Laser Excimer là gì?

Laser Excimer là một thiết bị laser có độ chính xác cao sử dụng hỗn hợp khí halogen hiếm làm môi trường khuếch đại để tạo ra tia cực tím có bước sóng cực ngắn. Được biết đến với năng lượng đầu ra cao và khả năng kiểm soát chính xác, loại laser này được sử dụng rộng rãi trong các ứng dụng y tế và xử lý vật liệu chính xác.

Ứng dụng của Laser Excimer

Laser Excimer được sử dụng rộng rãi trong một số ngành công nghiệp do tính chất độc đáo của chúng:

• Sản xuất chất bán dẫn: Được sử dụng trong quy trình in thạch bản để thu nhỏ.
• Phẫu thuật nhãn khoa: Chẳng hạn như LASIK, để cải thiện thị lực của bệnh nhân.
• Xử lý vật liệu: Được sử dụng để khoan, cắt hoặc đánh dấu các vật liệu khác nhau.
• Nghiên cứu khoa học: Được sử dụng trong các phép đo và thí nghiệm chính xác về vật lý và hóa học.

Lý Do Nên Chọn Sửa Chữa Laser Excimer

• Hiệu quả về mặt chi phí: Mua và vận hành laser Excimer rất đắt tiền. Sửa chữa thay vì thay thế các thiết bị này có thể giảm đáng kể chi phí.
• Tuổi thọ kéo dài: Bảo trì chuyên nghiệp thường xuyên không chỉ khôi phục hiệu suất của tia laser mà còn kéo dài đáng kể tuổi thọ hoạt động của nó.
• Ngăn chặn thời gian ngừng hoạt động: Việc sửa chữa kịp thời sẽ ngăn chặn thời gian ngừng hoạt động kéo dài do lỗi thiết bị, đảm bảo hoạt động nghiên cứu và sản xuất được liên tục.

Tại sao nên chọn dịch vụ sửa chữa của chúng tôi?

• Dẫn đầu ngành: Sky Fire Laser nằm trong số ít đội kỹ thuật ở Trung Quốc có khả năng sửa chữa tia laser Excimer một cách chuyên nghiệp.
• Cơ sở vật chất tiên tiến: Phòng sửa chữa của chúng tôi được trang bị thiết bị giám sát và sửa chữa hàng đầu trong ngành.
• Kỹ thuật viên giàu kinh nghiệm: Đội ngũ kỹ thuật của chúng tôi có kiến ​​thức sâu rộng và kinh nghiệm sâu rộng về sửa chữa công nghệ laser.
• Dịch vụ tùy chỉnh: Chúng tôi cung cấp các kế hoạch sửa chữa được cá nhân hóa phù hợp với nhu cầu và ngân sách cụ thể của khách hàng.

Nghiên cứu trường hợp sửa chữa: MIDI V5.2 Technolas Excimer Laser

Lý lịch

Vào tháng 4 năm 2024, chúng tôi đã thực hiện một dự án đầy thử thách nhằm khôi phục hiệu suất của laser kích thích MIDI V5.2 Technolas. Thiết bị này không thể đáp ứng các thông số kỹ thuật của nhà máy do nhiều vấn đề về hiệu suất, ảnh hưởng đến quá trình sản xuất của khách hàng.

I. Chi tiết bảo trì

1. Khoang chứa tia laser: Mở, kiểm tra, làm sạch kỹ lưỡng và bảo trì khoang chứa tia laser.
2. Điện cực phóng điện: Làm sạch phún xạ và ăn mòn các điện cực phóng điện và các bộ phận tiền ion hóa.
3. Đường dẫn khí lưu thông khí: Cải tạo đường dẫn khí lưu thông khí.
4. Nguồn điện: Sửa chữa nguồn điện cao áp loại bỏ bụi.
5. Kiểm tra độ kín khí: Kiểm tra và sửa chữa độ kín khí toàn diện.
6. Kiểm tra máy: Hoàn thành kiểm tra máy, khôi phục điểm chuẩn hiệu suất.

II. Điểm chuẩn hiệu suất theo hợp đồng

• Phục hồi hiệu suất: Khôi phục hiệu suất tổng thể của tia laser, với năng lượng tối đa xung đơn của tia laser >100mJ (193nm).
• Tuổi thọ kéo dài: Đảm bảo tuổi thọ hoạt động kéo dài của thiết bị.

III. Kết quả kiểm tra bảo trì

• Bước sóng: 193nm

Điện áp lưu trữ năng lượng (kV)	Năng lượng (mJ)
	1Hz			10Hz			20Hz
	đại lộ	tiêu chuẩn	% Std tương đối	đại lộ	tiêu chuẩn	% Std tương đối	đại lộ	tiêu chuẩn	% Std tương đối
25.0	139.2	0.89	0.64	135.1	1.34	0.99	129.7	1.75	1.35
26.0	148.7	1.09	0.73	142.2	1.19	0.84	136.9	1.46	1.07
27.0	153.1	1.11	0.73	148.2	1.13	0.76	143.4	1.44	1.00
28.0	158.3	1.43	0.90	153.8	1.52	0.99	148.8	1.37	0.92

 

• Tuổi thọ khí hoạt động ở 25kV/20Hz:

25kV/20Hz Số xung (K)	năng lượng mJ
	10Hz	20Hz
0	135.1	129.7
36	128.9	123.8
72	121.8	119.2
108	114.7	113.5
Nhàn rỗi trong 15 giờ	99.4	95.0
180	93.8	91.2
216	87.7	91.2
252	95.9	93.8
288	92.2	89.8
Không hoạt động trong 42 giờ	85.5	80.5
324	79.4	76.1
360	72.9	70.1
396	67.6	65.9
432	62.5	61.5
468	60.1	58.4
504	55.1	52.9
540	50.1	49.2

 

• So sánh trước và sau khi thay kính：

• Hồ sơ chùm tia: 15mm * 5 mm

Trình bày trên giấy ảnh

 

Độ rộng xung: FWHM ≈ 16ns

IV. Hình ảnh trang web thử nghiệm

• Kiểm tra độ rộng xung:

• Kiểm tra phổ: