Кохерентен източник на ексимерен лазер

Какво е ексимерен лазер?

Ексимерният лазер е високопрецизно лазерно устройство, което използва смес от редки газови халиди като усилвателна среда за производство на ултравиолетова светлина с изключително къси дължини на вълната. Известен с високата си енергийна мощност и прецизен контрол, този тип лазер се използва широко в прецизна обработка на материали и медицински приложения.

Приложения на ексимерните лазери

ексимерен лазер в медицинско приложение

Ексимерните лазери се използват широко в няколко индустрии поради техните уникални свойства:

  • Производство на полупроводници: Използва се в литографските процеси за миниатюризация.
  • Офталмологична хирургия: Например LASIK, за подобряване на зрението на пациентите.
  • Обработка на материали: Използват се за пробиване, рязане или маркиране на различни материали.
  • Научни изследвания: Използват се за прецизни измервания и експерименти във физиката и химията.

Причини да изберете ремонт на ексимерен лазер

  • Икономическа ефективност: Ексимерните лазери са скъпи за закупуване и експлоатация. Ремонтът им вместо подмяна може значително да намали разходите.
  • Удължен живот: Редовната професионална поддръжка не само възстановява работата на лазера, но и значително удължава експлоатационния му живот.
  • Предотвратяване на престой: Навременните ремонти предотвратяват продължителни прекъсвания, причинени от повреди на оборудването, осигурявайки непрекъснато производство и изследователска дейност.

Защо да изберете нашите ремонтни услуги?

  • Водещи в индустрията: Sky Fire Laser е сред малкото технически екипи в Китай, способни професионално да ремонтират ексимерни лазери.
  • Модерни съоръжения: Нашата ремонтна лаборатория е оборудвана с водещо в индустрията оборудване за ремонт и мониторинг.
  • Опитни техници: Нашият инженеринг екип притежава дълбоки познания и богат опит в ремонта на лазерна техника.
  • Персонализирани услуги: Предлагаме индивидуални планове за ремонт, съобразени със специфичните нужди и бюджети на нашите клиенти.

Казус за ремонт: MIDI V5.2 Technolas ексимерен лазер

Предистория

През април 2024 г. поехме предизвикателен проект за възстановяване на работата на MIDI V5.2 Technolas ексимерен лазер. Това устройство не можеше да отговаря на заводските спецификации поради множество проблеми с производителността, което влияеше на производството на клиента.

I. Подробности за поддръжката

  1. Лазерна кухина: Отваряне, инспекция, щателно почистване и поддръжка на лазерната кухина.
  2. Разрядни електроди: Напръскване и почистване от корозия на разрядните електроди и компонентите за предварителна йонизация.
  3. Въздуховод за циркулация на газ: Ремонт на въздуховода за циркулация на газ.
  4. Захранване: Ремонт на високоволтовото захранване за прахоуловител.
  5. Тестване на херметичност: Комплексно тестване на херметичността и ремонт.
  6. Тестване на машината: Пълно тестване на машината, възстановяване на показателите за ефективност.

II. Договорни показатели за ефективност

  • Възстановяване на ефективността: Възстановяване на общата лазерна ефективност, с максимална енергия на единичен импулс на лазера >100mJ (193nm).
  • Удължен живот: Осигуряване на удължен експлоатационен живот на устройството.

III. Резултати от тестове за поддръжка

  • Дължина на вълната: 193nm
тестово изображение на дължина на вълната
  • Енергия на импулса: Максимална енергия на единичен импулс 158.3mJ (@28kV)

Напрежение за съхранение на енергия (kV)

Енергия (mJ)

1Hz

10Hz

20Hz

Средно

Стд

Относително стандартно отклонение %

Средно

Стд

Относително стандартно отклонение %

Средно

Стд

Относително стандартно отклонение %

25.0

139.2

0.89

0.64

135.1

1.34

0.99

129.7

1.75

1.35

26.0

148.7

1.09

0.73

142.2

1.19

0.84

136.9

1.46

1.07

27.0

153.1

1.11

0.73

148.2

1.13

0.76

143.4

1.44

1.00

28.0

158.3

1.43

0.90

153.8

1.52

0.99

148.8

1.37

0.92

 

  • Оперативен живот на газа при 25kV/20Hz:

25kV/20Hz
Брой импулси (K)

Енергия mJ

 

10Hz

20Hz

0

135.1

129.7

36

128.9

123.8

72

121.8

119.2

108

114.7

113.5

Неподвижен за 15 часа

99.4

95.0

180

93.8

91.2

216

87.7

91.2

252

95.9

93.8

288

92.2

89.8

Без работа за 42 часа

85.5

80.5

324

79.4

76.1

360

72.9

70.1

396

67.6

65.9

432

62.5

61.5

468

60.1

58.4

504

55.1

52.9

540

50.1

49.2


работна ефективност при 10Hz и 20Hz

 

  • Сравнение преди и след смяна на лещата
работна ефективност преди и след смяна на лещата

  • Профил на лъча:15mm*5mm

Презентация на фотографска хартия

Презентация на фотографска хартия

 

Ширина на импулса: FWHM ≈ 16ns

Ширина на импулса


IV. Снимки от тестовия обект

  • Тестване на ширината на импулса:
Тестване на ширината на импулса
  • Тестване на спектъра:
Тестване на спектъра

Казус за ремонт: Пълна подмяна и подобряване на производителността на ексимерния лазер CompexPro102F

Лазерна система: Coherent CompexPro102F ексимерен лазер
Дата на обслужване: Юни 2025
Цел: Пълна подмяна на системата за възстановяване и подобряване на производителността, надвишаваща 300mJ единична енергия на импулса при 248nm и подобряване на общия експлоатационен живот.

Фон и предизвикателство:
Системата на клиента CompexPro102F ексимерен лазер изискваше цялостна поддръжка и ремонт. Основната цел беше възстановяване на работните характеристики, като се насочи към единична енергия на импулса над 300mJ при работната дължина на вълната 248nm, и осигуряване на удължен експлоатационен живот на цялата система.

Нашият цялостен процес на обслужване и ремонт:
Нашият екип предприе прецизен и систематичен подход за адресиране на всички критични компоненти на лазера CompexPro102F:

  1. Подмяна на блока за разряд: Пълна подмяна на електродите за разряд и блоковете за предварителна йонизация за осигуряване на оптимално и стабилно генериране на плазма.

  2. Обслужване на лазерната кухина: Лазерната кухина беше внимателно отворена, инспектирана за износване или замърсяване, старателно почистена и възстановена.

  3. Обновяване на системата за циркулация на газа: Системата за циркулация на газа, включително вентилатора и въздуховодите, беше ремонтирана, за да се осигури ефективен и чист газов поток, критичен за стабилната работа на лазера и живота на газа.

  4. Ремонт на модула за задействане на тиротрона: Модулът за задействане на тиротрона беше диагностициран, ремонтиран и подложен на стриктни тестове, за да се гарантира прецизно и надеждно превключване.

  5. Диагностика и ремонт на контролната система: Бяха идентифицирани и отстранени всички аномалии в контролната система, за да се гарантира безпроблемна и безопасна работа.

  6. Газова херметичност на цялата система: Беше извършена цялостна процедура за откриване на течове в цялата газова система, последвана от необходимите ремонти за осигуряване на вакуумна цялост и чистота на газа.

  7. Поддръжка на високоволтовото захранване: Високоволтовото захранване беше подложено на щателна проверка и поддръжка, за да се осигури стабилно и надеждно захранване.

  8. Пълно тестване на системата и валидиране на производителността: След ремонта цялата лазерна система беше сглобена и подложена на обстойни тестове, за да се потвърди, че всички показатели за производителност са изпълнени или надминати.

Резултати и постижения:
Ремонтирането беше изключително успешно, като CompexPro102F не само отговаряше, но и значително надмина договорените цели за производителност.

  • Потвърждение на дължината на вълната:

    • Постигнато: 248nm (Спектрален пик точно измерен при 248.3nm)

  • Импулсна енергия:

    • Цел: >300mJ @ 248nm

    • Постигнат максимум: 469mJ (при 28kV / 10Hz)

    • Лазерът показа отлична стабилност на енергията при различни работни напрежения и честоти на повторение.

Напрежение (kV)

Енергия (mJ)

Средно за 5Hz

Средно за 10Hz

22

319.0

316.0

23

345.0

347.0

24

379.0

375.0

25

404.0

402.0

26

430.0

426.0

27

452.0

451.0

28

473.0

469.0

Тестово видео

 

  • Газов живот:

    • Лазерът демонстрира стабилен газов живот, поддържайки значителна енергийна мощност при удължен брой импулси. При 24kV/10Hz, енергията започна от 375.0mJ и все още беше 317.0mJ след 162 000 импулса.

Брой импулси (K)

Енергия (mJ/24kV)

10Hz

Средно

0

375.0

18

371.0

18

348.0

36

352.0

54

355.0

72

347.0

90

338.0

108

333.0

126

328.0

144

327.0

162

317.0

  • Профил на лъча (Размер на петното):

    • Измерено: Приблизително 24мм x 8мм



 

  • Ширина на импулса:

    • Измерено (FWHM): Приблизително 30ns



Заключение:
Комплексната програма за ремонт и поддръжка на ексимерния лазер CompexPro102F доведе до пълно възстановяване на неговите оперативни възможности. Системата сега значително надвишава първоначалните си технически спецификации, особено по отношение на максималната енергия на импулса, и демонстрира отлична стабилност и живот на газа. Този успешен ремонт не само отговаря на непосредствените оперативни нужди на клиента, но и осигурява удължен експлоатационен живот на ценната им лазерна техника.

Нуждае ли се вашият ексимерен лазер от експертно внимание? Свържете се с нас днес, за да обсъдим вашите нужди от ремонт и поддръжка!

 

 

Видео

Често задавани въпроси

Q1: Как да разбера дали моят ексимерен лазер се нуждае от ремонт?
A1: Ако енергийният изход на вашия лазер намалее и вече не осигурява оптимална производителност, може да се нуждае от ремонт. Можете да ни изпратите снимки на съответните части, а нашите инженери ще направят предварителна оценка.

Q2: Каква информация и подготовка са необходими преди изпращане на лазерните части за ремонт?
A2: Нуждаем се от вашите контактни данни, както и от размерите и теглото на оборудването, за да изчислим разходите за доставка. Уверете се, че устройството е опаковано сигурно и ясно маркирано с "Само за ремонт", за да избегнете митнически такси.

Q3: Какви са разходите за ремонт? Има ли допълнителни такси?
A3: Разходите за ремонт се определят според сложността на работата и цената на подмяната на части. Могат да възникнат допълнителни разходи, ако по време на ремонта бъдат открити други проблеми, като повреди във вътрешното черно устройство. Конкретните разходи ще бъдат определени след инспекция.

Q4: Как се организират транспортът и връщането след ремонта?
A4: След приключване на ремонта ще организираме транспорта според адреса за връщане, който предоставите. Моля, потвърдете както адреса за изпращане, така и за връщане, тъй като те влияят на цената за доставка.

Q5: Има ли гаранция за ремонтната услуга?
A5: Предоставяме гаранционен период за всички наши ремонтни услуги, за да осигурим, че ремонтираното оборудване отговаря на стандартите за производителност.

Q6: Как мога да проследя напредъка на ремонта?
A6: Можете да следите напредъка на ремонта чрез нашите методи за контакт, като WeChat и имейл. Също така ще ви информираме проактивно за значителни статуси на ремонта.

Q7: Как се справяте с ремонтните нужди на международни клиенти?
A7: За международни клиенти предлагаме пълна логистична подкрепа и митнически съвети, за да гарантираме, че вашето оборудване безопасно достига до нашия ремонтен център.

Q8: Как се осъществява комуникацията, ако възникнат допълнителни нужди от ремонт?
A8: Ако по време на ремонта бъдат открити допълнителни проблеми, ще се свържем с вас своевременно и ще предоставим подробен план за ремонт и бюджет, за да сте добре информирани при вземането на решения.

 

Допълнително четиво:



Учебни материали за ремонт на фиброоптичен лазерен източник - пълна електронна книга

Разгледайте го