Kaj je Excimer Laser?

Excimer laser je visoko natančna laserska naprava, ki uporablja mešanico halogenidov redkih plinov kot ojačitveni medij za proizvodnjo ultravijolične svetlobe z izjemno kratkimi valovnimi dolžinami. Ta vrsta laserja, ki je znana po visoki energijski moči in natančnem nadzoru, se pogosto uporablja pri natančni obdelavi materialov in medicinskih aplikacijah.

Uporaba ekscimerskih laserjev

Excimer laserji se zaradi svojih edinstvenih lastnosti široko uporabljajo v več panogah:

• Proizvodnja polprevodnikov: Uporablja se v postopkih litografije za miniaturizacijo.
• Očesna kirurgija: kot je LASIK, za izboljšanje vida bolnikov.
• Obdelava materiala: Uporablja se za vrtanje, rezanje ali označevanje različnih materialov.
• Znanstvene raziskave: Zaposlen pri natančnih meritvah in poskusih v fiziki in kemiji.

Razlogi za izbiro popravila z laserjem Excimer

• Stroškovna učinkovitost: Nakup in uporaba laserjev Excimer sta draga. Popravilo namesto zamenjave teh naprav lahko bistveno zmanjša stroške.
• Podaljšana življenjska doba: Redno strokovno vzdrževanje ne samo obnovi delovanje laserja, ampak tudi bistveno podaljša njegovo življenjsko dobo.
• Preprečevanje izpadov: Pravočasna popravila preprečijo dolgotrajne izpade, ki jih povzročajo okvare opreme, ter zagotavljajo neprekinjeno proizvodnjo in raziskovalne dejavnosti.

Zakaj izbrati naše storitve popravila?

• Vodilni položaj v panogi: Sky Fire Laser je med redkimi tehničnimi ekipami na Kitajskem, ki lahko profesionalno popravljajo laserje excimer.
• Napredne zmogljivosti: Naš laboratorij za popravila je opremljen z vrhunsko opremo za popravila in spremljanje.
• Izkušeni tehniki: Naša ekipa inženirjev ima globoko znanje in bogate izkušnje pri popravilu laserske tehnologije.
• Storitve po meri: Ponujamo prilagojene načrte popravil, prilagojene posebnim potrebam in proračunom naših strank.

Študija primera popravila: MIDI V5.2 Technolas Excimer Laser

Ozadje

Aprila 2024 smo se lotili zahtevnega projekta za obnovitev delovanja excimer laserja MIDI V5.2 Technolas. Ta naprava ni mogla izpolniti tovarniških specifikacij zaradi številnih težav z zmogljivostjo, ki so vplivale na naročnikovo proizvodnjo.

I. Podrobnosti o vzdrževanju

1. Laserska votlina: odpiranje, pregledovanje, temeljito čiščenje in vzdrževanje laserske votline.
2. Razelektritvene elektrode: Razprševanje in korozijsko čiščenje razelektritvenih elektrod in komponent pred ionizacijo.
3. Zračna pot za kroženje plina: Obnova zračne poti za kroženje plina.
4. Napajanje: Popravilo visokonapetostnega napajalnika za odstranjevanje prahu.
5. Preizkušanje zrakotesnosti: Celovito testiranje in popravilo zrakotesnosti.
6. Strojno testiranje: dokončajte strojno testiranje, obnovite merila uspešnosti.

II. Merila pogodbene uspešnosti

• Obnovitev delovanja: Obnovitev splošne učinkovitosti laserja z največjo energijo laserskega pulza >100 mJ (193 nm).
• Podaljšana življenjska doba: Zagotavljanje podaljšane življenjske dobe naprave.

III. Rezultati preskusa vzdrževanja

• Valovna dolžina: 193 nm

Napetost shranjevanja energije (kV)	Energija (mJ)
	1Hz			10Hz			20Hz
	Ave	Std	Relativni standardni %	Ave	Std	Relativni standardni %	Ave	Std	Relativni standardni %
25.0	139.2	0.89	0.64	135.1	1.34	0.99	129.7	1.75	1.35
26.0	148.7	1.09	0.73	142.2	1.19	0.84	136.9	1.46	1.07
27.0	153.1	1.11	0.73	148.2	1.13	0.76	143.4	1.44	1.00
28.0	158.3	1.43	0.90	153.8	1.52	0.99	148.8	1.37	0.92

 

• Življenjska doba delovanja plina pri 25kV/20Hz:

25kV/20Hz Število utripov (K)	Energija mJ
	10Hz	20Hz
0	135.1	129.7
36	128.9	123.8
72	121.8	119.2
108	114.7	113.5
V mirovanju 15 ur	99.4	95.0
180	93.8	91.2
216	87.7	91.2
252	95.9	93.8
288	92.2	89.8
V mirovanju 42 ur	85.5	80.5
324	79.4	76.1
360	72.9	70.1
396	67.6	65.9
432	62.5	61.5
468	60.1	58.4
504	55.1	52.9
540	50.1	49.2

 

• Primerjava pred in po zamenjavi leče：

• Profil žarka: 15 mm * 5 mm

Predstavitev na fotografskem papirju

 

Širina impulza: FWHM ≈ 16ns

IV. Fotografije testnega mesta

• Testiranje širine impulza:

• Testiranje spektra: