Coherent excimer laser source

Что такое эксимерный лазер?

Эксимерный лазер — это высокоточное лазерное устройство, в котором в качестве усиливающей среды используется смесь галогенидов редких газов для генерации ультрафиолетового света с чрезвычайно короткими длинами волн. Этот тип лазера, известный своей высокой выходной энергией и точным управлением, широко используется в точной обработке материалов и в медицине.

Применение эксимерных лазеров

excimer laser in medical application

Эксимерные лазеры широко используются в ряде отраслей промышленности благодаря своим уникальным свойствам:

  • Производство полупроводников. Используется в процессах литографии для миниатюризации.
  • Офтальмохирургия: Например, LASIK, для улучшения зрения пациентов.
  • Обработка материалов. Используется для сверления, резки или маркировки различных материалов.
  • Научные исследования. Занимается точными измерениями и экспериментами в области физики и химии.

Причины выбрать ремонт эксимерным лазером

  • Экономичность. Эксимерные лазеры дороги в покупке и эксплуатации. Ремонт, а не замена этих устройств может значительно снизить затраты.
  • Увеличенный срок службы: регулярное профессиональное техническое обслуживание не только восстанавливает производительность лазера, но и значительно продлевает срок его эксплуатации.
  • Предотвращение простоев. Своевременный ремонт предотвращает длительные простои, вызванные сбоями оборудования, обеспечивая непрерывность производства и исследовательской деятельности.

Почему стоит выбрать наши услуги по ремонту?

  • Лидерство в отрасли. Sky Fire Laser — одна из немногих технических групп в Китае, способных профессионально ремонтировать эксимерные лазеры.
  • Расширенное оборудование. Наша ремонтная лаборатория оснащена лучшим в отрасли оборудованием для ремонта и мониторинга.
  • Опытные специалисты. Наша команда инженеров обладает глубокими знаниями и обширным опытом в ремонте лазерной техники.
  • Индивидуальные услуги. Мы предлагаем индивидуальные планы ремонта с учетом конкретных потребностей и бюджета наших клиентов.

Пример ремонта: эксимерный лазер MIDI V5.2 Technolas

Фон

В апреле 2024 года мы взялись за амбициозный проект по восстановлению работоспособности эксимерного лазера MIDI V5.2 Technolas. Это устройство не соответствовало заводским спецификациям из-за множества проблем с производительностью, влияющих на производство клиента.

I. Подробности технического обслуживания

  1. Резонатор лазера. Открытие, проверка, тщательная очистка и обслуживание резонатора лазера.
  2. Разрядные электроды: Напыление и коррозионная очистка разрядных электродов и компонентов предварительной ионизации.
  3. Воздушный путь циркуляции газа: Ремонт воздушного пути циркуляции газа.
  4. Электропитание: Ремонт высоковольтного источника пылеудаления.
  5. Испытание на герметичность: Комплексное тестирование и ремонт на герметичность.
  6. Машинное тестирование. Полное машинное тестирование с восстановлением контрольных показателей производительности.

II. Контрольные показатели исполнения контрактов

  • Восстановление производительности. Восстановление общей производительности лазера при максимальной энергии одиночного импульса лазера >100 мДж (193 нм).
  • Увеличенный срок службы. Обеспечение продления срока службы устройства.

III. Результаты технического обслуживания

  • Длина волны: 193 нм
wavelength test image
  • Энергия импульса: Максимальная энергия одиночного импульса 158,3 мДж (@28 кВ)

Напряжение накопления энергии (кВ)

Энергия (мДж)

1 Гц

10 Гц

20 Гц

авеню

Стандартный

Относительный стандартный %

авеню

Стандартный

Относительный стандартный %

авеню

Стандартный

Относительный стандартный %

25.0

139.2

0.89

0.64

135.1

1.34

0.99

129.7

1.75

1.35

26.0

148.7

1.09

0.73

142.2

1.19

0.84

136.9

1.46

1.07

27.0

153.1

1.11

0.73

148.2

1.13

0.76

143.4

1.44

1.00

28.0

158.3

1.43

0.90

153.8

1.52

0.99

148.8

1.37

0.92

 

  • Срок службы газа при 25 кВ/20 Гц:

25кВ/20Гц
Количество пульсов (К)

Энергия мДж

 

10 Гц

20 Гц

0

135.1

129.7

36

128.9

123.8

72

121.8

119.2

108

114.7

113.5

Простой в течение 15 часов

99.4

95.0

180

93.8

91.2

216

87.7

91.2

252

95.9

93.8

288

92.2

89.8

Простой в течение 42 часов

85.5

80.5

324

79.4

76.1

360

72.9

70.1

396

67.6

65.9

432

62.5

61.5

468

60.1

58.4

504

55.1

52.9

540

50.1

49.2

operation performance at 10hz and 20hz

 

  • Сравнение до и после замены линз
operation performance before and after lens replacement
  • Профиль луча: 15 мм*5 мм

Презентация на фотобумаге

Photographic paper presentation

 

Длительность импульса: Полувысота ≈ 16 нс

Pulsse Width

IV. Фотографии испытательного полигона

  • Тестирование ширины импульса:
Pulse Width Testing
  • Спектральное тестирование:
Spectrum Testing

Часто задаваемые вопросы

Вопрос 1: Как определить, что мой эксимерный лазер нуждается в ремонте?
О1: Если выходная мощность вашего лазера снижается и он больше не обеспечивает оптимальную производительность, возможно, ему требуется ремонт. Вы можете прислать нам фотографии соответствующих деталей, и наши инженеры проведут предварительную оценку.

В2: Какая информация и подготовка необходимы перед отправкой деталей лазера в ремонт?
A2: Для расчета стоимости доставки нам нужна ваша контактная информация, а также размеры и вес оборудования. Обязательно надежно упакуйте устройство и четко пометьте его «Только для ремонта», чтобы избежать таможенных пошлин.

В3: Какова стоимость ремонта? Есть ли какие-либо дополнительные сборы?
A3: Стоимость ремонта зависит от сложности работы и стоимости замены деталей. Дополнительные расходы могут возникнуть, если во время ремонта будут обнаружены другие проблемы, например неисправности внутреннего черного устройства. Конкретная стоимость будет определена после проверки.

В4: Как осуществляется транспортировка и возврат после ремонта?
О4: После завершения ремонта мы организуем транспортировку по указанному вами обратному адресу. Пожалуйста, подтвердите адрес отправки и возврата, поскольку они повлияют на стоимость доставки.

В5: Есть ли гарантия на ремонт?
О5: Мы предоставляем гарантийный срок на все наши ремонтные услуги, чтобы гарантировать соответствие отремонтированного оборудования стандартам производительности.

В6: Как я могу отслеживать ход ремонта?
О6: Вы можете следить за ходом ремонта с помощью наших методов связи, таких как WeChat и электронная почта. Мы также будем заранее информировать вас о важных статусах ремонта.

Вопрос 7: Как вы справляетесь с ремонтными работами для международных клиентов?
A7: Для международных клиентов мы предлагаем полную логистическую поддержку и таможенные консультации, чтобы обеспечить безопасную доставку вашего оборудования в наш ремонтный центр.

Вопрос 8. Как осуществляется связь в случае возникновения дополнительных потребностей в ремонте?
A8: Если в процессе ремонта будут обнаружены дополнительные проблемы, мы своевременно свяжемся с вами и предоставим подробный план ремонта и бюджет, чтобы у вас было достаточно информации для принятия решений.

 

Дальнейшее чтение: