Qu'est-ce qu'un laser excimer ?

Un laser excimer est un dispositif laser de haute précision qui utilise un mélange d'halogénures de gaz rares comme milieu de gain pour produire une lumière ultraviolette de longueurs d'onde extrêmement courtes. Connu pour sa production d'énergie élevée et son contrôle précis, ce type de laser est largement utilisé dans le traitement de matériaux de précision et les applications médicales.

Applications des lasers excimer

Les lasers Excimer sont largement utilisés dans plusieurs industries en raison de leurs propriétés uniques :

• Fabrication de semi-conducteurs : utilisé dans les processus de lithographie pour la miniaturisation.
• Chirurgie ophtalmique : Comme le LASIK, pour améliorer la vision des patients.
• Traitement des matériaux : utilisé pour percer, couper ou marquer divers matériaux.
• Recherche scientifique : employé dans des mesures et des expériences précises en physique et en chimie.

Raisons de choisir la réparation au laser Excimer

• Rentabilité : Les lasers Excimer sont coûteux à l'achat et à l'exploitation. Réparer plutôt que remplacer ces appareils peut réduire considérablement les coûts.
• Durée de vie prolongée : Un entretien professionnel régulier restaure non seulement les performances du laser, mais prolonge également considérablement sa durée de vie opérationnelle.
• Prévention des temps d'arrêt : des réparations rapides évitent les longs temps d'arrêt causés par des pannes d'équipement, garantissant ainsi la continuité des activités de production et de recherche.

Pourquoi choisir nos services de réparation ?

• Leadership de l'industrie : Sky Fire Laser fait partie des rares équipes techniques en Chine capables de réparer professionnellement les lasers excimer.
• Installations avancées : Notre laboratoire de réparation est équipé d'équipements de réparation et de surveillance de pointe.
• Techniciens expérimentés : Notre équipe d'ingénieurs possède des connaissances approfondies et une vaste expérience dans la réparation de la technologie laser.
• Services personnalisés : Nous proposons des plans de réparation personnalisés adaptés aux besoins et aux budgets spécifiques de nos clients.

Étude de cas de réparation : Laser Excimer Technolas MIDI V5.2

Arrière-plan

En avril 2024, nous avons entrepris un projet ambitieux visant à restaurer les performances d'un laser excimer MIDI V5.2 Technolas. Cet appareil n'a pas pu répondre aux spécifications d'usine en raison de multiples problèmes de performances, affectant la production du client.

I. Détails de l'entretien

1. Cavité laser : Ouverture, inspection, nettoyage minutieux et entretien de la cavité laser.
2. Électrodes de décharge : Nettoyage par pulvérisation et corrosion des électrodes de décharge et des composants de pré-ionisation.
3. Chemin d'air de circulation des gaz : Remise à neuf du chemin d'air de circulation des gaz.
4. Alimentation : Réparation de l'alimentation électrique du dépoussiérage haute tension.
5. Test d'étanchéité à l'air : Test complet d'étanchéité à l'air et réparation.
6. Tests de machines : effectuez des tests de machines complets et restaurez les références de performances.

II. Benchmarks de performance contractuelle

• Restauration des performances : Restauration des performances globales du laser, avec une énergie maximale d'impulsion unique du laser > 100 mJ (193 nm).
• Durée de vie prolongée : garantit une durée de vie opérationnelle prolongée de l'appareil.

III. Résultats des tests d'entretien

• Longueur d'onde : 193 nm

• Durée de vie opérationnelle du gaz à 25kV/20Hz :

• Comparaison avant et après remplacement de la lentille：

• Profil de faisceau: 15 mm * 5 mm

Présentation sur papier photographique

Largeur d'impulsion : FWHM ≈ 16 ns

IV. Photos du site d'essai

• Test de largeur d'impulsion :

• Test du spectre :