
Какво е ексимерен лазер?
Ексимерният лазер е високопрецизно лазерно устройство, което използва смес от редки газови халиди като усилвателна среда за производство на ултравиолетова светлина с изключително къси дължини на вълната. Известен с високата си енергийна мощност и прецизен контрол, този тип лазер се използва широко в прецизна обработка на материали и медицински приложения.
Приложения на ексимерните лазери

Ексимерните лазери се използват широко в няколко индустрии поради техните уникални свойства:
- Производство на полупроводници: Използвани в литографски процеси за миниатюризация.
- Офталмологична хирургия: Като LASIK, за подобряване на зрението на пациентите.
- Обработка на материали: Използвани за пробиване, рязане или маркиране на различни материали.
- Научни изследвания: Използвани за прецизни измервания и експерименти във физиката и химията.
Причини да изберете ремонт на ексимерен лазер
- Икономическа ефективност: Ексимерните лазери са скъпи за закупуване и експлоатация. Ремонтът вместо подмяната на тези устройства може значително да намали разходите.
- Удължен живот: Редовната професионална поддръжка не само възстановява производителността на лазера, но и значително удължава неговия експлоатационен живот.
- Предотвратяване на престой: Навременните ремонти предотвратяват продължителни прекъсвания, причинени от повреди на оборудването, осигурявайки непрекъснато производство и изследователска дейност.
Защо да изберете нашите ремонтни услуги?
- Водещи в индустрията: Sky Fire Laser е сред малкото технически екипи в Китай, способни професионално да ремонтират ексимерни лазери.
- Модерни съоръжения: Нашата ремонтна лаборатория е оборудвана с водещо в индустрията оборудване за ремонт и мониторинг.
- Опитни техници: Нашият инженеринг екип притежава дълбоки познания и богат опит в ремонта на лазерна технология.
- Персонализирани услуги: Предлагаме персонализирани планове за ремонт, съобразени с конкретните нужди и бюджети на нашите клиенти.
Казус за ремонт: Ексимерен лазер MIDI V5.2 Technolas
Фон
През април 2024 г. предприехме предизвикателен проект за възстановяване на производителността на ексимерен лазер MIDI V5.2 Technolas. Това устройство не можеше да отговаря на фабричните спецификации поради множество проблеми с производителността, което засегна производството на клиента.
I. Подробности за поддръжката
- Лазерна кухина: Отваряне, инспекция, щателно почистване и поддръжка на лазерната кухина.
- Електроди за разряд: Почистване от разпръскване и корозия на електродите за разряд и компоненти за предварителна йонизация.
- Въздуховод за циркулация на газ: Ремонт на въздуховода за циркулация на газ.
- Захранване: Ремонт на високоволтовото захранване за отстраняване на прах.
- Тестване на херметичност: Комплексно тестване на херметичността и ремонт.
- Тестване на машината: Пълно тестване на машината, възстановяване на показателите за производителност.
II. Договорни показатели за производителност
- Възстановяване на производителността: Възстановяване на общата лазерна производителност, с максимална енергия на единичен импулс на лазера >100mJ (193nm).
- Удължен живот: Осигуряване на удължен експлоатационен живот на устройството.
III. Резултати от поддръжката
- Дължина на вълната: 193nm

- Енергия на импулса: Максимална енергия на единичен импулс 158.3mJ (@28kV)
|
Напрежение на енергийното съхранение (kV) |
Енергия (mJ) |
||||||||
|
1Hz |
10Hz |
20Hz |
|||||||
|
Средно |
Стандартно отклонение |
Относително стандартно отклонение % |
Средно |
Стандартно отклонение |
Относително стандартно отклонение % |
Средно |
Стандартно отклонение |
Относително стандартно отклонение % |
|
|
25.0 |
139.2 |
0.89 |
0.64 |
135.1 |
1.34 |
0.99 |
129.7 |
1.75 |
1.35 |
|
26.0 |
148.7 |
1.09 |
0.73 |
142.2 |
1.19 |
0.84 |
136.9 |
1.46 |
1.07 |
|
27.0 |
153.1 |
1.11 |
0.73 |
148.2 |
1.13 |
0.76 |
143.4 |
1.44 |
1.00 |
|
28.0 |
158.3 |
1.43 |
0.90 |
153.8 |
1.52 |
0.99 |
148.8 |
1.37 |
0.92 |
- Работен живот на газа при 25kV/20Hz:
|
25kV/20Hz |
Енергия mJ |
|
|
|
10Hz |
20Hz |
|
0 |
135.1 |
129.7 |
|
36 |
128.9 |
123.8 |
|
72 |
121.8 |
119.2 |
|
108 |
114.7 |
113.5 |
|
Без работа за 15 часа |
99.4 |
95.0 |
|
180 |
93.8 |
91.2 |
|
216 |
87.7 |
91.2 |
|
252 |
95.9 |
93.8 |
|
288 |
92.2 |
89.8 |
|
Без работа за 42 часа |
85.5 |
80.5 |
|
324 |
79.4 |
76.1 |
|
360 |
72.9 |
70.1 |
|
396 |
67.6 |
65.9 |
|
432 |
62.5 |
61.5 |
|
468 |
60.1 |
58.4 |
|
504 |
55.1 |
52.9 |
|
540 |
50.1 |
49.2 |

- Сравнение преди и след смяна на лещата:

- Профил на лъча:15mm*5mm
Презентация върху фотографска хартия

Ширина на импулса: FWHM ≈ 16ns

IV. Снимки от мястото на теста
- Тестване на ширината на импулса:

- Тестване на спектъра:

Казус за ремонт: Пълно обновяване и подобряване на производителността на ексимерния лазер CompexPro102F
Лазерна система: Coherent CompexPro102F ексимерен лазер
Дата на обслужване: Юни 2025
Цел: Пълна подмяна на системата за възстановяване и подобряване на производителността, надвишаваща 300mJ единична енергия на импулса при 248nm и подобряване на общия експлоатационен живот.
Фон и предизвикателство:
Системата на клиента CompexPro102F ексимерен лазер изискваше цялостна поддръжка и ремонт. Основната цел беше възстановяване на оперативната му производителност, като се насочи към единична енергия на импулса над 300mJ при работната дължина на вълната 248nm, и осигуряване на удължен живот на цялата система.
Нашият цялостен процес на обслужване и ремонт:
Нашият екип предприе прецизен и систематичен подход за справяне с всички критични компоненти на лазера CompexPro102F:
-
Обновяване на разрядната единица: Пълно обновяване на електродите за разряд и предварителните йонизационни единици за осигуряване на оптимално и стабилно генериране на плазма.
-
Обслужване на лазерната кухина: Лазерната кухина беше внимателно отворена, инспектирана за износване или замърсяване, старателно почистена и възстановена.
-
Обновяване на газовата циркулационна система: Газовата циркулационна система, включително вентилатора и въздуховодите, беше ремонтирана, за да се осигури ефективен и чист газов поток, критичен за стабилната работа на лазера и живота на газа.
-
Ремонт на модула за задействане на тиротрона: Модулът за задействане на тиротрона беше диагностициран, ремонтиран и подложен на стриктни тестове, за да се гарантира прецизно и надеждно превключване.
-
Диагностика и ремонт на контролната система: Бяха идентифицирани и отстранени всички аномалии в контролната система, за да се осигури безпроблемна и безопасна работа.
-
Газова херметичност на цялата система: Извършена беше цялостна процедура за откриване на течове в газовата система, последвана от необходимите ремонти за осигуряване на вакуумна цялост и чистота на газа.
-
Поддръжка на високоволтовото захранване: Високоволтовото захранване беше подложено на щателна проверка и поддръжка, за да се осигури стабилно и надеждно захранване.
-
Пълно тестване на системата и валидиране на производителността: След ремонта цялата лазерна система беше сглобена и подложена на обстойни тестове, за да се потвърди, че всички показатели за производителност са изпълнени или надминати.
Резултати и постижения:
Ремонът беше изключително успешен, като CompexPro102F не само отговори, но и значително надмина договорените показатели за производителност.
-
Потвърждение на дължината на вълната:
-
Постигнато: 248nm (Спектралният пик е точно измерен на 248.3nm)
-

-
Енергия на импулса:
-
Цел: >300mJ @ 248nm
-
Постигнат максимум: 469mJ (при 28kV / 10Hz)
-
Лазерът демонстрира отлична стабилност на енергията при различни работни напрежения и честоти на повторение.
-
|
Напрежение (kV) |
Енергия (mJ) |
|
|
5Hz средно |
10Hz средно |
|
|
22 |
319.0 |
316.0 |
|
23 |
345.0 |
347.0 |
|
24 |
379.0 |
375.0 |
|
25 |
404.0 |
402.0 |
|
26 |
430.0 |
426.0 |
|
27 |
452.0 |
451.0 |
|
28 |
473.0 |
469.0 |
Тестово видео

-
Живот на газа:
-
Лазерът демонстрира стабилен живот на газа, поддържайки значителна енергийна мощност при удължен брой импулси. При 24kV/10Hz, енергията започна от 375.0mJ и все още беше 317.0mJ след 162,000 импулса.
-
|
Брой импулси (K) |
Енергия (mJ/24kV) |
|
10Hz |
|
|
Средно |
|
|
0 |
375.0 |
|
18 |
371.0 |
|
18 |
348.0 |
|
36 |
352.0 |
|
54 |
355.0 |
|
72 |
347.0 |
|
90 |
338.0 |
|
108 |
333.0 |
|
126 |
328.0 |
|
144 |
327.0 |
|
162 |
317.0 |

-
Профил на лъча (Размер на петното):
-
Измерено: Приблизително 24mm x 8mm
-

-
Ширина на импулса:
-
Измерено (FWHM): Приблизително 30ns
-

Заключение:
Комплексната програма за ремонт и поддръжка на ексимерния лазер CompexPro102F доведе до пълно възстановяване на оперативните му възможности. Системата сега значително надвишава първоначалните си технически спецификации, особено по отношение на максималната енергия на импулса, и демонстрира отлична стабилност и живот на газа. Този успешен ремонт не само отговаря на непосредствените оперативни нужди на клиента, но и осигурява удължен експлоатационен живот на ценната им лазерна техника.


Нуждае ли се вашият ексимерен лазер от експертно внимание? Свържете се с нас днес, за да обсъдим вашите нужди от ремонт и поддръжка!
Видео
Често задавани въпроси
Q1: Как да разбера дали моят ексимерен лазер се нуждае от ремонт?
A1: Ако енергийният изход на вашия лазер намалява и вече не осигурява оптимална производителност, може да се нуждае от ремонт. Можете да ни изпратите снимки на съответните части, а нашите инженери ще направят предварителна оценка.
Q2: Каква информация и подготовки са необходими преди изпращане на лазерните части за ремонт?
A2: Нуждаем се от вашата контактна информация, както и от размерите и теглото на оборудването, за да изчислим разходите за доставка. Уверете се, че устройството е опаковано сигурно и ясно маркирано с "Само за ремонт", за да избегнете митнически такси.
Q3: Какви са разходите за ремонт? Има ли допълнителни такси?
A3: Разходите за ремонт се основават на сложността на работата и цената на подмяната на части. Могат да възникнат допълнителни разходи, ако по време на ремонта бъдат открити други проблеми, като повреди на вътрешното черно устройство. Конкретните разходи ще бъдат определени след инспекция.
Q4: Как се организират транспортът и връщането след ремонта?
A4: След приключване на ремонта ще организираме транспорта според адреса за връщане, който предоставите. Моля, потвърдете както адреса за изпращане, така и за връщане, тъй като те ще повлияят на офертата за доставка.
Q5: Има ли гаранция за ремонтната услуга?
A5: Предоставяме гаранционен период за всички наши ремонтни услуги, за да гарантираме, че ремонтираното оборудване отговаря на стандартите за производителност.
Q6: Как мога да проследя напредъка на ремонта?
A6: Можете да следите напредъка на ремонта чрез нашите методи за контакт, като WeChat и имейл. Също така ще ви информираме проактивно за значителни статуси на ремонта.
Q7: Как се справяте с нуждите от ремонт за международни клиенти?
A7: За международни клиенти предлагаме пълна логистична подкрепа и митнически съвети, за да гарантираме, че вашето оборудване безопасно достига до нашия ремонтен център.
Q8: Как се осъществява комуникацията, ако възникнат допълнителни нужди от ремонт?
A8: Ако по време на ремонта бъдат открити допълнителни проблеми, ще се свържем с вас своевременно и ще предоставим подробен план за ремонт и бюджет, за да имате достатъчно информация за вземане на решения.