Kaj je excimer laser?
Excimer laser je visokoprecizen laserski aparat, ki uporablja mešanico redkih plinskih halogenidov kot ojačevalno sredstvo za proizvodnjo ultravijolične svetlobe z izjemno kratkimi valovnimi dolžinami. Znano je, da ima visoko energijski izhod in natančen nadzor, ta tip laserja se obsežno uporablja v natančni obdelavi materialov in medicinskih aplikacijah.
Uporaba excimer laserjev
Excimer laserji se zaradi svojih edinstvenih lastnosti široko uporabljajo v več industrijah:
- Proizvodnja polprevodnikov: Uporablja se v litografskih procesih za miniaturizacijo.
- Oftalmološka kirurgija: Na primer LASIK, za izboljšanje vida pacientov.
- Obdelava materialov: Uporabljajo se za vrtanje, rezanje ali označevanje različnih materialov.
- Znanstvene raziskave: Uporabljajo se za natančna merjenja in eksperimente v fiziki in kemiji.
Razlogi za izbiro popravila excimer laserja
- Učinkovitost stroškov: Excimer laserji so dragi za nakup in obratovanje. Popravilo namesto zamenjave teh naprav lahko znatno zmanjša stroške.
- Podaljšana življenjska doba: Redno strokovno vzdrževanje ne le obnavlja zmogljivost laserja, ampak tudi znatno podaljšuje njegovo delovno dobo.
- Preprečevanje izpadov: Pravočasna popravila preprečujejo dolgotrajne izpade zaradi okvar opreme, kar zagotavlja neprekinjeno proizvodnjo in raziskovalne dejavnosti.
Zakaj izbrati naše storitve popravila?
- Vodstvo v industriji: Sky Fire Laser je med redkimi tehničnimi ekipami na Kitajskem, ki lahko profesionalno popravljajo ekscimerske laserje.
- Napredne zmogljivosti: Naša delavnica za popravila je opremljena z vodilno opremo za popravila in nadzor v industriji.
- Izkušeni tehniki: Naša inženirska ekipa ima poglobljeno znanje in obsežne izkušnje s popravili laserske tehnologije.
- Prilagojene storitve: Nudimo osebne načrte popravila, prilagojene specifičnim potrebam in proračunom naših strank.
Študija primera popravila: MIDI V5.2 Technolas ekscimerski laser
Ozadje
Aprila 2024 smo izvedli zahtevno nalogo obnove zmogljivosti MIDI V5.2 Technolas ekscimerskega laserja. Ta naprava ni dosegala tovarniških specifikacij zaradi več težav z zmogljivostjo, kar je vplivalo na proizvodnjo naročnika.
I. Podrobnosti vzdrževanja
- Laserjska votlina: Odpiranje, pregledovanje, temeljito čiščenje in vzdrževanje laserjske votline.
- Elektrode za izpust: Naprševanje in čiščenje korozije elektrod za izpust in komponent predionizacije.
- Zračni tok kroženja plina: Obnova zračnega toka kroženja plina.
- Napajanje: Popravilo visokotlačnega napajanja za odstranjevanje prahu.
- Testiranje nepredušnosti: Celovito testiranje nepredušnosti in popravilo.
- Testiranje stroja: Popolno testiranje stroja, obnova merilnih točk zmogljivosti.
II. Pogodbene merilne točke zmogljivosti
- Obnova zmogljivosti: Obnova celotne zmogljivosti laserja, z maksimalno energijo posameznega pulza laserja >100mJ (193nm).
- Podaljšana življenjska doba: Zagotavljanje podaljšane operativne življenjske dobe naprave.
III. Rezultati vzdrževalnih testov
- Valovna dolžina: 193nm
- Energija pulza: Največja energija posameznega pulza 158,3mJ (@28kV)
|
Napetost shranjevanja energije (kV) |
Energija (mJ) |
||||||||
|
1Hz |
10Hz |
20Hz |
|||||||
|
Povp |
Std |
Relativni Std % |
Povp |
Std |
Relativni Std % |
Povp |
Std |
Relativni Std % |
|
|
25.0 |
139.2 |
0.89 |
0.64 |
135.1 |
1.34 |
0.99 |
129.7 |
1.75 |
1.35 |
|
26.0 |
148.7 |
1.09 |
0.73 |
142.2 |
1.19 |
0.84 |
136.9 |
1.46 |
1.07 |
|
27.0 |
153.1 |
1.11 |
0.73 |
148.2 |
1.13 |
0.76 |
143.4 |
1.44 |
1.00 |
|
28.0 |
158.3 |
1.43 |
0.90 |
153.8 |
1.52 |
0.99 |
148.8 |
1.37 |
0.92 |
- Obratovalna življenjska doba plina pri 25kV/20Hz:
|
25kV/20Hz |
Energija mJ |
|
|
|
10Hz |
20Hz |
|
0 |
135.1 |
129.7 |
|
36 |
128.9 |
123.8 |
|
72 |
121.8 |
119.2 |
|
108 |
114.7 |
113.5 |
|
Neaktiven 15 ur |
99.4 |
95.0 |
|
180 |
93.8 |
91.2 |
|
216 |
87.7 |
91.2 |
|
252 |
95.9 |
93.8 |
|
288 |
92.2 |
89.8 |
|
Neaktiven 42 ur |
85.5 |
80.5 |
|
324 |
79.4 |
76.1 |
|
360 |
72.9 |
70.1 |
|
396 |
67.6 |
65.9 |
|
432 |
62.5 |
61.5 |
|
468 |
60.1 |
58.4 |
|
504 |
55.1 |
52.9 |
|
540 |
50.1 |
49.2 |
- Primerjava pred in po zamenjavi leče：
- Profil žarka:15mm*5mm
Predstavitev na fotografski papir
Širina pulza: FWHM ≈ 16ns
IV. Fotografije testnega mesta
- Testiranje širine pulza:
- Testiranje spektra:
Študija primera popravila: Popolna prenova in izboljšanje zmogljivosti excimer laserja CompexPro102F
Laserski sistem: Coherent CompexPro102F Excimer Laser
Datum servisa: Junij 2025
Cilj: Popolna prenova sistema za obnovo in izboljšanje zmogljivosti, preseganje 300 mJ energije posameznega pulza pri 248 nm in izboljšanje celotne delovne življenjske dobe.
Ozadje in izziv:
Sistemu excimer laserja CompexPro102F stranke je bilo potrebno celovito vzdrževanje in popravilo. Glavni cilj je bil obnoviti njegovo delovno zmogljivost, posebej ciljno usmerjeno na energijo posameznega pulza več kot 300 mJ pri delovni valovni dolžini 248 nm, ter zagotoviti daljšo življenjsko dobo celotnega sistema.
Naš celovit postopek servisiranja in popravila:
Naša ekipa je uporabila natančen in sistematičen pristop za obravnavo vseh ključnih komponent laserja CompexPro102F:
-
Prenova izpustne enote: Popolna prenova izpustnih elektrod in enot za predionizacijo za zagotovitev optimalne in stabilne tvorbe plazme.
-
Vzdrževanje laserske votline: Laserska votlina je bila previdno odprta, pregledana zaradi morebitne obrabe ali kontaminacije, temeljito očiščena in obnovljena.
-
Popravilo sistema za kroženje plina: Sistem za kroženje plina, vključno z ventilatorjem in zračniki, je bil obnovljen, da se zagotovi učinkovit in čist pretok plina, kar je ključno za stabilno delovanje laserja in življenjsko dobo plina.
-
Popravilo modula sprožilca tiratrona: Modul sprožilca tiratrona je bil diagnosticiran, popravljen in temeljito testiran za zagotovitev natančnega in zanesljivega preklopa.
-
Diagnostika in popravilo krmilnega sistema: Morebitne anomalije v krmilnem sistemu so bile identificirane in odpravljene za zagotovitev nemotenega in varnega delovanja.
-
Tesnost plinskega sistema po celotnem obsegu: Izveden je bil obsežen postopek zaznavanja puščanja po celotnem plinskem sistemu, sledili so potrebni popravki za zagotovitev vakuumske tesnosti in čistosti plina.
-
Vzdrževanje napajalnika z visokim napetostjo: Napajalnik z visokim napetostjo je bil temeljito pregledan in vzdrževan, da se zagotovi stabilna in zanesljiva dobava energije.
-
Celovito testiranje sistema in potrditev zmogljivosti: Po popravilu je bil celoten laserski sistem sestavljen in podvržen obsežnim testiranjem, da se potrdi, da so bili vsi merilniki zmogljivosti doseženi ali preseženi.
Rezultati in dosežki:
Obnova je bila zelo uspešna, saj CompexPro102F ni le dosegel, ampak tudi znatno presegel pogodbene cilje zmogljivosti.
-
Potrditev valovne dolžine:
-
Doseženo: 248nm (Spektralni vrh natančno izmerjen pri 248,3nm)
-
-
Energija pulza:
-
Cilj: >300mJ @ 248nm
-
Dosežena največja vrednost: 469mJ (pri 28kV / 10Hz)
-
Laser je pokazal odlično stabilnost energije v širokem razponu delovnih napetosti in frekvenc ponavljanja.
-
|
Napetost (kV) |
Energija (mJ) |
|
|
5Hz povp |
10Hz povp |
|
|
22 |
319.0 |
316.0 |
|
23 |
345.0 |
347.0 |
|
24 |
379.0 |
375.0 |
|
25 |
404.0 |
402.0 |
|
26 |
430.0 |
426.0 |
|
27 |
452.0 |
451.0 |
|
28 |
473.0 |
469.0 |
Testni video
-
Življenjska doba plina:
-
Laser je pokazal robustno življenjsko dobo plina, pri čemer je ohranjal znaten izhod energije skozi daljše število pulzov. Pri 24kV/10Hz je energija začela pri 375,0mJ in je bila še vedno na 317,0mJ po 162.000 pulzih.
-
|
Število pulzov (K) |
Energija (mJ/24kV) |
|
10Hz |
|
|
Povp |
|
|
0 |
375.0 |
|
18 |
371.0 |
|
18 |
348.0 |
|
36 |
352.0 |
|
54 |
355.0 |
|
72 |
347.0 |
|
90 |
338.0 |
|
108 |
333.0 |
|
126 |
328.0 |
|
144 |
327.0 |
|
162 |
317.0 |
-
Profil žarka (velikost pika):
-
Izmerjeno: Približno 24mm x 8mm
-
-
Širina pulza:
-
Izmerjeno (FWHM): Približno 30ns
-
Zaključek:
Celovit program popravila in vzdrževanja za ekscimerski laser CompexPro102F je privedel do popolne obnove njegovih operativnih zmogljivosti. Sistem zdaj znatno presega prvotne specifikacije zmogljivosti, zlasti v največji energiji pulza, in kaže odlično stabilnost ter življenjsko dobo plina. Ta uspešna prenova ne zadovoljuje le takojšnjih operativnih potreb naročnika, temveč tudi zagotavlja daljšo življenjsko dobo njihove dragocene laserske opreme.
Ali vaš ekscimerski laser potrebuje strokovno oskrbo? Kontaktirajte nas danes in se pogovorite o vaših potrebah po popravilu in vzdrževanju!
Video
Pogosto zastavljena vprašanja
V1: Kako lahko ugotovim, ali moj ekscimerski laser potrebuje popravilo?
A1: Če se energijski izhod vašega laserja zmanjša in ne dosega več optimalne zmogljivosti, je morda potreben popravilo. Pošljite nam slike ustreznih delov, naši inženirji pa bodo opravili predhodno oceno.
V2: Katere informacije in priprave so potrebne pred pošiljanjem laserskih delov na popravilo?
A2: Potrebujemo vaše kontaktne podatke ter dimenzije in težo opreme za izračun stroškov pošiljanja. Poskrbite, da bo naprava varno zapakirana in jasno označena z "Samo za popravilo", da se izognete carinskim dajatvam.
V3: Kakšni so stroški popravila? Ali so kakšni dodatni stroški?
A3: Stroški popravila so odvisni od zahtevnosti dela in stroškov zamenjave delov. Dodatni stroški se lahko pojavijo, če med popravilo odkrijemo druge težave, kot so okvare notranje črne naprave. Natančni stroški bodo določeni po pregledu.
V4: Kako je urejen prevoz in vračilo po popravilu?
A4: Po zaključku popravila bomo organizirali prevoz glede na naslov za vračilo, ki ga navedete. Prosimo, potrdite tako naslov pošiljanja kot vračila, saj bosta vplivala na ceno pošiljanja.
V5: Ali je za popravilo zagotovljena garancija?
A5: Za vse naše popravila nudimo garancijsko obdobje, da zagotovimo, da popravljena oprema izpolnjuje standarde zmogljivosti.
V6: Kako lahko spremljam napredek popravila?
A6: Napredek popravila lahko spremljate preko naših kontaktnih metod, kot so WeChat in e-pošta. Prav tako vas bomo proaktivno obveščali o pomembnih statusih popravila.
V7: Kako obravnavate potrebe po popravilu za mednarodne stranke?
A7: Za mednarodne stranke nudimo popolno logistično podporo in carinske nasvete, da zagotovimo varen prihod vaše opreme v naš center za popravila.
V8: Kako poteka komunikacija, če se pojavijo dodatne potrebe po popravilu?
A8: Če med postopkom popravila odkrijemo dodatne težave, vas bomo pravočasno obvestili in zagotovili podroben načrt popravila ter proračun, da boste imeli dovolj informacij za sprejemanje odločitev.
