Excimer Laser คืออะไร?

เลเซอร์เอ็กไซเมอร์เป็นอุปกรณ์เลเซอร์ที่มีความแม่นยำสูงซึ่งใช้ส่วนผสมของก๊าซเฮไลด์ที่หายากเป็นตัวกลางในการสร้างแสงอัลตราไวโอเลตที่มีความยาวคลื่นสั้นมาก เลเซอร์ประเภทนี้เป็นที่รู้จักในด้านการส่งออกพลังงานสูงและการควบคุมที่แม่นยำ มีการใช้กันอย่างแพร่หลายในการประมวลผลวัสดุที่มีความแม่นยำและการใช้งานทางการแพทย์

การประยุกต์ใช้เลเซอร์ Excimer

เลเซอร์ Excimer ถูกนำมาใช้กันอย่างแพร่หลายในหลายอุตสาหกรรม เนื่องจากมีคุณสมบัติเฉพาะตัว:

• การผลิตเซมิคอนดักเตอร์: ใช้ในกระบวนการพิมพ์หินเพื่อการย่อขนาด
• การผ่าตัดจักษุ: เช่น เลสิค เพื่อปรับปรุงการมองเห็นของผู้ป่วย
• การประมวลผลวัสดุ: ใช้สำหรับเจาะ ตัด หรือทำเครื่องหมายวัสดุต่างๆ
• การวิจัยทางวิทยาศาสตร์: ใช้ในการวัดและการทดลองที่แม่นยำในสาขาฟิสิกส์และเคมี

เหตุผลในการเลือก Excimer Laser Repair

• ความคุ้มค่า: เลเซอร์ Excimer มีราคาแพงในการซื้อและใช้งาน การซ่อมแซมแทนที่จะเปลี่ยนอุปกรณ์เหล่านี้สามารถลดต้นทุนได้อย่างมาก
• อายุการใช้งานที่ยาวนานขึ้น: การบำรุงรักษาอย่างมืออาชีพเป็นประจำไม่เพียงช่วยฟื้นฟูประสิทธิภาพของเลเซอร์ แต่ยังช่วยยืดอายุการใช้งานอีกด้วย
• การป้องกันการหยุดทำงาน: การซ่อมแซมอย่างทันท่วงทีป้องกันการหยุดทำงานที่ยาวนานซึ่งเกิดจากความล้มเหลวของอุปกรณ์ ช่วยให้มั่นใจได้ถึงกิจกรรมการผลิตและการวิจัยที่ต่อเนื่อง

เหตุใดจึงเลือกบริการซ่อมของเรา

• ความเป็นผู้นำในอุตสาหกรรม: Sky Fire Laser เป็นหนึ่งในทีมงานด้านเทคนิคไม่กี่ทีมในประเทศจีนที่สามารถซ่อมแซม excimer lasers ได้อย่างมืออาชีพ
• สิ่งอำนวยความสะดวกขั้นสูง: ห้องปฏิบัติการซ่อมของเรามีอุปกรณ์ซ่อมแซมและตรวจสอบชั้นนำของอุตสาหกรรม
• ช่างเทคนิคที่มีประสบการณ์: ทีมวิศวกรของเรามีความรู้เชิงลึกและประสบการณ์กว้างขวางในการซ่อมเทคโนโลยีเลเซอร์
• บริการที่ปรับแต่งได้: เราเสนอแผนการซ่อมเฉพาะบุคคลซึ่งปรับให้เหมาะกับความต้องการและงบประมาณเฉพาะของลูกค้าของเรา

กรณีศึกษาการซ่อม: MIDI V5.2 Technolas Excimer Laser

พื้นหลัง

ในเดือนเมษายน ปี 2024 เราได้ดำเนินโครงการที่ท้าทายเพื่อฟื้นฟูประสิทธิภาพของ MIDI V5.2 Technolas excimer laser อุปกรณ์นี้ไม่ตรงตามข้อกำหนดของโรงงานเนื่องจากปัญหาด้านประสิทธิภาพหลายประการ ซึ่งส่งผลต่อการผลิตของลูกค้า

I. รายละเอียดการบำรุงรักษา

1. ช่องเลเซอร์: การเปิด ตรวจสอบ ทำความสะอาดอย่างทั่วถึง และบำรุงรักษาช่องเลเซอร์
2. อิเล็กโทรดคายประจุ: การทำความสะอาดอิเล็กโทรดคายประจุและการกัดกร่อนแบบสปัตเตอร์และการกัดกร่อน
3. เส้นทางอากาศหมุนเวียนของแก๊ส: การปรับปรุงเส้นทางอากาศหมุนเวียนของแก๊สใหม่
4. แหล่งจ่ายไฟ: การซ่อมแซมแหล่งจ่ายไฟกำจัดฝุ่นแรงดันสูง
5. การทดสอบความกันลม: การทดสอบและการซ่อมแซมความกันลมที่ครอบคลุม
6. การทดสอบเครื่องจักร: ทำการทดสอบเครื่องจักรให้เสร็จสิ้น เพื่อคืนค่าเกณฑ์มาตรฐานประสิทธิภาพ

ครั้งที่สอง เกณฑ์มาตรฐานประสิทธิภาพตามสัญญา

• การฟื้นฟูประสิทธิภาพ: การฟื้นฟูประสิทธิภาพโดยรวมของเลเซอร์ ด้วยพลังงานสูงสุดของพัลส์เดี่ยวของเลเซอร์ >100mJ (193 นาโนเมตร)
• อายุการใช้งานที่ยาวนานขึ้น: รับประกันอายุการใช้งานของอุปกรณ์ที่ยาวนานขึ้น

สาม. ผลการทดสอบการบำรุงรักษา

• ความยาวคลื่น: 193 นาโนเมตร

แรงดันการจัดเก็บพลังงาน (kV)	พลังงาน (เมกะจูล)
	1เฮิร์ตซ์			10เฮิร์ต			20เฮิร์ต
	อเวนิว	มาตรฐาน	สัมพัทธ์มาตรฐาน %	อเวนิว	มาตรฐาน	สัมพัทธ์มาตรฐาน %	อเวนิว	มาตรฐาน	สัมพัทธ์มาตรฐาน %
25.0	139.2	0.89	0.64	135.1	1.34	0.99	129.7	1.75	1.35
26.0	148.7	1.09	0.73	142.2	1.19	0.84	136.9	1.46	1.07
27.0	153.1	1.11	0.73	148.2	1.13	0.76	143.4	1.44	1.00
28.0	158.3	1.43	0.90	153.8	1.52	0.99	148.8	1.37	0.92

 

• อายุการใช้งานของก๊าซในการทำงานที่ 25kV/20Hz:

25kV/20Hz จำนวนชีพจร (K)	พลังงาน มจ
	10เฮิร์ต	20เฮิร์ต
0	135.1	129.7
36	128.9	123.8
72	121.8	119.2
108	114.7	113.5
ว่าง 15 ชม	99.4	95.0
180	93.8	91.2
216	87.7	91.2
252	95.9	93.8
288	92.2	89.8
ว่างเป็นเวลา 42 ชม	85.5	80.5
324	79.4	76.1
360	72.9	70.1
396	67.6	65.9
432	62.5	61.5
468	60.1	58.4
504	55.1	52.9
540	50.1	49.2

 

• เปรียบเทียบก่อนและหลังเปลี่ยนเลนส์：

• โปรไฟล์ลำแสง: 15 มม. * 5 มม

การนำเสนอบนกระดาษภาพถ่าย

 

ความกว้างพัลส์: FWHM data 16ns

IV. ภาพถ่ายไซต์ทดสอบ

• การทดสอบความกว้างพัลส์:

• การทดสอบสเปกตรัม: