Coherent excimer laser source

Wat is een Excimerlaser?

Een excimeerlaser is een zeer nauwkeurig laserapparaat dat een mengsel van edelgashalogeniden als versterkingsmedium gebruikt om ultraviolet licht met extreem korte golflengten te produceren. Dit type laser staat bekend om zijn hoge energieopbrengst en nauwkeurige controle en wordt veelvuldig gebruikt in precisiemateriaalverwerking en medische toepassingen.

Toepassingen van Excimerlasers

excimer laser in medical application

Excimerlasers worden op grote schaal gebruikt in verschillende industrieën vanwege hun unieke eigenschappen:

  • Halfgeleiderproductie: Gebruikt in lithografische processen voor miniaturisatie.
  • Oogheelkundige chirurgie: zoals LASIK, om het gezichtsvermogen van patiënten te verbeteren.
  • Materiaalverwerking: Gebruikt voor het boren, snijden of markeren van verschillende materialen.
  • Wetenschappelijk onderzoek: ingezet bij nauwkeurige metingen en experimenten in de natuur- en scheikunde.

Redenen om voor Excimer Laser Repair te kiezen

  • Kosteneffectiviteit: Excimerlasers zijn duur in aanschaf en gebruik. Door deze apparaten te repareren in plaats van te vervangen, kunnen de kosten aanzienlijk worden verlaagd.
  • Verlengde levensduur: Regelmatig professioneel onderhoud herstelt niet alleen de laserprestaties, maar verlengt ook aanzienlijk de operationele levensduur.
  • Preventie van downtime: tijdige reparaties voorkomen langdurige stilstand veroorzaakt door defecten aan apparatuur, waardoor continue productie- en onderzoeksactiviteiten worden gegarandeerd.

Waarom kiezen voor onze reparatiediensten?

  • Leiderschap in de sector: Sky Fire Laser is een van de weinige technische teams in China die excimeerlasers professioneel kunnen repareren.
  • Geavanceerde faciliteiten: Ons reparatielaboratorium is uitgerust met toonaangevende reparatie- en monitoringapparatuur.
  • Ervaren technici: Ons technische team beschikt over diepgaande kennis en uitgebreide ervaring op het gebied van reparatie met lasertechnologie.
  • Services op maat: We bieden gepersonaliseerde reparatieplannen die zijn afgestemd op de specifieke behoeften en budgetten van onze klanten.

Casestudy reparatie: MIDI V5.2 Technolas Excimer Laser

Achtergrond

In april 2024 hebben we een uitdagend project uitgevoerd om de prestaties van een MIDI V5.2 Technolas excimeerlaser te herstellen. Dit apparaat kon niet aan de fabrieksspecificaties voldoen vanwege meerdere prestatieproblemen die van invloed waren op de productie van de klant.

I. Onderhoudsdetails

  1. Laserholte: Openen, inspecteren, grondig reinigen en onderhouden van de laserholte.
  2. Ontladingselektroden: Sputteren en corrosiereinigen van ontladingselektroden en pre-ionisatiecomponenten.
  3. Gascirculatieluchtpad: Renovatie van het gascirculatieluchtpad.
  4. Voeding: Reparatie van de hoogspanningsvoeding voor stofverwijdering.
  5. Luchtdichtheidstesten: Uitgebreide luchtdichtheidstesten en reparaties.
  6. Machinetesten: voltooi machinetests en herstel prestatiebenchmarks.

II. Contractuele prestatiebenchmarks

  • Prestatieherstel: Herstel van de algehele laserprestaties, waarbij de maximale energie van de enkele puls van de laser >100 mJ (193 nm) is.
  • Verlengde levensduur: Garandeert een langere operationele levensduur van het apparaat.

III. Resultaten van onderhoudstests

  • Golflengte: 193 nm
wavelength test image
  • Pulsenergie: Maximale energie per enkele puls 158,3 mJ (@28kV)

Energieopslagspanning (kV)

Energie (mJ)

1 Hz

10 Hz

20 Hz

Gem

Soa

Relatief standaard%

Gem

Soa

Relatief standaard%

Gem

Soa

Relatief standaard%

25.0

139.2

0.89

0.64

135.1

1.34

0.99

129.7

1.75

1.35

26.0

148.7

1.09

0.73

142.2

1.19

0.84

136.9

1.46

1.07

27.0

153.1

1.11

0.73

148.2

1.13

0.76

143.4

1.44

1.00

28.0

158.3

1.43

0.90

153.8

1.52

0.99

148.8

1.37

0.92

 

  • Operationele gaslevensduur bij 25 kV/20 Hz:

25kV/20Hz
Pulstelling (K)

Energie mJ

 

10 Hz

20 Hz

0

135.1

129.7

36

128.9

123.8

72

121.8

119.2

108

114.7

113.5

15 uur inactief

99.4

95.0

180

93.8

91.2

216

87.7

91.2

252

95.9

93.8

288

92.2

89.8

42 uur inactief

85.5

80.5

324

79.4

76.1

360

72.9

70.1

396

67.6

65.9

432

62.5

61.5

468

60.1

58.4

504

55.1

52.9

540

50.1

49.2

operation performance at 10hz and 20hz

 

  • Vergelijking voor en na lensvervanging
operation performance before and after lens replacement
  • Straalprofiel: 15 mm * 5 mm

Presentatie op fotopapier

Photographic paper presentation

 

Pulsbreedte: FWHM ≈ 16ns

Pulsse Width

IV. Foto's van testlocaties

  • Pulsbreedte testen:
Pulse Width Testing
  • Spectrumtesten:
Spectrum Testing

Veel Gestelde Vragen

Vraag 1: Hoe weet ik of mijn excimeerlaser gerepareerd moet worden?
A1: Als de energieopbrengst van uw laser afneemt en niet langer optimale prestaties levert, moet deze mogelijk worden gerepareerd. U kunt ons foto's sturen van de relevante onderdelen, waarna onze engineers een voorlopige beoordeling uitvoeren.

Vraag 2: Welke informatie en voorbereidingen zijn nodig voordat de laseronderdelen ter reparatie worden verzonden?
A2: We hebben uw contactgegevens nodig, evenals de afmetingen en het gewicht van de apparatuur om de verzendkosten te berekenen. Zorg ervoor dat u het apparaat veilig verpakt en duidelijk de vermelding 'Alleen voor reparatie' markeert om douanerechten te vermijden.

Vraag 3: Wat zijn de reparatiekosten? Zijn er extra kosten?
A3: Reparatiekosten zijn gebaseerd op de complexiteit van het werk en de kosten voor het vervangen van onderdelen. Er kunnen extra kosten ontstaan ​​als tijdens de reparatie andere problemen worden ontdekt, zoals fouten met het interne zwarte apparaat. Specifieke kosten worden na inspectie vastgesteld.

Vraag 4: Hoe wordt transport en retour geregeld na reparatie?
A4: Nadat de reparaties zijn voltooid, regelen we het transport op basis van het door u opgegeven retouradres. Bevestig zowel het verzend- als het retouradres, aangezien deze van invloed zijn op de verzendofferte.

Vraag 5: Is er garantie op de reparatieservice?
A5: We bieden een garantieperiode voor al onze reparatieservices om ervoor te zorgen dat de gerepareerde apparatuur voldoet aan de prestatienormen.

Vraag 6: Hoe kan ik de voortgang van de reparatie volgen?
A6: U kunt de voortgang van de reparatie volgen via onze contactmethoden, zoals WeChat en e-mail. We houden u ook proactief op de hoogte van belangrijke reparatiestatussen.

Vraag 7: Hoe gaan jullie om met reparatiebehoeften voor internationale klanten?
A7: Voor internationale klanten bieden we volledige logistieke ondersteuning en douaneadvies om ervoor te zorgen dat uw apparatuur veilig ons reparatiecentrum bereikt.

Vraag 8: Hoe wordt omgegaan met de communicatie als zich aanvullende reparatiebehoeften voordoen?
A8: Mochten er tijdens het reparatieproces aanvullende problemen worden ontdekt, dan zullen we tijdig met u communiceren en een gedetailleerd reparatieplan en budget verstrekken om ervoor te zorgen dat u over voldoende informatie beschikt om beslissingen te nemen.

 

Verder lezen: