Что такое эксимерный лазер?
Эксимерный лазер — это высокоточный лазерный прибор, использующий смесь галогенидов инертных газов в качестве активной среды для генерации ультрафиолетового излучения с чрезвычайно короткими длинами волн. Известный своей высокой выходной мощностью и точным управлением, этот тип лазера широко применяется в прецизионной обработке материалов и медицинских целях.
Применение эксимерных лазеров
Эксимерные лазеры широко применяются в различных отраслях благодаря своим уникальным свойствам:
- Производство полупроводников: Используются в литографических процессах для миниатюризации.
- Офтальмологическая хирургия: Например, LASIK для улучшения зрения пациентов.
- Обработка материалов: Применяются для сверления, резки или маркировки различных материалов.
- Научные исследования: Используются для точных измерений и экспериментов в физике и химии.
Причины выбрать ремонт эксимерных лазеров
- Экономическая эффективность: Эксимерные лазеры дороги в покупке и эксплуатации. Ремонт вместо замены этих устройств может значительно снизить затраты.
- Продление срока службы: Регулярное профессиональное обслуживание не только восстанавливает работоспособность лазера, но и значительно увеличивает срок его эксплуатации.
- Предотвращение простоев: Своевременный ремонт предотвращает длительные простои из-за сбоев оборудования, обеспечивая непрерывность производства и научных исследований.
Почему выбирают наши услуги по ремонту?
- Лидерство в отрасли: Sky Fire Laser — одна из немногих технических команд в Китае, способных профессионально ремонтировать эксимерные лазеры.
- Современные мощности: Наша ремонтная лаборатория оснащена передовым оборудованием для ремонта и мониторинга.
- Опытные техники: Наша инженерная команда обладает глубокими знаниями и обширным опытом в ремонте лазерных технологий.
- Индивидуальные услуги: Мы предлагаем персонализированные планы ремонта, адаптированные к конкретным потребностям и бюджету наших клиентов.
Кейс ремонта: эксимерный лазер MIDI V5.2 Technolas
Предыстория
В апреле 2024 года мы взялись за сложный проект по восстановлению работоспособности эксимерного лазера MIDI V5.2 Technolas. Это устройство не соответствовало заводским спецификациям из-за множества проблем с производительностью, что влияло на производство клиента.
I. Детали обслуживания
- Лазерная полость: Открытие, осмотр, тщательная очистка и обслуживание лазерной полости.
- Электроды разряда: Очистка электродов разряда и компонентов предионизации от напыления и коррозии.
- Воздушный путь циркуляции газа: Восстановление воздушного пути циркуляции газа.
- Источник питания: Ремонт высоковольтного источника питания для удаления пыли.
- Тестирование герметичности: Комплексное тестирование герметичности и ремонт.
- Тестирование машины: Полное тестирование машины, восстановление показателей производительности.
II. Контрактные показатели производительности
- Восстановление производительности: Восстановление общей производительности лазера, с максимальной энергией одиночного импульса лазера >100 мДж (193 нм).
- Продленный срок службы: Обеспечение продленного срока эксплуатации устройства.
III. Результаты технического обслуживания
- Длина волны: 193 нм
- Энергия импульса: Максимальная энергия одиночного импульса 158,3 мДж (@28 кВ)
|
Напряжение накопления энергии (кВ) |
Энергия (мДж) |
||||||||
|
1 Гц |
10 Гц |
20 Гц |
|||||||
|
Сред |
Стд |
Относительное стандартное отклонение % |
Сред |
Стд |
Относительное стандартное отклонение % |
Сред |
Стд |
Относительное стандартное отклонение % |
|
|
25.0 |
139.2 |
0.89 |
0.64 |
135.1 |
1.34 |
0.99 |
129.7 |
1.75 |
1.35 |
|
26.0 |
148.7 |
1.09 |
0.73 |
142.2 |
1.19 |
0.84 |
136.9 |
1.46 |
1.07 |
|
27.0 |
153.1 |
1.11 |
0.73 |
148.2 |
1.13 |
0.76 |
143.4 |
1.44 |
1.00 |
|
28.0 |
158.3 |
1.43 |
0.90 |
153.8 |
1.52 |
0.99 |
148.8 |
1.37 |
0.92 |
- Рабочий ресурс газа при 25 кВ/20 Гц:
|
25 кВ/20 Гц |
Энергия мДж |
|
|
|
10 Гц |
20 Гц |
|
0 |
135.1 |
129.7 |
|
36 |
128.9 |
123.8 |
|
72 |
121.8 |
119.2 |
|
108 |
114.7 |
113.5 |
|
Простой 15 часов |
99.4 |
95.0 |
|
180 |
93.8 |
91.2 |
|
216 |
87.7 |
91.2 |
|
252 |
95.9 |
93.8 |
|
288 |
92.2 |
89.8 |
|
Простой 42 часа |
85.5 |
80.5 |
|
324 |
79.4 |
76.1 |
|
360 |
72.9 |
70.1 |
|
396 |
67.6 |
65.9 |
|
432 |
62.5 |
61.5 |
|
468 |
60.1 |
58.4 |
|
504 |
55.1 |
52.9 |
|
540 |
50.1 |
49.2 |
- Сравнение до и после замены линзы：
- Профиль пучка:15мм*5мм
Презентация на фотобумаге
Длительность импульса: FWHM ≈ 16 нс
IV. Фотографии с места испытаний
- Тестирование длительности импульса:
- Тестирование спектра:
Кейс ремонта: Полный капитальный ремонт и повышение производительности эксимерного лазера CompexPro102F
Лазерная система: Coherent CompexPro102F эксимерный лазер
Дата обслуживания: Июнь 2025
Цель: Полный капитальный ремонт системы для восстановления и улучшения производительности, превышающей 300 мДж энергии одиночного импульса при 248 нм, и повышения общего срока службы.
Фон и задача:
Система эксимерного лазера CompexPro102F клиента требовала комплексного технического обслуживания и ремонта. Основная цель заключалась в восстановлении его эксплуатационных характеристик, в частности, достижении энергии одиночного импульса более 300 мДж на рабочей длине волны 248 нм, а также обеспечении продленного срока службы всей системы.
Наш комплексный процесс обслуживания и ремонта:
Наша команда применила тщательный и систематический подход для решения всех критических компонентов лазера CompexPro102F:
-
Ремонт блока разряда: Полный ремонт электродов разряда и блоков пред-ионизации для обеспечения оптимального и стабильного генерации плазмы.
-
Обслуживание лазерной полости: Лазерная полость была аккуратно открыта, осмотрена на предмет износа или загрязнений, тщательно очищена и восстановлена.
-
Капитальный ремонт системы циркуляции газа: Система циркуляции газа, включая вентилятор и воздуховоды, была отремонтирована для обеспечения эффективного и чистого газового потока, что критично для стабильной работы лазера и срока службы газа.
-
Ремонт модуля триггера тиротрона: Модуль триггера тиротрона был диагностирован, отремонтирован и тщательно протестирован для гарантии точного и надёжного переключения.
-
Диагностика и ремонт системы управления: Любые аномалии в системе управления были выявлены и устранены для обеспечения бесперебойной и безопасной работы.
-
Герметичность газовой системы: Была проведена комплексная процедура обнаружения утечек по всей газовой системе, после чего выполнены необходимые ремонты для обеспечения герметичности вакуума и чистоты газа.
-
Техническое обслуживание высоковольтного блока питания: Высоковольтный блок питания прошёл тщательную проверку и техническое обслуживание для обеспечения стабильного и надёжного питания.
-
Полное тестирование системы и проверка производительности: После ремонта вся лазерная система была собрана и подвергнута обширным испытаниям для подтверждения соответствия или превышения всех показателей производительности.
Результаты и достижения:
Ремонт прошёл с большим успехом: CompexPro102F не только соответствовал, но и значительно превзошёл контрактные показатели производительности.
-
Подтверждение длины волны:
-
Достигнуто: 248нм (Спектральный пик точно измерен на 248,3нм)
-
-
Энергия импульса:
-
Цель: >300 мДж @ 248нм
-
Достигнутый максимум: 469 мДж (при 28кВ / 10Гц)
-
Лазер продемонстрировал отличную стабильность энергии в широком диапазоне рабочих напряжений и частот повторения.
-
|
Напряжение (кВ) |
Энергия (мДж) |
|
|
Среднее 5Гц |
Среднее 10Гц |
|
|
22 |
319.0 |
316.0 |
|
23 |
345.0 |
347.0 |
|
24 |
379.0 |
375.0 |
|
25 |
404.0 |
402.0 |
|
26 |
430.0 |
426.0 |
|
27 |
452.0 |
451.0 |
|
28 |
473.0 |
469.0 |
Тестовое видео
-
Срок службы газа:
-
Лазер продемонстрировал устойчивый срок службы газа, поддерживая значительный выход энергии при большом количестве импульсов. При 24кВ/10Гц энергия начиналась с 375,0 мДж и оставалась на уровне 317,0 мДж после 162 000 импульсов.
-
|
Количество импульсов (тыс.) |
Энергия (мДж/24кВ) |
|
10 Гц |
|
|
Сред |
|
|
0 |
375.0 |
|
18 |
371.0 |
|
18 |
348.0 |
|
36 |
352.0 |
|
54 |
355.0 |
|
72 |
347.0 |
|
90 |
338.0 |
|
108 |
333.0 |
|
126 |
328.0 |
|
144 |
327.0 |
|
162 |
317.0 |
-
Профиль луча (Размер пятна):
-
Измерено: Приблизительно 24мм x 8мм
-
-
Длительность импульса:
-
Измерено (FWHM): Приблизительно 30нс
-
Заключение:
Комплексная программа ремонта и обслуживания эксимерного лазера CompexPro102F привела к полному восстановлению его рабочих характеристик. Система теперь значительно превосходит исходные технические характеристики, особенно по максимальной энергии импульса, и демонстрирует отличную стабильность и срок службы газа. Этот успешный ремонт не только удовлетворяет текущие эксплуатационные потребности клиента, но и обеспечивает продленный срок службы их ценного лазерного оборудования.
Ваш эксимерный лазер нуждается в профессиональном обслуживании? Свяжитесь с нами сегодня, чтобы обсудить ваши потребности в ремонте и техническом обслуживании!
Видео
Часто задаваемые вопросы
Q1: Как определить, нуждается ли мой эксимерный лазер в ремонте?
A1: Если выходная мощность вашего лазера снижается и он больше не обеспечивает оптимальную производительность, возможно, требуется ремонт. Вы можете отправить нам фотографии соответствующих деталей, и наши инженеры проведут предварительную оценку.
Q2: Какие данные и подготовка нужны перед отправкой лазерных деталей на ремонт?
A2: Нам необходимы ваши контактные данные, а также размеры и вес оборудования для расчёта стоимости доставки. Убедитесь, что устройство надежно упаковано и четко маркировано как «Только для ремонта», чтобы избежать таможенных пошлин.
Q3: Какова стоимость ремонта? Есть ли дополнительные платежи?
A3: Стоимость ремонта зависит от сложности работ и стоимости замены деталей. Дополнительные расходы могут возникнуть, если в процессе ремонта будут обнаружены другие проблемы, например, неисправности внутреннего черного устройства. Конкретные затраты определяются после осмотра.
Q4: Как организована транспортировка и возврат после ремонта?
A4: После завершения ремонта мы организуем транспортировку в соответствии с указанным вами адресом возврата. Пожалуйста, подтвердите адреса отправки и возврата, так как они влияют на стоимость доставки.
Q5: Есть ли гарантия на ремонтные услуги?
A5: Мы предоставляем гарантийный срок на все наши ремонтные услуги, чтобы обеспечить соответствие отремонтированного оборудования стандартам производительности.
Q6: Как я могу отслеживать прогресс ремонта?
A6: Вы можете отслеживать ход ремонта через наши каналы связи, такие как WeChat и электронная почта. Мы также будем проактивно информировать вас о важных этапах ремонта.
Q7: Как вы организуете ремонт для международных клиентов?
A7: Для международных клиентов мы предлагаем полную логистическую поддержку и консультации по таможенным вопросам, чтобы ваше оборудование безопасно дошло до нашего ремонтного центра.
Q8: Как осуществляется коммуникация, если возникают дополнительные потребности в ремонте?
A8: Если в процессе ремонта будут обнаружены дополнительные проблемы, мы своевременно свяжемся с вами и предоставим подробный план ремонта и бюджет, чтобы вы имели всю необходимую информацию для принятия решений.
