• Năng lượng xung: Năng lượng xung đơn tối đa 158.3mJ (@28kV)

Nghiên cứu Trường hợp Sửa chữa: Tân trang Toàn bộ & Nâng cao Hiệu suất Laser Excimer CompexPro102F

Hệ thống Laser: Coherent CompexPro102F Excimer Laser
Ngày Dịch vụ: Tháng 6 năm 2025
Mục tiêu: Tân trang toàn bộ hệ thống để khôi phục và nâng cao hiệu suất, vượt qua năng lượng xung đơn 300mJ tại 248nm và cải thiện tuổi thọ vận hành tổng thể.

Bối cảnh & Thách thức:
Hệ thống laser excimer CompexPro102F của khách hàng cần bảo trì và sửa chữa toàn diện. Mục tiêu chính là khôi phục hiệu suất hoạt động, đặc biệt nhắm tới năng lượng xung đơn lớn hơn 300mJ tại bước sóng hoạt động 248nm, và đảm bảo tuổi thọ kéo dài cho toàn bộ hệ thống.

Quy trình Dịch vụ & Sửa chữa Toàn diện của chúng tôi:
Đội ngũ của chúng tôi đã thực hiện một phương pháp tỉ mỉ và có hệ thống để xử lý tất cả các thành phần quan trọng của laser CompexPro102F:

1. Tân trang Đơn vị Phóng điện: Tân trang hoàn toàn các điện cực phóng điện và các đơn vị tiền ion hóa để đảm bảo tạo plasma tối ưu và ổn định.

2. Bảo dưỡng buồng laser: Buồng laser đã được mở cẩn thận, kiểm tra các dấu hiệu hao mòn hoặc nhiễm bẩn, làm sạch kỹ lưỡng và phục hồi.

3. Cải tạo hệ thống tuần hoàn khí: Hệ thống tuần hoàn khí, bao gồm quạt và ống dẫn, đã được cải tạo để đảm bảo dòng khí hiệu quả và sạch, rất quan trọng cho hoạt động ổn định của laser và tuổi thọ khí.

4. Sửa chữa mô-đun kích thyratron: Mô-đun kích thyratron đã được chẩn đoán, sửa chữa và kiểm tra nghiêm ngặt để đảm bảo chuyển mạch chính xác và đáng tin cậy.

5. Chẩn đoán & Sửa chữa hệ thống điều khiển: Mọi bất thường trong hệ thống điều khiển đã được xác định và khắc phục để đảm bảo vận hành liền mạch và an toàn.

6. Độ kín khí toàn hệ thống: Quy trình phát hiện rò rỉ toàn diện đã được thực hiện trên toàn bộ hệ thống khí, sau đó tiến hành sửa chữa cần thiết để đảm bảo độ kín chân không và độ tinh khiết của khí.

7. Bảo trì nguồn điện cao áp: Nguồn điện cao áp đã được kiểm tra và bảo trì kỹ lưỡng để đảm bảo cung cấp điện ổn định và đáng tin cậy.

8. Kiểm tra toàn hệ thống & Xác nhận hiệu suất: Sau khi sửa chữa, toàn bộ hệ thống laser được lắp ráp và tiến hành kiểm tra kỹ lưỡng để xác nhận tất cả các chỉ số hiệu suất đều đạt hoặc vượt yêu cầu.

Kết quả & Thành tựu:
Việc cải tạo đã rất thành công, với CompexPro102F không chỉ đáp ứng mà còn vượt xa các mục tiêu hiệu suất theo hợp đồng.

• Xác nhận bước sóng:

  • Đạt được: 248nm (Đỉnh phổ được đo chính xác tại 248.3nm)
    

• Năng lượng xung:

  • Mục tiêu: >300mJ @ 248nm

  • Đạt tối đa: 469mJ (ở 28kV / 10Hz)

  • Laser thể hiện sự ổn định năng lượng xuất sắc trên nhiều mức điện áp hoạt động và tần số lặp lại.
    

Video thử nghiệm

• Tuổi thọ khí:

  • Laser thể hiện tuổi thọ khí ổn định, duy trì năng lượng đáng kể trong suốt số lượng xung kéo dài. Ở 24kV/10Hz, năng lượng bắt đầu ở 375,0mJ và vẫn ở 317,0mJ sau 162.000 xung.
    

• Hồ sơ chùm tia (Kích thước điểm):

  • Đo được: Xấp xỉ 24mm x 8mm

• Độ rộng xung:

  • Đo được (FWHM): Xấp xỉ 30ns

Kết luận:
Chương trình sửa chữa và bảo trì toàn diện cho laser excimer CompexPro102F đã phục hồi hoàn toàn khả năng vận hành của nó. Hệ thống hiện vượt xa các thông số kỹ thuật ban đầu, đặc biệt về năng lượng xung tối đa, và thể hiện sự ổn định tuyệt vời cùng tuổi thọ khí tốt. Việc tân trang thành công này không chỉ đáp ứng nhu cầu vận hành ngay lập tức của khách hàng mà còn đảm bảo tuổi thọ sử dụng kéo dài cho thiết bị laser quý giá của họ.

Laser excimer của bạn có cần sự chăm sóc chuyên gia không? Hãy liên hệ với chúng tôi ngay hôm nay để thảo luận về nhu cầu sửa chữa và bảo trì!

Video

Câu hỏi thường gặp

Q1: Làm sao tôi biết laser excimer của mình có cần sửa chữa không?
A1: Nếu công suất đầu ra của laser giảm và không còn đạt hiệu suất tối ưu, có thể cần sửa chữa. Bạn có thể gửi cho chúng tôi hình ảnh các bộ phận liên quan, và kỹ sư của chúng tôi sẽ đánh giá sơ bộ.

Q2: Cần chuẩn bị và cung cấp thông tin gì trước khi gửi các bộ phận laser đi sửa chữa?
A2: Chúng tôi cần thông tin liên lạc của bạn, cũng như kích thước và trọng lượng thiết bị để tính chi phí vận chuyển. Hãy đảm bảo đóng gói thiết bị chắc chắn và ghi rõ "Chỉ để sửa chữa" để tránh bị tính thuế hải quan.

Q3: Chi phí sửa chữa là bao nhiêu? Có phí phát sinh nào không?
A3: Chi phí sửa chữa dựa trên độ phức tạp của công việc và chi phí thay thế linh kiện. Có thể phát sinh thêm chi phí nếu phát hiện các vấn đề khác, như lỗi với thiết bị đen bên trong, trong quá trình sửa chữa. Chi phí cụ thể sẽ được xác định sau khi kiểm tra.

Q4: Vận chuyển và trả hàng được sắp xếp như thế nào sau khi sửa chữa?
A4: Sau khi sửa chữa xong, chúng tôi sẽ sắp xếp vận chuyển dựa trên địa chỉ trả hàng bạn cung cấp. Vui lòng xác nhận cả địa chỉ gửi và địa chỉ trả hàng vì chúng ảnh hưởng đến báo giá vận chuyển.

Q5: Dịch vụ sửa chữa có được bảo hành không?
A5: Chúng tôi cung cấp thời gian bảo hành cho tất cả dịch vụ sửa chữa để đảm bảo thiết bị sau sửa chữa đạt tiêu chuẩn hiệu suất.

Q6: Làm thế nào tôi có thể theo dõi tiến trình sửa chữa?
A6: Bạn có thể theo dõi tiến độ sửa chữa qua các phương thức liên lạc của chúng tôi, như WeChat và email. Chúng tôi cũng sẽ chủ động cập nhật cho bạn về các trạng thái sửa chữa quan trọng.

Q7: Làm thế nào các bạn xử lý nhu cầu sửa chữa cho khách hàng quốc tế?
A7: Đối với khách hàng quốc tế, chúng tôi cung cấp hỗ trợ hậu cần toàn diện và tư vấn hải quan để đảm bảo thiết bị của bạn đến trung tâm sửa chữa một cách an toàn.

Q8: Làm thế nào để xử lý việc liên lạc nếu phát sinh thêm nhu cầu sửa chữa?
A8: Nếu phát hiện thêm các vấn đề trong quá trình sửa chữa, chúng tôi sẽ kịp thời liên lạc với bạn và cung cấp kế hoạch sửa chữa chi tiết cùng ngân sách để đảm bảo bạn có đủ thông tin để đưa ra quyết định.

Đọc thêm:

• dịch vụ sửa chữa nguồn laser sợi quang