• Energia do pulso: Energia máxima de pulso único 158,3mJ (@28kV)

Estudo de Caso de Reparo: Reforma Completa & Melhoria de Desempenho do Laser Excimer CompexPro102F

Sistema de Laser: Laser Excimer Coherent CompexPro102F
Data do Serviço: Junho de 2025
Objetivo: Revisão completa do sistema para restaurar e melhorar o desempenho, superando 300mJ de energia por pulso único a 248nm e aumentando a vida útil operacional geral.

Contexto & Desafio:
O sistema de laser excimer CompexPro102F de um cliente necessitava de manutenção e reparo completos. O objetivo principal era restaurar seu desempenho operacional, visando especificamente uma energia de pulso único superior a 300mJ em seu comprimento de onda operacional de 248nm, e garantir uma vida útil prolongada para todo o sistema.

Nosso Processo Abrangente de Serviço & Reparo:
Nossa equipe adotou uma abordagem meticulosa e sistemática para abordar todos os componentes críticos do laser CompexPro102F:

1. Reforma da Unidade de Descarga: Reforma completa dos eletrodos de descarga e unidades de pré-ionização para garantir geração de plasma ótima e estável.

2. Serviço da Cavidade do Laser: A cavidade do laser foi cuidadosamente aberta, inspecionada quanto a desgaste ou contaminação, limpa minuciosamente e recondicionada.

3. Reforma do Sistema de Circulação de Gás: O sistema de circulação de gás, incluindo o ventilador e a tubulação, foi reformado para garantir fluxo de gás eficiente e limpo, crítico para operação estável do laser e vida útil do gás.

4. Reparo do Módulo de Disparo do Tiratrônio: O módulo de disparo do tiratrônio foi diagnosticado, reparado e testado rigorosamente para garantir comutação precisa e confiável.

5. Diagnóstico & Reparo do Sistema de Controle: Quaisquer anomalias no sistema de controle foram identificadas e corrigidas para garantir operação contínua e segura.

6. Estanqueidade do Sistema de Gás: Um procedimento abrangente de detecção de vazamentos foi realizado em todo o sistema de gás, seguido das reparações necessárias para garantir a integridade do vácuo e a pureza do gás.

7. Manutenção da Fonte de Alimentação de Alta Tensão: A fonte de alimentação de alta tensão passou por inspeção e manutenção rigorosas para garantir fornecimento de energia estável e confiável.

8. Testes Completos do Sistema & Validação de Desempenho: Após o reparo, todo o sistema a laser foi montado e submetido a testes extensivos para confirmar que todas as métricas de desempenho foram atendidas ou superadas.

Resultados & Conquistas:
A reforma foi altamente bem-sucedida, com o CompexPro102F não apenas atendendo, mas superando significativamente as metas contratuais de desempenho.

• Confirmação do Comprimento de Onda:

  • Alcançado: 248nm (Pico espectral medido precisamente em 248,3nm)
    

• Energia do Pulso:

  • Alvo: >300mJ @ 248nm

  • Máximo Alcançado: 469mJ (a 28kV / 10Hz)

  • O laser demonstrou excelente estabilidade de energia em uma faixa de tensões de operação e taxas de repetição.
    

Vídeo do Teste

• Vida Útil do Gás:

  • O laser demonstrou vida útil robusta do gás, mantendo uma saída de energia significativa ao longo de uma contagem estendida de pulsos. A 24kV/10Hz, a energia começou em 375,0mJ e ainda estava em 317,0mJ após 162.000 pulsos.
    

• Perfil do Feixe (Tamanho do Ponto):

  • Medido: Aproximadamente 24mm x 8mm

• Largura do Pulso:

  • Medido (FWHM): Aproximadamente 30ns

Conclusão:
O programa abrangente de reparo e manutenção para o laser excimer CompexPro102F resultou em uma restauração completa de suas capacidades operacionais. O sistema agora supera significativamente suas especificações originais de desempenho, especialmente na energia máxima do pulso, e demonstra excelente estabilidade e vida útil do gás. Esta reforma bem-sucedida não apenas atende às necessidades operacionais imediatas do cliente, mas também garante uma vida útil estendida para seu valioso equipamento laser.

Seu laser excimer precisa de atenção especializada? Entre em contato conosco hoje para discutir suas necessidades de reparo e manutenção!

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Perguntas Frequentes

Q1: Como posso saber se meu laser excimer precisa de reparo?
A1: Se a saída de energia do seu laser diminuir e não entregar mais o desempenho ideal, pode ser necessário reparo. Você pode nos enviar fotos das partes relevantes, e nossos engenheiros farão uma avaliação preliminar.

Q2: Quais informações e preparativos são necessários antes de enviar as peças do laser para reparo?
A2: Precisamos das suas informações de contato, bem como das dimensões e peso do equipamento para calcular os custos de envio. Certifique-se de embalar o dispositivo com segurança e marcá-lo claramente como "Apenas para Reparo" para evitar taxas alfandegárias.

Q3: Quais são os custos de reparo? Existem taxas adicionais?
A3: Os custos de reparo são baseados na complexidade do trabalho e no custo de substituição das peças. Custos adicionais podem surgir se outros problemas, como falhas no dispositivo interno preto, forem descobertos durante o reparo. Os custos específicos serão determinados após a inspeção.

Q4: Como são organizados o transporte e o retorno após o reparo?
A4: Após a conclusão dos reparos, organizaremos o transporte com base no endereço de retorno que você fornecer. Por favor, confirme tanto o endereço de envio quanto o de retorno, pois eles afetarão o orçamento do frete.

Q5: Existe garantia para o serviço de reparo?
A5: Oferecemos um período de garantia para todos os nossos serviços de reparo para garantir que o equipamento reparado atenda aos padrões de desempenho.

Q6: Como posso acompanhar o progresso do reparo?
A6: Você pode acompanhar o progresso do reparo por meio de nossos métodos de contato, como WeChat e e-mail. Também atualizaremos proativamente sobre status significativos do reparo.

Q7: Como vocês lidam com as necessidades de reparo para clientes internacionais?
A7: Para clientes internacionais, oferecemos suporte logístico completo e aconselhamento aduaneiro para garantir que seu equipamento chegue com segurança ao nosso centro de reparos.

Q8: Como é feita a comunicação se surgirem necessidades adicionais de reparo?
A8: Caso sejam descobertos problemas adicionais durante o processo de reparo, comunicaremos você de forma oportuna e forneceremos um plano detalhado de reparo e orçamento para garantir que você tenha informações suficientes para tomar decisões.

Leitura adicional:

• serviço de reparo de fonte de laser de fibra