• พลังงานพัลส์: พลังงานพัลส์เดี่ยวสูงสุด 158.3mJ (@28kV)

กรณีศึกษาการซ่อมแซม: การปรับปรุงใหม่และเพิ่มประสิทธิภาพเต็มรูปแบบของ CompexPro102F Excimer Laser

ระบบเลเซอร์: Coherent CompexPro102F Excimer Laser
วันที่ให้บริการ: มิถุนายน 2025
วัตถุประสงค์: การปรับปรุงระบบทั้งหมดเพื่อฟื้นฟูและเพิ่มประสิทธิภาพ ให้พลังงานพัลส์เดี่ยวเกิน 300mJ ที่ 248nm และปรับปรุงอายุการใช้งานโดยรวมของระบบ

พื้นหลังและความท้าทาย:
ระบบเลเซอร์ excimer CompexPro102F ของลูกค้าต้องการการบำรุงรักษาและซ่อมแซมอย่างครบถ้วน เป้าหมายหลักคือการฟื้นฟูประสิทธิภาพการทำงาน โดยเฉพาะการมุ่งเป้าไปที่พลังงานพัลส์เดี่ยวที่มากกว่า 300mJ ที่ความยาวคลื่นการทำงาน 248nm และเพื่อให้แน่ใจว่าระยะเวลาการใช้งานของระบบทั้งหมดยาวนานขึ้น

กระบวนการบริการและซ่อมแซมครบวงจรของเรา:
ทีมงานของเราได้ดำเนินการอย่างละเอียดและเป็นระบบเพื่อแก้ไขส่วนประกอบสำคัญทั้งหมดของเลเซอร์ CompexPro102F:

1. การปรับปรุงหน่วยคายประจุ: การปรับปรุงใหม่ทั้งหมดของอิเล็กโทรดการคายประจุและหน่วยพรีไอออนไนเซชันเพื่อให้แน่ใจว่าการสร้างพลาสมาที่เหมาะสมและเสถียร

2. การบริการห้องเลเซอร์: ห้องเลเซอร์ถูกเปิดอย่างระมัดระวัง ตรวจสอบการสึกหรอหรือการปนเปื้อน ทำความสะอาดอย่างละเอียด และปรับสภาพใหม่

3. การปรับปรุงระบบหมุนเวียนแก๊ส: ระบบหมุนเวียนแก๊ส รวมถึงพัดลมและท่อส่ง ได้รับการปรับปรุงใหม่เพื่อให้แน่ใจว่าการไหลของแก๊สมีประสิทธิภาพและสะอาด ซึ่งเป็นสิ่งสำคัญสำหรับการทำงานของเลเซอร์ที่เสถียรและอายุการใช้งานของแก๊ส

4. การซ่อมแซมโมดูลทริกเกอร์ไทแทรตรอน: โมดูลทริกเกอร์ไทแทรตรอนได้รับการวินิจฉัย ซ่อมแซม และทดสอบอย่างเข้มงวดเพื่อรับประกันการสวิตช์ที่แม่นยำและเชื่อถือได้

5. การวินิจฉัย & ซ่อมแซมระบบควบคุม: ตรวจพบและแก้ไขความผิดปกติใด ๆ ภายในระบบควบคุมเพื่อให้การทำงานเป็นไปอย่างราบรื่นและปลอดภัย

6. ความแน่นของแก๊สทั่วทั้งระบบ: ดำเนินการตรวจจับการรั่วไหลอย่างครอบคลุมทั่วทั้งระบบแก๊ส ตามด้วยการซ่อมแซมที่จำเป็นเพื่อให้มั่นใจในความสมบูรณ์ของสุญญากาศและความบริสุทธิ์ของแก๊ส

7. การบำรุงรักษาแหล่งจ่ายไฟแรงดันสูง: แหล่งจ่ายไฟแรงดันสูงได้รับการตรวจสอบและบำรุงรักษาอย่างละเอียดเพื่อให้แน่ใจว่าการจ่ายไฟมีความเสถียรและเชื่อถือได้

8. การทดสอบระบบเต็มรูปแบบ & การตรวจสอบประสิทธิภาพ: หลังการซ่อมแซม ระบบเลเซอร์ทั้งหมดถูกประกอบและทดสอบอย่างละเอียดเพื่อยืนยันว่ามาตรวัดประสิทธิภาพทั้งหมดได้รับการบรรลุหรือเกินกว่าเป้าหมาย

ผลลัพธ์ & ความสำเร็จ:
การปรับปรุงใหม่ประสบความสำเร็จอย่างสูง โดย CompexPro102F ไม่เพียงแต่บรรลุเป้าหมายประสิทธิภาพตามสัญญาเท่านั้น แต่ยังเกินเป้าหมายอย่างมีนัยสำคัญ

• การยืนยันความยาวคลื่น:

  • ที่ทำได้: 248nm (จุดสูงสุดสเปกตรัมวัดได้อย่างแม่นยำที่ 248.3nm)
    

• พลังงานพัลส์:

  • เป้าหมาย: >300mJ @ 248nm

  • สูงสุดที่ทำได้: 469mJ (ที่ 28kV / 10Hz)

  • เลเซอร์แสดงความเสถียรของพลังงานที่ยอดเยี่ยมในช่วงแรงดันไฟฟ้าและอัตราการทำซ้ำที่หลากหลาย
    

วิดีโอทดสอบ

• อายุการใช้งานก๊าซ:

  • เลเซอร์แสดงอายุการใช้งานก๊าซที่แข็งแกร่ง รักษาพลังงานเอาต์พุตที่สำคัญไว้ได้ในช่วงจำนวนพัลส์ที่ยาวนาน ที่ 24kV/10Hz พลังงานเริ่มต้นที่ 375.0mJ และยังคงอยู่ที่ 317.0mJ หลังจาก 162,000 พัลส์.
    

• โปรไฟล์ลำแสง (ขนาดจุด):

  • วัด: ประมาณ 24มม. x 8มม.

• ความกว้างพัลส์:

  • วัด (FWHM): ประมาณ 30ns

บทสรุป:
โปรแกรมซ่อมและบำรุงรักษาครบวงจรสำหรับเลเซอร์ excimer รุ่น CompexPro102F ส่งผลให้ระบบกลับมาทำงานได้เต็มประสิทธิภาพอีกครั้ง ระบบนี้ตอนนี้มีประสิทธิภาพเกินกว่าข้อกำหนดเดิมอย่างมาก โดยเฉพาะในด้านพลังงานพัลส์สูงสุด และแสดงความเสถียรและอายุการใช้งานของก๊าซที่ยอดเยี่ยม การปรับปรุงนี้ไม่เพียงตอบสนองความต้องการใช้งานทันทีของลูกค้าเท่านั้น แต่ยังช่วยยืดอายุการใช้งานของอุปกรณ์เลเซอร์ที่มีค่าของพวกเขาอีกด้วย

เลเซอร์ excimer ของคุณต้องการการดูแลจากผู้เชี่ยวชาญหรือไม่? ติดต่อเราวันนี้เพื่อพูดคุยเกี่ยวกับความต้องการซ่อมและบำรุงรักษาของคุณ!

วิดีโอ

คำถามที่พบบ่อย

Q1: ฉันจะรู้ได้อย่างไรว่าต้องซ่อมเลเซอร์ excimer ของฉัน?
A1: หากพลังงานเอาต์พุตของเลเซอร์ลดลงและไม่สามารถทำงานได้เต็มประสิทธิภาพ อาจจำเป็นต้องซ่อม คุณสามารถส่งภาพของชิ้นส่วนที่เกี่ยวข้องมาให้เรา และวิศวกรของเราจะทำการประเมินเบื้องต้น

Q2: ต้องเตรียมข้อมูลและสิ่งใดบ้างก่อนส่งชิ้นส่วนเลเซอร์ซ่อม?
A2: เราต้องการข้อมูลติดต่อของคุณ รวมถึงขนาดและน้ำหนักของอุปกรณ์เพื่อคำนวณค่าขนส่ง กรุณาบรรจุอุปกรณ์อย่างปลอดภัยและติดป้ายชัดเจนว่า "For Repair Only" เพื่อหลีกเลี่ยงภาษีศุลกากร

Q3: ค่าใช้จ่ายในการซ่อมเท่าไหร่? มีค่าธรรมเนียมเพิ่มเติมหรือไม่?
A3: ค่าใช้จ่ายในการซ่อมขึ้นอยู่กับความซับซ้อนของงานและค่าชิ้นส่วนที่เปลี่ยน หากพบปัญหาอื่น ๆ เช่น ความผิดปกติของอุปกรณ์ดำภายใน อาจมีค่าใช้จ่ายเพิ่มเติม ค่าใช้จ่ายเฉพาะจะถูกกำหนดหลังการตรวจสอบ

Q4: การจัดการขนส่งและการคืนหลังซ่อมเป็นอย่างไร?
A4: หลังจากซ่อมเสร็จ เราจะจัดการขนส่งตามที่อยู่คืนที่คุณให้มา กรุณายืนยันที่อยู่ส่งและที่อยู่คืนเนื่องจากจะมีผลต่อการประเมินค่าขนส่ง

Q5: บริการซ่อมมีการรับประกันหรือไม่?
A5: เรามีการรับประกันสำหรับบริการซ่อมทั้งหมดเพื่อให้มั่นใจว่าอุปกรณ์ที่ซ่อมแล้วมีมาตรฐานการทำงานที่ดี

Q6: ฉันจะติดตามความคืบหน้าการซ่อมได้อย่างไร?
A6: คุณสามารถติดตามความคืบหน้าการซ่อมผ่านช่องทางติดต่อของเรา เช่น WeChat และอีเมล เรายังจะแจ้งอัปเดตสถานะการซ่อมที่สำคัญให้คุณทราบอย่างต่อเนื่อง

Q7: คุณจัดการความต้องการซ่อมแซมสำหรับลูกค้าต่างประเทศอย่างไร?
A7: สำหรับลูกค้าต่างประเทศ เรามีบริการสนับสนุนด้านโลจิสติกส์ครบวงจรและคำแนะนำเกี่ยวกับศุลกากรเพื่อให้มั่นใจว่าอุปกรณ์ของคุณจะถึงศูนย์ซ่อมของเราอย่างปลอดภัย

Q8: หากมีความต้องการซ่อมแซมเพิ่มเติมเกิดขึ้น จะมีการสื่อสารอย่างไร?
A8: หากพบปัญหาเพิ่มเติมในระหว่างกระบวนการซ่อม เราจะติดต่อสื่อสารกับคุณอย่างทันท่วงทีและจัดเตรียมแผนการซ่อมแซมพร้อมงบประมาณอย่างละเอียดเพื่อให้คุณมีข้อมูลเพียงพอในการตัดสินใจ

อ่านเพิ่มเติม:

• บริการซ่อมแหล่งกำเนิดเลเซอร์ไฟเบอร์