• Энергия импульса: Максимальная энергия одного импульса 158.3мДж (@28kV)

Кейс ремонта: Полная реконструкция и повышение производительности эксимерного лазера CompexPro102F

Лазерная система: Coherent CompexPro102F эксимерный лазер
Дата обслуживания: Июнь 2025
Цель: Полный капитальный ремонт системы для восстановления и улучшения производительности, превышающей 300 мДж энергии одиночного импульса при 248 нм, и повышения общего срока службы.

Предыстория и задача:
Система эксимерного лазера CompexPro102F клиента требовала комплексного технического обслуживания и ремонта. Основная цель заключалась в восстановлении эксплуатационных характеристик, в частности, достижении энергии одиночного импульса более 300 мДж на рабочей длине волны 248 нм, а также обеспечении продленного срока службы всей системы.

Наш комплексный процесс обслуживания и ремонта:
Наша команда провела тщательный и систематический подход к решению всех критических компонентов лазера CompexPro102F:

1. Реконструкция разрядного блока: Полная реконструкция разрядных электродов и блоков предионизации для обеспечения оптимального и стабильного генерации плазмы.

2. Обслуживание лазерной полости: Лазерная полость была аккуратно открыта, проверена на износ и загрязнения, тщательно очищена и восстановлена.

3. Капитальный ремонт системы циркуляции газа: Система циркуляции газа, включая вентилятор и воздуховоды, была отремонтирована для обеспечения эффективного и чистого газового потока, что критично для стабильной работы лазера и срока службы газа.

4. Ремонт модуля триггера тиристора: Модуль триггера тиристора был диагностирован, отремонтирован и тщательно протестирован для гарантии точного и надёжного переключения.

5. Диагностика и ремонт системы управления: Любые аномалии в системе управления были выявлены и устранены для обеспечения бесперебойной и безопасной работы.

6. Герметичность газовой системы: Была проведена комплексная процедура обнаружения утечек по всей газовой системе, после чего выполнены необходимые ремонты для обеспечения герметичности вакуума и чистоты газа.

7. Техническое обслуживание блока питания высокого напряжения: Блок питания высокого напряжения прошёл тщательную проверку и техническое обслуживание для обеспечения стабильного и надёжного питания.

8. Полное тестирование системы и проверка производительности: После ремонта вся лазерная система была собрана и подвергнута обширным испытаниям для подтверждения соответствия или превышения всех показателей производительности.

Результаты и достижения:
Ремонт прошёл с большим успехом, CompexPro102F не только достиг, но и значительно превзошёл контрактные показатели производительности.

• Подтверждение длины волны:

  • Достигнуто: 248nm (Спектральный пик точно измерен на 248.3nm)
    

• Энергия импульса:

  • Цель: >300mJ @ 248nm

  • Достигнутый максимум: 469мДж (при 28кВ / 10Гц)

  • Лазер продемонстрировал отличную стабильность энергии в широком диапазоне рабочих напряжений и частот повторения.
    

Тестовое видео

• Срок службы газа:

  • Лазер продемонстрировал устойчивый срок службы газа, поддерживая значительную энергию на протяжении большого количества импульсов. При 24кВ/10Гц энергия начиналась с 375,0мДж и оставалась на уровне 317,0мДж после 162 000 импульсов.
    

• Профиль луча (размер пятна):

  • Измерено: Приблизительно 24мм x 8мм

• Длительность импульса:

  • Измерено (FWHM): Приблизительно 30ns

Заключение:
Комплексная программа ремонта и обслуживания эксимерного лазера CompexPro102F привела к полному восстановлению его рабочих возможностей. Система теперь значительно превосходит исходные технические характеристики, особенно по максимальной энергии импульса, и демонстрирует отличную стабильность и срок службы газа. Этот успешный ремонт не только удовлетворяет текущие эксплуатационные потребности клиента, но и обеспечивает продленный срок службы их ценного лазерного оборудования.

Ваш эксимерный лазер нуждается в профессиональном обслуживании? Свяжитесь с нами сегодня, чтобы обсудить ваши потребности в ремонте и техническом обслуживании!

Видео

Часто задаваемые вопросы

Q1: Как определить, нуждается ли мой эксимерный лазер в ремонте?
A1: Если выходная энергия вашего лазера снижается и он больше не обеспечивает оптимальную производительность, возможно, требуется ремонт. Вы можете отправить нам фотографии соответствующих деталей, и наши инженеры проведут предварительную оценку.

Q2: Какая информация и подготовка необходимы перед отправкой лазерных деталей на ремонт?
A2: Нам необходимы ваши контактные данные, а также размеры и вес оборудования для расчета стоимости доставки. Убедитесь, что устройство надежно упаковано и четко маркировано как "Только для ремонта", чтобы избежать таможенных пошлин.

Q3: Какова стоимость ремонта? Есть ли дополнительные сборы?
A3: Стоимость ремонта зависит от сложности работ и стоимости замены деталей. Дополнительные расходы могут возникнуть, если во время ремонта будут обнаружены другие проблемы, например, неисправности внутреннего черного устройства. Конкретные затраты будут определены после осмотра.

Q4: Как организована транспортировка и возврат после ремонта?
A4: После завершения ремонта мы организуем транспортировку на основе предоставленного вами адреса возврата. Пожалуйста, подтвердите как адрес отправки, так и адрес возврата, так как они влияют на стоимость доставки.

Q5: Есть ли гарантия на ремонтные услуги?
A5: Мы предоставляем гарантийный срок на все наши ремонтные услуги, чтобы обеспечить соответствие отремонтированного оборудования стандартам производительности.

Q6: Как я могу отслеживать прогресс ремонта?
A6: Вы можете отслеживать ход ремонта через наши контактные методы, такие как WeChat и электронная почта. Мы также будем проактивно информировать вас о значимых этапах ремонта.

Q7: Как вы организуете ремонт для международных клиентов?
A7: Для международных клиентов мы предлагаем полную логистическую поддержку и консультации по таможенным вопросам, чтобы ваше оборудование безопасно дошло до нашего ремонтного центра.

Q8: Как осуществляется связь, если возникают дополнительные потребности в ремонте?
A8: Если в процессе ремонта будут обнаружены дополнительные проблемы, мы своевременно свяжемся с вами и предоставим подробный план ремонта и бюджет, чтобы вы имели достаточно информации для принятия решений.

Дополнительная литература:

• ремонтное обслуживание источника волоконного лазера