• Energia do Pulso: Energia máxima de pulso único 158.3mJ (@28kV)

Estudo de Caso de Reparo: Reforma Completa e Melhoria de Desempenho do Laser Excimer CompexPro102F

Sistema a Laser: Laser Excimer Coherent CompexPro102F
Data do Serviço: Junho de 2025
Objetivo: Revisão completa do sistema para restaurar e melhorar o desempenho, superando 300mJ de energia por pulso único a 248nm e aumentando a vida útil operacional geral.

Contexto e Desafio:
O sistema de laser excimer CompexPro102F de um cliente necessitava de manutenção e reparo completos. O objetivo principal era restaurar seu desempenho operacional, visando especificamente uma energia de pulso único superior a 300mJ em seu comprimento de onda operacional de 248nm, e garantir uma vida útil prolongada para todo o sistema.

Nosso Processo Abrangente de Serviço e Reparo:
Nossa equipe adotou uma abordagem meticulosa e sistemática para tratar todos os componentes críticos do laser CompexPro102F:

1. Reforma da Unidade de Descarga: Reforma completa dos eletrodos de descarga e unidades de pré-ionização para garantir geração de plasma ótima e estável.

2. Serviço de Cavidade a Laser: A cavidade do laser foi cuidadosamente aberta, inspecionada quanto a desgaste ou contaminação, completamente limpa e recondicionada.

3. Reforma do Sistema de Circulação de Gás: O sistema de circulação de gás, incluindo o ventilador e a tubulação, foi reformado para garantir fluxo de gás eficiente e limpo, crítico para operação estável do laser e vida útil do gás.

4. Reparo do Módulo de Disparo do Tiratrônio: O módulo de disparo do tiratrônio foi diagnosticado, reparado e rigorosamente testado para garantir comutação precisa e confiável.

5. Diagnóstico e Reparo do Sistema de Controle: Quaisquer anomalias no sistema de controle foram identificadas e corrigidas para garantir operação contínua e segura.

6. Estanqueidade do Sistema de Gás: Foi realizado um procedimento abrangente de detecção de vazamentos em todo o sistema de gás, seguido das reparações necessárias para garantir a integridade do vácuo e a pureza do gás.

7. Manutenção da Fonte de Alimentação de Alta Tensão: A fonte de alimentação de alta tensão passou por inspeção e manutenção rigorosas para garantir fornecimento de energia estável e confiável.

8. Testes Completos do Sistema e Validação de Desempenho: Após o reparo, todo o sistema a laser foi montado e submetido a testes extensivos para confirmar que todas as métricas de desempenho foram atendidas ou superadas.

Resultados e Conquistas:
A reforma foi altamente bem-sucedida, com o CompexPro102F não apenas atendendo, mas superando significativamente as metas contratuais de desempenho.

• Confirmação do Comprimento de Onda:

  • Alcançado: 248nm (Pico espectral medido com precisão em 248,3nm)
    

• Energia do Pulso:

  • Alvo: >300mJ @ 248nm

  • Máximo Alcançado: 469mJ (em 28kV / 10Hz)

  • O laser demonstrou excelente estabilidade de energia em uma variedade de voltagens de operação e taxas de repetição.
    

Vídeo de Teste

• Vida Útil do Gás:

  • O laser demonstrou uma vida útil robusta do gás, mantendo uma saída de energia significativa ao longo de uma contagem estendida de pulsos. Em 24kV/10Hz, a energia começou em 375,0mJ e ainda estava em 317,0mJ após 162.000 pulsos.
    

• Perfil do Feixe (Tamanho do Ponto):

  • Medido: Aproximadamente 24mm x 8mm

• Largura do Pulso:

  • Medido (FWHM): Aproximadamente 30ns

Conclusão:
O programa abrangente de reparo e manutenção para o laser excimer CompexPro102F resultou em uma restauração completa de suas capacidades operacionais. O sistema agora supera significativamente suas especificações originais de desempenho, especialmente na energia máxima do pulso, e demonstra excelente estabilidade e vida útil do gás. Esta reforma bem-sucedida não apenas atende às necessidades operacionais imediatas do cliente, mas também garante uma vida útil prolongada para seu valioso equipamento a laser.

Seu laser excimer precisa de atenção especializada? Entre em contato conosco hoje para discutir suas necessidades de reparo e manutenção!

Vídeo

Perguntas Frequentes

Q1: Como posso saber se meu laser excimer precisa de reparo?
A1: Se a saída de energia do seu laser diminuir e não entregar mais o desempenho ideal, pode ser necessário reparo. Você pode nos enviar fotos das partes relevantes, e nossos engenheiros farão uma avaliação preliminar.

Q2: Quais informações e preparações são necessárias antes de enviar as peças do laser para reparo?
A2: Precisamos das suas informações de contato, bem como das dimensões e peso do equipamento para calcular os custos de envio. Certifique-se de embalar o dispositivo com segurança e marcá-lo claramente como "Apenas para Reparo" para evitar taxas alfandegárias.

Q3: Quais são os custos do reparo? Existem taxas adicionais?
A3: Os custos de reparo são baseados na complexidade do trabalho e no custo de substituição das peças. Custos adicionais podem surgir se outros problemas, como falhas no dispositivo interno preto, forem descobertos durante o reparo. Os custos específicos serão determinados após a inspeção.

Q4: Como são organizados o transporte e o retorno após o reparo?
A4: Após a conclusão dos reparos, organizaremos o transporte com base no endereço de retorno que você fornecer. Por favor, confirme tanto o endereço de envio quanto o de retorno, pois eles afetarão o orçamento do frete.

Q5: Existe garantia para o serviço de reparo?
A5: Oferecemos um período de garantia para todos os nossos serviços de reparo para garantir que o equipamento reparado atenda aos padrões de desempenho.

Q6: Como posso acompanhar o progresso do reparo?
A6: Você pode acompanhar o progresso do reparo através dos nossos métodos de contato, como WeChat e e-mail. Também atualizaremos proativamente sobre status significativos do reparo.

Q7: Como vocês lidam com as necessidades de reparo para clientes internacionais?
A7: Para clientes internacionais, oferecemos suporte logístico completo e orientação aduaneira para garantir que seu equipamento chegue com segurança ao nosso centro de reparo.

Q8: Como é feita a comunicação se surgirem necessidades adicionais de reparo?
A8: Caso sejam descobertos problemas adicionais durante o processo de reparo, comunicaremos você de forma oportuna e forneceremos um plano detalhado de reparo e orçamento para garantir que você tenha informações suficientes para tomar decisões.

Leitura adicional:

• serviço de reparo de fonte de laser de fibra