O que é um Excimer Laser?

Um laser excimer é um dispositivo laser de alta precisão que usa uma mistura de halogenetos de gases raros como meio de ganho para produzir luz ultravioleta com comprimentos de onda extremamente curtos. Conhecido por sua alta produção de energia e controle preciso, esse tipo de laser é amplamente utilizado no processamento de materiais de precisão e em aplicações médicas.

Aplicações de lasers excimer

Os lasers Excimer são amplamente utilizados em diversas indústrias devido às suas propriedades únicas:

• Fabricação de semicondutores: Usado em processos de litografia para miniaturização.
• Cirurgia Oftalmológica: Como LASIK, para melhorar a visão dos pacientes.
• Processamento de materiais: Usado para perfurar, cortar ou marcar vários materiais.
• Pesquisa Científica: Empregado em medições precisas e experimentos em física e química.

Razões para escolher o reparo do Excimer Laser

• Eficácia em termos de custos: Os lasers Excimer são caros para comprar e operar. Reparar em vez de substituir estes dispositivos pode reduzir significativamente os custos.
• Vida útil estendida: A manutenção profissional regular não apenas restaura o desempenho do laser, mas também prolonga significativamente sua vida operacional.
• Prevenção de tempo de inatividade: reparos oportunos evitam longos períodos de inatividade causados ​​por falhas de equipamentos, garantindo atividades contínuas de produção e pesquisa.

Por que escolher nossos serviços de reparo?

• Liderança do setor: A Sky Fire Laser está entre as poucas equipes técnicas na China capazes de reparar profissionalmente lasers excimer.
• Instalações avançadas: Nosso laboratório de reparos está equipado com equipamentos de reparo e monitoramento líderes do setor.
• Técnicos experientes: Nossa equipe de engenharia possui profundo conhecimento e ampla experiência em reparos de tecnologia laser.
• Serviços Personalizados: Oferecemos planos de reparo personalizados, adaptados às necessidades e orçamentos específicos de nossos clientes.

Estudo de caso de reparo: MIDI V5.2 Technolas Excimer Laser

Fundo

Em abril de 2024, empreendemos um projeto desafiador para restaurar o desempenho de um excimer laser MIDI V5.2 Technolas. Este dispositivo não conseguiu atender às especificações de fábrica devido a vários problemas de desempenho, afetando a produção do cliente.

I. Detalhes de manutenção

1. Cavidade do Laser: Abertura, inspeção, limpeza completa e manutenção da cavidade do laser.
2. Eletrodos de descarga: Limpeza por pulverização catódica e corrosão de eletrodos de descarga e componentes de pré-ionização.
3. Via aérea de circulação de gás: Remodelação da via aérea de circulação de gás.
4. Fonte de alimentação: Reparação da fonte de alimentação de remoção de poeira de alta tensão.
5. Teste de estanqueidade: Testes e reparos abrangentes de estanqueidade.
6. Testes de Máquina: Testes de máquina completos, restaurando benchmarks de desempenho.

II. Referências de desempenho contratual

• Restauração de desempenho: Restauração do desempenho geral do laser, com energia máxima de pulso único do laser >100mJ (193nm).
• Vida útil estendida: Garantindo uma vida útil operacional prolongada do dispositivo.

III. Resultados dos testes de manutenção

• Comprimento de onda: 193 nm

Tensão de armazenamento de energia (kV)	Energia (mJ)
	1Hz			10Hz			20Hz
	Avenida	Padrão	% padrão relativo	Avenida	Padrão	% padrão relativo	Avenida	Padrão	% padrão relativo
25.0	139.2	0.89	0.64	135.1	1.34	0.99	129.7	1.75	1.35
26.0	148.7	1.09	0.73	142.2	1.19	0.84	136.9	1.46	1.07
27.0	153.1	1.11	0.73	148.2	1.13	0.76	143.4	1.44	1.00
28.0	158.3	1.43	0.90	153.8	1.52	0.99	148.8	1.37	0.92

 

• Vida útil operacional do gás a 25kV/20Hz:

25kV/20Hz Contagem de pulso (K)	Energia mJ
	10Hz	20Hz
0	135.1	129.7
36	128.9	123.8
72	121.8	119.2
108	114.7	113.5
Inativo por 15 horas	99.4	95.0
180	93.8	91.2
216	87.7	91.2
252	95.9	93.8
288	92.2	89.8
Inativo por 42 horas	85.5	80.5
324	79.4	76.1
360	72.9	70.1
396	67.6	65.9
432	62.5	61.5
468	60.1	58.4
504	55.1	52.9
540	50.1	49.2

 

• Comparação antes e depois da substituição da lente：

• Perfil do feixe: 15mm * 5mm

Apresentação em papel fotográfico

 

Largura de pulso: FWHM ≈ 16ns

4. Fotos do local de teste

• Teste de largura de pulso:

• Teste de espectro: