Какво е ексимерен лазер?

Ексимерният лазер е лазерно устройство с висока точност, което използва смес от халиди на редки газове като среда за усилване, за да произвежда ултравиолетова светлина с изключително къси дължини на вълната. Известен със своята висока енергийна мощност и прецизен контрол, този тип лазер се използва широко при прецизна обработка на материали и медицински приложения.

Приложения на ексимерни лазери

Ексимерните лазери се използват широко в няколко индустрии поради техните уникални свойства:

• Производство на полупроводници: Използва се в литографски процеси за миниатюризация.
• Офталмологична хирургия: Като LASIK, за подобряване на зрението на пациентите.
• Обработка на материали: Използва се за пробиване, рязане или маркиране на различни материали.
• Научни изследвания: Използва се в прецизни измервания и експерименти във физиката и химията.

Причини да изберете ремонт с ексимерен лазер

• Ефективност на разходите: Ексимерните лазери са скъпи за закупуване и експлоатация. Ремонтът вместо подмяната на тези устройства може значително да намали разходите.
• Удължен живот: Редовната професионална поддръжка не само възстановява работата на лазера, но също така значително удължава експлоатационния му живот.
• Предотвратяване на прекъсванията: Навременните ремонти предотвратяват продължителни престои, причинени от повреда на оборудването, осигурявайки непрекъснати производствени и изследователски дейности.

Защо да изберете нашите ремонтни услуги?

• Лидерство в индустрията: Sky Fire Laser е сред малкото технически екипи в Китай, способни да ремонтират професионално ексимерни лазери.
• Разширени съоръжения: Нашата ремонтна лаборатория е оборудвана с водещо в индустрията оборудване за ремонт и наблюдение.
• Опитни техници: Нашият инженерен екип притежава дълбоки познания и богат опит в ремонта на лазерни технологии.
• Персонализирани услуги: Предлагаме персонализирани планове за ремонт, съобразени със специфичните нужди и бюджети на нашите клиенти.

Казус за поправка: MIDI V5.2 Technolas Excimer Laser

Заден план

През април 2024 г. предприехме предизвикателен проект за възстановяване на производителността на ексимерен лазер MIDI V5.2 Technolas. Това устройство не успя да изпълни фабричните спецификации поради множество проблеми с производителността, засягащи производството на клиента.

I. Подробности за поддръжката

1. Лазерна кухина: Отваряне, проверка, цялостно почистване и поддръжка на лазерната кухина.
2. Разрядни електроди: Разпрашване и почистване от корозия на разрядни електроди и компоненти преди йонизация.
3. Път за циркулация на газ: Обновяване на пътя за циркулация на газ.
4. Захранване: Ремонт на високоволтовото прахоотвеждащо захранване.
5. Тестване за херметичност: Цялостно тестване за херметичност и ремонт.
6. Машинно тестване: Пълно машинно тестване, възстановяване на показателите за ефективност.

II. Сравнителни показатели за изпълнение на договора

• Възстановяване на производителността: Възстановяване на цялостната производителност на лазера с максимална енергия на единичен импулс на лазера >100mJ (193nm).
• Удължен живот: Гарантиране на удължен експлоатационен живот на устройството.

III. Резултати от теста за поддръжка

• Дължина на вълната: 193nm

Напрежение за съхранение на енергия (kV)	Енергия (mJ)
	1Hz			10Hz			20Hz
	Ave	Std	Относителен стандартен %	Ave	Std	Относителен стандартен %	Ave	Std	Относителен стандартен %
25.0	139.2	0.89	0.64	135.1	1.34	0.99	129.7	1.75	1.35
26.0	148.7	1.09	0.73	142.2	1.19	0.84	136.9	1.46	1.07
27.0	153.1	1.11	0.73	148.2	1.13	0.76	143.4	1.44	1.00
28.0	158.3	1.43	0.90	153.8	1.52	0.99	148.8	1.37	0.92

 

• Експлоатационен живот на газ при 25kV/20Hz:

25kV/20Hz Брой импулси (K)	Енергия mJ
	10Hz	20Hz
0	135.1	129.7
36	128.9	123.8
72	121.8	119.2
108	114.7	113.5
Бездейства 15 часа	99.4	95.0
180	93.8	91.2
216	87.7	91.2
252	95.9	93.8
288	92.2	89.8
Бездейства 42 часа	85.5	80.5
324	79.4	76.1
360	72.9	70.1
396	67.6	65.9
432	62.5	61.5
468	60.1	58.4
504	55.1	52.9
540	50.1	49.2

 

• Сравнение преди и след смяна на лещата：

• Профил на лъча: 15 мм * 5 мм

Презентация на фотохартия

 

Ширина на импулса: FWHM ≈ 16ns

IV. Снимки на тестовия сайт

• Тестване на ширината на импулса:

• Тестване на спектъра: