Wat is een Excimerlaser?

Een excimeerlaser is een zeer nauwkeurig laserapparaat dat een mengsel van edelgashalogeniden als versterkingsmedium gebruikt om ultraviolet licht met extreem korte golflengten te produceren. Dit type laser staat bekend om zijn hoge energieopbrengst en nauwkeurige controle en wordt veelvuldig gebruikt in precisiemateriaalverwerking en medische toepassingen.

Toepassingen van Excimerlasers

Excimerlasers worden op grote schaal gebruikt in verschillende industrieën vanwege hun unieke eigenschappen:

• Halfgeleiderproductie: Gebruikt in lithografische processen voor miniaturisatie.
• Oogheelkundige chirurgie: zoals LASIK, om het gezichtsvermogen van patiënten te verbeteren.
• Materiaalverwerking: Gebruikt voor het boren, snijden of markeren van verschillende materialen.
• Wetenschappelijk onderzoek: ingezet bij nauwkeurige metingen en experimenten in de natuur- en scheikunde.

Redenen om voor Excimer Laser Repair te kiezen

• Kosteneffectiviteit: Excimerlasers zijn duur in aanschaf en gebruik. Door deze apparaten te repareren in plaats van te vervangen, kunnen de kosten aanzienlijk worden verlaagd.
• Verlengde levensduur: Regelmatig professioneel onderhoud herstelt niet alleen de laserprestaties, maar verlengt ook aanzienlijk de operationele levensduur.
• Preventie van downtime: tijdige reparaties voorkomen langdurige stilstand veroorzaakt door defecten aan apparatuur, waardoor continue productie- en onderzoeksactiviteiten worden gegarandeerd.

Waarom kiezen voor onze reparatiediensten?

• Leiderschap in de sector: Sky Fire Laser is een van de weinige technische teams in China die excimeerlasers professioneel kunnen repareren.
• Geavanceerde faciliteiten: Ons reparatielaboratorium is uitgerust met toonaangevende reparatie- en monitoringapparatuur.
• Ervaren technici: Ons technische team beschikt over diepgaande kennis en uitgebreide ervaring op het gebied van reparatie met lasertechnologie.
• Services op maat: We bieden gepersonaliseerde reparatieplannen die zijn afgestemd op de specifieke behoeften en budgetten van onze klanten.

Casestudy reparatie: MIDI V5.2 Technolas Excimer Laser

Achtergrond

In april 2024 hebben we een uitdagend project uitgevoerd om de prestaties van een MIDI V5.2 Technolas excimeerlaser te herstellen. Dit apparaat kon niet aan de fabrieksspecificaties voldoen vanwege meerdere prestatieproblemen die van invloed waren op de productie van de klant.

I. Onderhoudsdetails

1. Laserholte: Openen, inspecteren, grondig reinigen en onderhouden van de laserholte.
2. Ontladingselektroden: Sputteren en corrosiereinigen van ontladingselektroden en pre-ionisatiecomponenten.
3. Gascirculatieluchtpad: Renovatie van het gascirculatieluchtpad.
4. Voeding: Reparatie van de hoogspanningsvoeding voor stofverwijdering.
5. Luchtdichtheidstesten: Uitgebreide luchtdichtheidstesten en reparaties.
6. Machinetesten: voltooi machinetests en herstel prestatiebenchmarks.

II. Contractuele prestatiebenchmarks

• Prestatieherstel: Herstel van de algehele laserprestaties, waarbij de maximale energie van de enkele puls van de laser >100 mJ (193 nm) is.
• Verlengde levensduur: Garandeert een langere operationele levensduur van het apparaat.

III. Resultaten van onderhoudstests

• Golflengte: 193 nm

Energieopslagspanning (kV)	Energie (mJ)
	1 Hz			10 Hz			20 Hz
	Gem	Soa	Relatief standaard%	Gem	Soa	Relatief standaard%	Gem	Soa	Relatief standaard%
25.0	139.2	0.89	0.64	135.1	1.34	0.99	129.7	1.75	1.35
26.0	148.7	1.09	0.73	142.2	1.19	0.84	136.9	1.46	1.07
27.0	153.1	1.11	0.73	148.2	1.13	0.76	143.4	1.44	1.00
28.0	158.3	1.43	0.90	153.8	1.52	0.99	148.8	1.37	0.92

 

• Operationele gaslevensduur bij 25 kV/20 Hz:

25kV/20Hz Pulstelling (K)	Energie mJ
	10 Hz	20 Hz
0	135.1	129.7
36	128.9	123.8
72	121.8	119.2
108	114.7	113.5
15 uur inactief	99.4	95.0
180	93.8	91.2
216	87.7	91.2
252	95.9	93.8
288	92.2	89.8
42 uur inactief	85.5	80.5
324	79.4	76.1
360	72.9	70.1
396	67.6	65.9
432	62.5	61.5
468	60.1	58.4
504	55.1	52.9
540	50.1	49.2

 

• Vergelijking voor en na lensvervanging：

• Straalprofiel: 15 mm * 5 mm

Presentatie op fotopapier

 

Pulsbreedte: FWHM ≈ 16ns

IV. Foto's van testlocaties

• Pulsbreedte testen:

• Spectrumtesten: