• Énergie d'impulsion : Énergie maximale d'une seule impulsion 158,3mJ (@28kV)

Étude de cas de réparation : Rénovation complète et amélioration des performances du laser excimère CompexPro102F

Système laser : Laser excimère Coherent CompexPro102F
Date du service : Juin 2025
Objectif : Révision complète du système pour restaurer et améliorer les performances, dépassant une énergie d'impulsion unique de 300mJ à 248nm et améliorant la durée de vie opérationnelle globale.

Contexte et défi :
Le système laser excimère CompexPro102F d'un client nécessitait une maintenance et une réparation complètes. L'objectif principal était de restaurer ses performances opérationnelles, en visant spécifiquement une énergie d'impulsion unique supérieure à 300mJ à sa longueur d'onde opérationnelle de 248nm, et d'assurer une durée de vie prolongée pour l'ensemble du système.

Notre processus complet de service et de réparation :
Notre équipe a adopté une approche méticuleuse et systématique pour traiter tous les composants critiques du laser CompexPro102F :

1. Rénovation de l'unité de décharge : Remise à neuf complète des électrodes de décharge et des unités de pré-ionisation pour garantir une génération de plasma optimale et stable.

2. Entretien de la cavité laser : La cavité laser a été soigneusement ouverte, inspectée pour toute usure ou contamination, nettoyée en profondeur et reconditionnée.

3. Révision du système de circulation de gaz : Le système de circulation de gaz, y compris le ventilateur et la conduite, a été remis à neuf pour assurer un flux de gaz efficace et propre, essentiel pour un fonctionnement stable du laser et la durée de vie du gaz.

4. Réparation du module de déclenchement du thyratron : Le module de déclenchement du thyratron a été diagnostiqué, réparé et testé rigoureusement pour garantir un commutateur précis et fiable.

5. Diagnostic et réparation du système de contrôle : Toutes les anomalies du système de contrôle ont été identifiées et corrigées pour assurer un fonctionnement fluide et sécurisé.

6. Étanchéité du système de gaz : Une procédure complète de détection de fuites a été réalisée sur l'ensemble du système de gaz, suivie des réparations nécessaires pour assurer l'intégrité du vide et la pureté du gaz.

7. Entretien de l'alimentation haute tension : L'alimentation haute tension a fait l'objet d'une inspection et d'un entretien minutieux pour garantir une alimentation stable et fiable.

8. Tests complets du système et validation des performances : Après réparation, l'ensemble du système laser a été assemblé et soumis à des tests approfondis pour confirmer que toutes les mesures de performance étaient atteintes ou dépassées.

Résultats et réalisations :
La remise à neuf a été un grand succès, le CompexPro102F ayant non seulement atteint mais largement dépassé les objectifs de performance contractuels.

• Confirmation de la longueur d'onde :

  • Atteint : 248nm (Pic spectral mesuré précisément à 248,3nm)
    

• Énergie d'impulsion :

  • Cible : >300mJ @ 248nm

  • Maximum atteint : 469mJ (à 28kV / 10Hz)

  • Le laser a démontré une excellente stabilité énergétique sur une gamme de tensions de fonctionnement et de fréquences de répétition.
    

Vidéo de test

• Durée de vie du gaz :

  • Le laser a démontré une durée de vie du gaz robuste, maintenant une sortie d'énergie significative sur un nombre étendu d'impulsions. À 24kV/10Hz, l'énergie a commencé à 375,0mJ et était encore à 317,0mJ après 162 000 impulsions.
    

• Profil du faisceau (taille du spot) :

  • Mesuré : Environ 24mm x 8mm

• Durée d'impulsion :

  • Mesuré (FWHM) : Environ 30ns

Conclusion :
Le programme complet de réparation et de maintenance du laser excimer CompexPro102F a permis une restauration totale de ses capacités opérationnelles. Le système dépasse désormais largement ses spécifications de performance d'origine, notamment en énergie maximale par impulsion, et démontre une excellente stabilité ainsi qu'une longue durée de vie du gaz. Cette rénovation réussie répond non seulement aux besoins opérationnels immédiats du client, mais assure également une durée de vie prolongée pour leur précieux équipement laser.

Votre laser excimer nécessite-t-il une attention experte ? Contactez-nous dès aujourd'hui pour discuter de vos besoins en réparation et maintenance !

Vidéo

Questions fréquemment posées

Q1 : Comment savoir si mon laser excimer a besoin d'une réparation ?
A1 : Si la puissance de sortie de votre laser diminue et ne délivre plus une performance optimale, il peut nécessiter une réparation. Vous pouvez nous envoyer des photos des pièces concernées, et nos ingénieurs effectueront une évaluation préliminaire.

Q2 : Quelles informations et préparations sont nécessaires avant d'envoyer les pièces laser pour réparation ?
A2 : Nous avons besoin de vos coordonnées ainsi que des dimensions et du poids de l'équipement pour calculer les frais d'expédition. Assurez-vous d'emballer l'appareil de manière sécurisée et de le marquer clairement "Pour réparation uniquement" afin d'éviter les droits de douane.

Q3 : Quels sont les coûts de réparation ? Y a-t-il des frais supplémentaires ?
A3 : Les coûts de réparation dépendent de la complexité du travail et du coût des pièces de rechange. Des frais supplémentaires peuvent survenir si d'autres problèmes, tels que des défauts avec le dispositif noir interne, sont découverts lors de la réparation. Les coûts spécifiques seront déterminés après inspection.

Q4 : Comment sont organisés le transport et le retour après la réparation ?
A4 : Une fois les réparations terminées, nous organiserons le transport en fonction de l'adresse de retour que vous fournissez. Veuillez confirmer les adresses d'envoi et de retour car elles influenceront le devis d'expédition.

Q5 : Y a-t-il une garantie pour le service de réparation ?
A5 : Nous offrons une période de garantie pour tous nos services de réparation afin de garantir que l'équipement réparé respecte les normes de performance.

Q6 : Comment puis-je suivre l'avancement de la réparation ?
A6 : Vous pouvez suivre l'avancement de la réparation via nos moyens de contact, tels que WeChat et email. Nous vous tiendrons également informé de manière proactive des statuts importants de la réparation.

Q7 : Comment gérez-vous les besoins de réparation pour les clients internationaux ?
A7 : Pour les clients internationaux, nous offrons un support logistique complet et des conseils en douane pour garantir que votre équipement arrive en toute sécurité à notre centre de réparation.

Q8 : Comment la communication est-elle gérée si des besoins de réparation supplémentaires surviennent ?
A8 : Si des problèmes supplémentaires sont découverts lors du processus de réparation, nous vous contacterons rapidement et vous fournirons un plan de réparation détaillé ainsi qu'un budget afin que vous disposiez de toutes les informations nécessaires pour prendre une décision.

Lecture complémentaire :

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