitgebreide luchtdichtheidstest en reparatie.
- Machine Testen: Volledige machine testen, herstel van prestatiecriteria.
II. Contractuele Prestatiecriteria
- Prestatieherstel: Herstel van de algehele laserprestatie, met de maximale energie van de enkele puls van de laser >100mJ (193nm).
- Verlengde levensduur: Zorgt voor een verlengde operationele levensduur van het apparaat.
III. Onderhoudstestresultaten
- Golflengte: 193nm

- Pulsenergie: Maximale enkele pulsenergie 158,3mJ (@28kV)
|
Energieopslagspanning (kV) |
Energie (mJ) |
||||||||
|
1Hz |
10Hz |
20Hz |
|||||||
|
Gem |
Standaard |
Relatieve Std % |
Gem |
Standaard |
Relatieve Std % |
Gem |
Standaard |
Relatieve Std % |
|
|
25.0 |
139.2 |
0.89 |
0.64 |
135.1 |
1.34 |
0.99 |
129.7 |
1.75 |
1.35 |
|
26.0 |
148.7 |
1.09 |
0.73 |
142.2 |
1.19 |
0.84 |
136.9 |
1.46 |
1.07 |
|
27.0 |
153.1 |
1.11 |
0.73 |
148.2 |
1.13 |
0.76 |
143.4 |
1.44 |
1.00 |
|
28.0 |
158.3 |
1.43 |
0.90 |
153.8 |
1.52 |
0.99 |
148.8 |
1.37 |
0.92 |
- Operationele gaslevensduur bij 25kV/20Hz:
|
25kV/20Hz |
Energie mJ |
|
|
|
10Hz |
20Hz |
|
0 |
135.1 |
129.7 |
|
36 |
128.9 |
123.8 |
|
72 |
121.8 |
119.2 |
|
108 |
114.7 |
113.5 |
|
Inactief gedurende 15 uur |
99.4 |
95.0 |
|
180 |
93.8 |
91.2 |
|
216 |
87.7 |
91.2 |
|
252 |
95.9 |
93.8 |
|
288 |
92.2 |
89.8 |
|
Inactief gedurende 42 uur |
85.5 |
80.5 |
|
324 |
79.4 |
76.1 |
|
360 |
72.9 |
70.1 |
|
396 |
67.6 |
65.9 |
|
432 |
62.5 |
61.5 |
|
468 |
60.1 |
58.4 |
|
504 |
55.1 |
52.9 |
|
540 |
50.1 |
49.2 |

- Vergelijking voor en na lensvervanging:

- Stralingsprofiel:15mm*5mm
Presentatie op fotografisch papier

Pulsbreedte: FWHM ≈ 16ns

IV. Foto's van de testlocatie
- Pulsbreedtetest:

- Spectrumtest:

Reparatiecasestudy: Volledige renovatie en prestatieverbetering van CompexPro102F Excimer Laser
Lasersysteem: Coherent CompexPro102F Excimer Laser
Servicedatum: Juni 2025
Doelstelling: Volledige systeemrevisie om prestaties te herstellen en te verbeteren, met een enkele pulsenergie van meer dan 300mJ bij 248nm en verbetering van de algehele operationele levensduur.
Achtergrond & Uitdaging:
Het CompexPro102F excimer-lasersysteem van een klant vereiste uitgebreide onderhouds- en reparatiewerkzaamheden. Het primaire doel was het herstellen van de operationele prestaties, met name gericht op een enkele pulsenergie van meer dan 300mJ bij de operationele golflengte van 248nm, en het waarborgen van een langere levensduur voor het gehele systeem.
Ons uitgebreide service- en reparatieproces:
Ons team heeft een nauwgezette en systematische aanpak gevolgd om alle kritieke componenten van de CompexPro102F laser aan te pakken:
-
Renovatie van de ontladingsunit: Volledige renovatie van ontladings-elektroden en pre-ionisatie-eenheden om optimale en stabiele plasma-generatie te garanderen.
-
Onderhoud Laserkamer: De laserkamer werd zorgvuldig geopend, geïnspecteerd op slijtage of verontreiniging, grondig gereinigd en opnieuw klaargemaakt.
-
Revisie Gascirculatiesysteem: Het gascirculatiesysteem, inclusief de ventilator en kanalen, werd gereviseerd om een efficiënte en schone gasstroom te verzekeren, cruciaal voor stabiele laserwerking en gaslevensduur.
-
Reparatie Thyratron Triggermodule: De thyratron triggermodule werd gediagnosticeerd, gerepareerd en grondig getest om nauwkeurige en betrouwbare schakeling te garanderen.
-
Diagnose & Reparatie Besturingssysteem: Eventuele afwijkingen binnen het besturingssysteem werden geïdentificeerd en verholpen om een naadloze en veilige werking te garanderen.
-
Systeembrede Gasdichtheid: Er werd een uitgebreide lekdetectieprocedure uitgevoerd over het gehele gassysteem, gevolgd door noodzakelijke reparaties om vacuümintegriteit en gaszuiverheid te waarborgen.
-
Onderhoud Hoogspanningsvoeding: De hoogspanningsvoeding werd grondig geïnspecteerd en onderhouden om een stabiele en betrouwbare stroomvoorziening te garanderen.
-
Volledige Systeemtest & Prestatievalidatie: Na reparatie werd het gehele lasersysteem geassembleerd en onderworpen aan uitgebreide tests om te bevestigen dat alle prestatiecriteria werden gehaald of overtroffen.
Resultaten & Prestaties:
De revisie was zeer succesvol, waarbij de CompexPro102F niet alleen voldeed aan, maar de contractuele prestatie-eisen aanzienlijk overtrof.
-
Golflengtebevestiging:
-
Behaald: 248nm (Spectrale piek nauwkeurig gemeten op 248,3nm)
-

-
Pulsenergie:
-
Doel: >300mJ @ 248nm
-
Bereikt maximum: 469mJ (bij 28kV / 10Hz)
-
De laser toonde uitstekende energiestabiliteit over een reeks bedrijfsspanningen en herhalingssnelheden.
-
|
Spanning (kV) |
Energie (mJ) |
|
|
5Hz Gem |
10Hz Gem |
|
|
22 |
319.0 |
316.0 |
|
23 |
345.0 |
347.0 |
|
24 |
379.0 |
375.0 |
|
25 |
404.0 |
402.0 |
|
26 |
430.0 |
426.0 |
|
27 |
452.0 |
451.0 |
|
28 |
473.0 |
469.0 |
Testvideo

-
Gaslevensduur:
-
De laser toonde een robuuste gaslevensduur, waarbij een aanzienlijke energie-output werd gehandhaafd over een uitgebreid aantal pulsen. Bij 24kV/10Hz begon de energie bij 375,0mJ en was nog steeds 317,0mJ na 162.000 pulsen.
-
|
Aantal pulsen (K) |
Energie (mJ/24kV) |
|
10Hz |
|
|
Gem |
|
|
0 |
375.0 |
|
18 |
371.0 |
|
18 |
348.0 |
|
36 |
352.0 |
|
54 |
355.0 |
|
72 |
347.0 |
|
90 |
338.0 |
|
108 |
333.0 |
|
126 |
328.0 |
|
144 |
327.0 |
|
162 |
317.0 |

-
Stralingsprofiel (Puntgrootte):
-
Gemeten: Ongeveer 24mm x 8mm
-

-
Pulsbreedte:
-
Gemeten (FWHM): Ongeveer 30ns
-

Conclusie:
Het uitgebreide reparatie- en onderhoudsprogramma voor de CompexPro102F excimerlaser resulteerde in een volledige herstel van de operationele capaciteiten. Het systeem overtreft nu aanzienlijk de oorspronkelijke prestatie-specificaties, met name in maximale pulsenergie, en toont uitstekende stabiliteit en gaslevensduur. Deze succesvolle renovatie voldoet niet alleen aan de directe operationele behoeften van de klant, maar zorgt ook voor een verlengde levensduur van hun waardevolle laserapparatuur.


Heeft uw excimerlaser deskundige aandacht nodig? Neem vandaag nog contact met ons op om uw reparatie- en onderhoudsbehoeften te bespreken!
Video
Veelgestelde Vragen
V1: Hoe kan ik zien of mijn excimerlaser reparatie nodig heeft?
A1: Als de energie-output van uw laser afneemt en niet langer optimale prestaties levert, kan reparatie nodig zijn. U kunt ons foto's van de relevante onderdelen sturen, en onze ingenieurs zullen een voorlopige beoordeling uitvoeren.
V2: Welke informatie en voorbereidingen zijn nodig voordat de laseronderdelen voor reparatie worden opgestuurd?
A2: Wij hebben uw contactgegevens nodig, evenals de afmetingen en het gewicht van de apparatuur om de verzendkosten te berekenen. Zorg ervoor dat het apparaat veilig is verpakt en duidelijk is gemarkeerd met "Alleen voor reparatie" om douanerechten te voorkomen.
V3: Wat zijn de reparatiekosten? Zijn er extra kosten?
A3: De reparatiekosten zijn gebaseerd op de complexiteit van het werk en de kosten van het vervangen van onderdelen. Extra kosten kunnen ontstaan als tijdens de reparatie andere problemen worden ontdekt, zoals defecten aan het interne zwarte apparaat. Specifieke kosten worden bepaald na inspectie.
V4: Hoe worden transport en retour geregeld na reparatie?
A4: Na voltooiing van de reparaties regelen wij het transport op basis van het retouradres dat u opgeeft. Bevestig zowel het verzend- als het retouradres, aangezien deze de verzendkosten beïnvloeden.
V5: Is er garantie op de reparatieservice?
A5: Wij bieden een garantieperiode voor al onze reparatiediensten om te waarborgen dat de gerepareerde apparatuur aan de prestatiestandaarden voldoet.
V6: Hoe kan ik de voortgang van de reparatie volgen?
A6: U kunt de voortgang van de reparatie volgen via onze contactmethoden, zoals WeChat en e-mail. Wij zullen u ook proactief op de hoogte houden van belangrijke reparatiestatussen.
V7: Hoe gaat u om met reparatiebehoeften voor internationale klanten?
A7: Voor internationale klanten bieden wij volledige logistieke ondersteuning en douaneadvies om ervoor te zorgen dat uw apparatuur veilig ons reparatiecentrum bereikt.
V8: Hoe wordt de communicatie afgehandeld als er aanvullende reparatiebehoeften ontstaan?
A8: Mocht tijdens het reparatieproces blijken dat er aanvullende problemen zijn, dan communiceren wij tijdig met u en bieden wij een gedetailleerd reparatieplan en budget aan, zodat u voldoende informatie heeft om beslissingen te nemen.