Abril de 2024 marca um marco em nosso compromisso de manter tecnologia de ponta com a reforma bem-sucedida do Laser Excimer MIDI V5.2 Technolas. Este post mergulha no processo detalhado de reparo, mostrando como restauramos este equipamento crucial ao seu desempenho máximo e estendemos sua vida operacional.
Cuidado Abrangente para Tecnologia Avançada
O MIDI V5.2, conhecido por suas capacidades precisas e potentes de laser, passou por um processo completo de reparo para tratar o desgaste que estava impactando seu desempenho. Aqui está um resumo dos passos que tomamos para dar nova vida a essa sofisticada máquina:
- Revitalização da Cavidade do Laser: Começamos abrindo a cavidade do laser para uma inspeção detalhada seguida de uma rotina completa de limpeza e manutenção.
- Restauração de Componentes: Os eletrodos de descarga e os componentes de pré-ionização passaram por limpeza meticulosa de sputtering e corrosão.
- Melhoria do Sistema: Reformamos o caminho do ar da circulação de gás para garantir operação ideal.
- Revisão da Fonte de Alimentação: A fonte de alimentação de alta tensão para remoção de poeira foi meticulosamente reparada.
- Verificações de Integridade de Vedação: Testes abrangentes de estanqueidade e reparos foram realizados para proteger o laser contra quaisquer contaminantes externos potenciais.
- Teste de Desempenho: Finalmente, a máquina completa foi testada para garantir que atendesse a todos os marcos de desempenho, confirmando o sucesso dos nossos esforços de reparo.

Sucesso Medido: Marcos de Desempenho Restaurados
Após o reparo, o MIDI V5.2 não apenas retornou aos seus padrões originais de desempenho, mas superou as expectativas. Aqui estão os resultados impressionantes dos nossos esforços:
- Energia Restaurada: A energia máxima do pulso único foi restaurada para mais de 100mJ (193nm), com um pico notável em 158,3mJ (@28kV).


Análise Detalhada da Energia do Pulso:
Realizamos testes detalhados de saída de energia em várias configurações:
| Tensão (kV) | 1Hz (Média mJ) | 1Hz Desvio Padrão | 1Hz Desvio Padrão Relativo % | 10Hz (Média mJ) | Desvio Padrão a 10Hz | Desvio Padrão Relativo a 10Hz % | 20Hz (Média mJ) | Desvio Padrão a 20Hz | Desvio Padrão Relativo a 20Hz % |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 25.0 | 139.2 | 0.89 | 0.64 | 135.1 | 1.34 | 0.99 | 129.7 | 1.75 | 1.35 |
| 26.0 | 148.7 | 1.09 | 0.73 | 142.2 | 1.19 | 0.84 | 136.9 | 1.46 | 1.07 |
| 27.0 | 153.1 | 1.11 | 0.73 | 148.2 | 1.13 | 0.76 | 143.4 | 1.44 | 1.00 |
| 28.0 | 158.3 | 1.43 | 0.90 | 153.8 | 1.52 | 0.99 | 148.8 | 1.37 | 0.92 |
Vida Útil Operacional do Gás a 25kV/20Hz
Testes extensivos também demonstraram melhorias significativas na vida útil operacional do gás, refletindo a durabilidade e eficiência do laser após o reparo:
| Contagem de Pulsos (K) | Energia a 10Hz (mJ) | Energia a 20Hz (mJ) |
|---|---|---|
| 0 | 135.1 | 129.7 |
| 36 | 128.9 | 123.8 |
| 72 | 121.8 | 119.2 |
| 108 | 114.7 | 113.5 |
| Inativo por 15 horas | 99.4 | 95.0 |
| 180 | 93.8 | 91.2 |
| 216 | 87.7 | 91.2 |
| 252 | 95.9 | 93.8 |
| 288 | 92.2 | 89.8 |
| Inativo por 42 horas | 85.5 | 80.5 |
| 324 | 79.4 | 76.1 |
| 360 | 72.9 | 70.1 |
| 396 | 67.6 | 65.9 |
| 432 | 62.5 | 61.5 |
| 468 | 60.1 | 58.4 |
| 504 | 55.1 | 52.9 |
| 540 | 50.1 | 49.2 |
Comparação da operação em 10Hz e 20Hz:

Comparação antes e depois da substituição da lente:
Confirmação Visual da Precisão
O perfil do feixe medido após o reparo exibiu dimensões precisas de 15mm x 5mm em papel fotográfico, com larguras de pulso marcadas em aproximadamente 16ns FWHM, reafirmando o cuidado meticuloso e a precisão do nosso processo de reparo.

Seu Parceiro em Precisão
Esta jornada de reparo ilustra não apenas nossa capacidade de restaurar a funcionalidade, mas também nossa dedicação em aumentar a vida útil operacional e a eficiência de sistemas a laser complexos. O Laser Excimer Technolas MIDI V5.2 está agora totalmente equipado para continuar seu papel crítico em vários setores de alta tecnologia, tudo graças a um processo de reparo detalhado e dedicado que garante que cada componente funcione perfeitamente.
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