Sky Fire Laser: vodilni strokovnjaki za popravilo ekscimerskih laserjev na Kitajskem

Kaj je ekscimerski laser?

Ekscimerski laser je visokoprecizen laserski aparat, ki uporablja mešanico redkih plinskih halogenidov kot ojačevalno sredstvo za proizvodnjo ultravijolične svetlobe z izjemno kratkimi valovnimi dolžinami. Znano je, da ima visoko energijski izhod in natančen nadzor, ta tip laserja se obsežno uporablja v precizni obdelavi materialov in medicinskih aplikacijah.

Uporabe ekscimerskih laserjev

Ekscimerski laserji se zaradi svojih edinstvenih lastnosti široko uporabljajo v več industrijah:

Proizvodnja polprevodnikov: Uporablja se v litografskih procesih za miniaturizacijo.
Oftalmična kirurgija: Na primer LASIK, za izboljšanje vida pacientov.
Obdelava materialov: Uporablja se za vrtanje, rezanje ali označevanje različnih materialov.
Znanstvene raziskave: Uporablja se za natančna merjenja in eksperimente v fiziki in kemiji.

Razlogi za izbiro popravila excimerskega laserja

Učinkovitost stroškov: Excimerski laserji so dragi za nakup in obratovanje. Popravilo namesto zamenjave teh naprav lahko znatno zmanjša stroške.
Podaljšana življenjska doba: Redno strokovno vzdrževanje ne le obnavlja zmogljivost laserja, ampak tudi znatno podaljšuje njegovo delovno dobo.
Preprečevanje izpadov: Pravočasni popravili preprečujejo dolgotrajne izpade zaradi okvar opreme, kar zagotavlja neprekinjeno proizvodnjo in raziskovalne dejavnosti.

Zakaj izbrati naše storitve popravila?

Vodstvo v industriji: Sky Fire Laser je med redkimi tehničnimi ekipami na Kitajskem, ki lahko strokovno popravlja excimerske laserje.
Napredne zmogljivosti: Naša delavnica za popravila je opremljena z vodilno opremo za popravila in nadzor v industriji.
Izkušeni tehniki: Naša inženirska ekipa ima poglobljeno znanje in obsežne izkušnje s popravili laserske tehnologije.
Prilagojene storitve: Ponujamo osebne načrte popravila, prilagojene specifičnim potrebam in proračunom naših strank.

Študija primera popravila: excimerski laser MIDI V5.2 Technolas

Ozadje

Aprila 2024 smo izvedli zahtevno nalogo obnove zmogljivosti excimerskega laserja MIDI V5.2 Technolas. Ta naprava ni dosegala tovarniških specifikacij zaradi več težav z zmogljivostjo, kar je vplivalo na proizvodnjo naročnika.

I. Podrobnosti vzdrževanja

Laserjska votlina: Odpiranje, pregledovanje, temeljito čiščenje in vzdrževanje laserjske votline.
Izpustne elektrode: Prenašanje in čiščenje korozije izpustnih elektrod in komponent predionizacije.
Zračni tok za kroženje plina: Obnova zračnega toka za kroženje plina.
Napajanje: Popravilo visokotlačnega napajanja za odstranjevanje prahu.
Test tesnosti: Celovito testiranje tesnosti in popravilo.
Testiranje stroja: Popolno testiranje stroja, obnova merilnih točk zmogljivosti.

II. Pogodbene merilne točke zmogljivosti

Obnova zmogljivosti: Obnova celotne zmogljivosti laserja, z največjo energijo posameznega pulza laserja >100mJ (193nm).
Podaljšana življenjska doba: Zagotavljanje podaljšane obratovalne življenjske dobe naprave.

III. Rezultati vzdrževalnih testov

Valovna dolžina: 193nm

Energija pulza: Največja energija posameznega pulza 158,3mJ (@28kV)

Napetost shranjevanja energije (kV)	Energija (mJ)
	1Hz			10Hz			20Hz
	Povp	Std	Relativni Std %	Povp	Std	Relativni Std %	Povp	Std	Relativni Std %
25.0	139.2	0.89	0.64	135.1	1.34	0.99	129.7	1.75	1.35
26.0	148.7	1.09	0.73	142.2	1.19	0.84	136.9	1.46	1.07
27.0	153.1	1.11	0.73	148.2	1.13	0.76	143.4	1.44	1.00
28.0	158.3	1.43	0.90	153.8	1.52	0.99	148.8	1.37	0.92

Obratovalna življenjska doba plina pri 25kV/20Hz:

25kV/20Hz Število pulzov (K)	Energija mJ
	10Hz	20Hz
0	135.1	129.7
36	128.9	123.8
72	121.8	119.2
108	114.7	113.5
Neaktiven 15 ur	99.4	95.0
180	93.8	91.2
216	87.7	91.2
252	95.9	93.8
288	92.2	89.8
Neaktiven 42 ur	85.5	80.5
324	79.4	76.1
360	72.9	70.1
396	67.6	65.9
432	62.5	61.5
468	60.1	58.4
504	55.1	52.9
540	50.1	49.2

Primerjava pred in po zamenjavi leče：

Profil žarka:15mm*5mm

Predstavitev na fotografski papir

Širina pulza: FWHM ≈ 16ns

IV. Fotografije testnega mesta

Testiranje širine pulza:

Testiranje spektra:

Študija primera popravila: Popolna prenova in izboljšanje zmogljivosti excimer laserja CompexPro102F

Laserski sistem: Coherent CompexPro102F Excimer Laser
Datum servisa: Junij 2025
Cilj: Popolna prenova sistema za obnovo in izboljšanje zmogljivosti, preseganje energije posameznega pulza 300mJ pri 248nm ter izboljšanje celotne delovne življenjske dobe.

Ozadje in izziv:
Laserski sistem CompexPro102F excimer stranke je zahteval celovito vzdrževanje in popravilo. Primarni cilj je bil obnoviti njegovo delovno zmogljivost, zlasti doseči energijo posameznega pulza večjo od 300mJ pri delovni valovni dolžini 248nm, ter zagotoviti daljšo življenjsko dobo celotnega sistema.

Naš celovit postopek servisiranja in popravila:
Naša ekipa je sprejela natančen in sistematičen pristop za obravnavo vseh ključnih komponent laserskega sistema CompexPro102F:

Prenova izpustne enote: Popolna prenova izpustnih elektrod in enot za predionizacijo za zagotovitev optimalne in stabilne generacije plazme.
Vzdrževanje laserske votline: Laserska votlina je bila previdno odprta, pregledana zaradi morebitne obrabe ali kontaminacije, temeljito očiščena in obnovljena.
Prenova sistema za kroženje plina: Sistem za kroženje plina, vključno z ventilatorjem in zračniki, je bil obnovljen za zagotovitev učinkovitega in čistega pretoka plina, kar je ključno za stabilno delovanje laserja in življenjsko dobo plina.
Popravilo modula sprožilca tiratrona: Modul sprožilca tiratrona je bil diagnosticiran, popravljen in temeljito testiran za zagotovitev natančnega in zanesljivega preklopa.
Diagnostika in popravilo krmilnega sistema: Morebitne anomalije v krmilnem sistemu so bile identificirane in odpravljene za nemoteno in varno delovanje.
Tesnost plinskega sistema po celotnem obsegu: Izveden je bil obsežen postopek zaznavanja puščanja po celotnem plinskem sistemu, sledili so potrebni popravki za zagotovitev vakuumske tesnosti in čistosti plina.
Vzdrževanje napajalnika z visokim napetostjo: Napajalnik z visokim napetostjo je bil temeljito pregledan in vzdrževan, da se zagotovi stabilna in zanesljiva dobava energije.
Celovito testiranje sistema in potrditev zmogljivosti: Po popravilu je bil celoten laserski sistem sestavljen in podvržen obsežnim testom, da se potrdi, da so bili vsi merilniki zmogljivosti doseženi ali preseženi.

Rezultati in dosežki:
Obnova je bila zelo uspešna, saj je CompexPro102F ne le dosegel, ampak tudi znatno presegel pogodbene cilje glede zmogljivosti.

Potrditev valovne dolžine:
- Doseženo: 248nm (Spektralni vrh natančno izmerjen pri 248,3nm)

Impulzna energija:
- Cilj: >300mJ @ 248nm
- Doseženi maksimum: 469mJ (pri 28kV / 10Hz)
- Laser je pokazal odlično stabilnost energije v širokem razponu delovnih napetosti in frekvenc ponavljanja.

Napetost (kV)	Energija (mJ)
Napetost (kV)	Povprečje 5Hz	Povprečje 10Hz
22	319.0	316.0
23	345.0	347.0
24	379.0	375.0
25	404.0	402.0
26	430.0	426.0
27	452.0	451.0
28	473.0	469.0

Testni video

Življenjska doba plina:
- Laser je pokazal robustno življenjsko dobo plina, pri čemer je ohranjal znaten izhod energije skozi podaljšano število pulzov. Pri 24kV/10Hz je energija začela pri 375,0mJ in je bila še vedno 317,0mJ po 162.000 pulzih.

Število pulzov (K)	Energija (mJ/24kV)
	10Hz
	Povp
0	375.0
18	371.0
18	348.0
36	352.0
54	355.0
72	347.0
90	338.0
108	333.0
126	328.0
144	327.0
162	317.0

Profil žarka (velikost pike):
- Izmerjeno: Približno 24mm x 8mm

Širina pulza:
- Izmerjeno (FWHM): Približno 30ns

Zaključek:
Celovit program popravila in vzdrževanja za ekscimerski laser CompexPro102F je privedel do popolne obnove njegovih operativnih zmogljivosti. Sistem zdaj znatno presega prvotne specifikacije zmogljivosti, zlasti v največji energiji pulza, in kaže odlično stabilnost ter življenjsko dobo plina. Ta uspešna prenova ne zadovoljuje le takojšnjih operativnih potreb naročnika, temveč tudi zagotavlja daljšo življenjsko dobo njihove dragocene laserske opreme.

Ali vaš ekscimerski laser potrebuje strokovno pozornost? Kontaktirajte nas danes in se pogovorite o vaših potrebah po popravilu in vzdrževanju!

Video

Pogosto zastavljena vprašanja

Q1: Kako lahko ugotovim, ali moj ekscimerski laser potrebuje popravilo?
A1: Če se izhodna energija vašega laserja zmanjša in ne dosega več optimalne zmogljivosti, je morda potreben popravilo. Pošljite nam slike ustreznih delov, naši inženirji pa bodo opravili predhodno oceno.

Q2: Katere informacije in priprave so potrebne pred pošiljanjem laserskih delov na popravilo?
A2: Za izračun stroškov pošiljanja potrebujemo vaše kontaktne podatke ter dimenzije in težo opreme. Poskrbite, da bo naprava varno zapakirana in jasno označena z "Samo za popravilo", da se izognete carinskim dajatvam.

Q3: Kakšni so stroški popravila? Ali obstajajo dodatni stroški?
A3: Stroški popravila so odvisni od zahtevnosti dela in stroškov zamenjave delov. Dodatni stroški se lahko pojavijo, če med popravilo odkrijemo druge težave, na primer okvare notranje črne naprave. Natančni stroški bodo določeni po pregledu.

Q4: Kako je urejen prevoz in vračilo po popravilu?
A4: Po zaključku popravila bomo organizirali prevoz glede na naslov za vračilo, ki nam ga posredujete. Prosimo, potrdite tako naslov za pošiljanje kot tudi za vračilo, saj bosta vplivala na ponudbo za pošiljanje.

Q5: Ali je za storitev popravila zagotovljena garancija?
A5: Za vse naše storitve popravila nudimo garancijsko obdobje, da zagotovimo, da popravljena oprema izpolnjuje standarde zmogljivosti.

Q6: Kako lahko spremljam napredek popravila?
A6: Napredek popravila lahko spremljate preko naših kontaktnih kanalov, kot so WeChat in e-pošta. Prav tako vas bomo proaktivno obveščali o pomembnih statusih popravila.

Q7: Kako obravnavate potrebe po popravilu za mednarodne stranke?
A7: Za mednarodne stranke nudimo popolno logistično podporo in carinske nasvete, da zagotovimo varen prihod vaše opreme v naš center za popravila.

Q8: Kako poteka komunikacija, če se pojavijo dodatne potrebe po popravilu?
A8: Če med postopkom popravila odkrijemo dodatne težave, vas bomo pravočasno obvestili in zagotovili podroben načrt popravila ter proračun, da boste imeli dovolj informacij za sprejemanje odločitev.