• Energie pulzu: Maximální energie jednoho pulzu 158,3mJ (@28kV)

Případová studie opravy: Kompletní renovace a zlepšení výkonu excimerového laseru CompexPro102F

Laserový systém: Coherent CompexPro102F Excimer Laser
Datum servisu: Červen 2025
Cíl: Kompletní přepracování systému pro obnovení a zlepšení výkonu, překračující energii jednoho pulzu 300mJ při 248nm a zlepšení celkové provozní životnosti.

Pozadí a výzva:
Systém excimerového laseru CompexPro102F klienta vyžadoval komplexní údržbu a opravu. Hlavním cílem bylo obnovit jeho provozní výkon, konkrétně dosáhnout energie jednoho pulzu větší než 300mJ při provozní vlnové délce 248nm, a zajistit prodlouženou životnost celého systému.

Náš komplexní servisní a opravný proces:
Náš tým přistoupil k pečlivému a systematickému řešení všech kritických komponent laseru CompexPro102F:

1. Renovace výbojkové jednotky: Kompletní renovace výbojkových elektrod a předionizačních jednotek pro zajištění optimální a stabilní tvorby plazmatu.

2. Servis laserové dutiny: Laserová dutina byla pečlivě otevřena, zkontrolována na opotřebení nebo kontaminaci, důkladně vyčištěna a zrekondičněna.

3. Revize plynového cirkulačního systému: Plynový cirkulační systém, včetně ventilátoru a vzduchovodů, byl renovován, aby byla zajištěna efektivní a čistá cirkulace plynu, což je klíčové pro stabilní provoz laseru a životnost plynu.

4. Oprava modulu spouštěče thyratronu: Modul spouštěče thyratronu byl diagnostikován, opraven a důkladně testován, aby byla zaručena přesná a spolehlivá spínací funkce.

5. Diagnostika a oprava řídicího systému: Byly identifikovány a odstraněny jakékoli anomálie v řídicím systému, aby byla zajištěna plynulá a bezpečná provozuschopnost.

6. Těsnost plynového systému: Byl proveden komplexní postup detekce úniků v celém plynovém systému, následovaný nezbytnými opravami k zajištění integrity vakua a čistoty plynu.

7. Údržba vysokonapěťového zdroje: Vysokonapěťový zdroj byl důkladně zkontrolován a udržován, aby byla zajištěna stabilní a spolehlivá dodávka energie.

8. Kompletní testování systému a ověření výkonu: Po opravě byl celý laserový systém sestaven a podroben rozsáhlému testování, aby bylo potvrzeno, že všechny výkonnostní parametry byly splněny nebo překročeny.

Výsledky a úspěchy:
Renovace byla velmi úspěšná, CompexPro102F nejenže splnil, ale výrazně překročil smluvní výkonnostní cíle.

• Potvrzení vlnové délky:

  • Dosaženo: 248nm (Spektrální vrchol přesně změřen na 248,3nm)
    

• Energie pulzu:

  • Cíl: >300mJ @ 248nm

  • Dosažený maximum: 469mJ (při 28kV / 10Hz)

  • Laser prokázal vynikající stabilitu energie v širokém rozsahu provozních napětí a frekvencí opakování.
    

Testovací video

• Životnost plynu:

  • Laser prokázal robustní životnost plynu, udržující významný výstup energie po prodloužený počet pulzů. Při 24kV/10Hz začala energie na 375,0mJ a stále byla 317,0mJ po 162 000 pulzech.
    

• Profil paprsku (velikost skvrny):

  • Naměřeno: Přibližně 24mm x 8mm

• Šířka pulzu:

  • Naměřeno (FWHM): Přibližně 30ns

Závěr:
Komplexní program oprav a údržby excimerového laseru CompexPro102F vedl k úplnému obnovení jeho provozních schopností. Systém nyní výrazně překračuje původní výkonové specifikace, zejména v maximální energii pulzu, a vykazuje vynikající stabilitu a životnost plynu. Tato úspěšná renovace nejenže splňuje okamžité provozní potřeby klienta, ale také zajišťuje prodlouženou životnost jejich cenného laserového zařízení.

Potřebuje váš excimerový laser odbornou péči? Kontaktujte nás ještě dnes a prodiskutujte své potřeby oprav a údržby!

Video

Často kladené otázky

Q1: Jak poznám, že můj excimerový laser potřebuje opravu?
A1: Pokud výkon vašeho laseru klesá a již nedosahuje optimálního výkonu, může být potřeba oprava. Můžete nám poslat fotografie příslušných dílů a naši inženýři provedou předběžné posouzení.

Q2: Jaké informace a přípravy jsou potřeba před odesláním laserových dílů k opravě?
A2: Potřebujeme vaše kontaktní údaje, stejně jako rozměry a hmotnost zařízení pro výpočet nákladů na dopravu. Ujistěte se, že zařízení je bezpečně zabalené a jasně označené "Pouze k opravě", aby se předešlo celním poplatkům.

Q3: Jaké jsou náklady na opravu? Jsou nějaké další poplatky?
A3: Náklady na opravu závisí na složitosti práce a ceně náhradních dílů. Mohou vzniknout další náklady, pokud během opravy objevíme jiné problémy, například závady na vnitřním černém zařízení. Konkrétní náklady budou určeny po prohlídce.

Q4: Jak je po opravě zajištěna doprava a vrácení?
A4: Po dokončení oprav zajistíme dopravu na základě vámi poskytnuté adresy pro vrácení. Prosím potvrďte jak adresu odeslání, tak adresu vrácení, protože ovlivní cenu dopravy.

Q5: Je na opravnou službu poskytována záruka?
A5: Na všechny naše opravné služby poskytujeme záruční dobu, abychom zajistili, že opravené zařízení splňuje výkonové standardy.

Q6: Jak mohu sledovat průběh opravy?
A6: Průběh opravy můžete sledovat prostřednictvím našich kontaktních metod, jako jsou WeChat a e-mail. Také vás budeme aktivně informovat o významných stavech opravy.

Q7: Jak řešíte potřeby oprav pro mezinárodní zákazníky?
A7: Pro mezinárodní klienty nabízíme kompletní logistickou podporu a celní poradenství, aby vaše zařízení bezpečně dorazilo do našeho opravárenského centra.

Q8: Jak je řešena komunikace, pokud vzniknou další potřeby opravy?
A8: Pokud během opravného procesu objevíme další problémy, budeme vás včas informovat a poskytneme podrobný plán opravy a rozpočet, abyste měli dostatek informací pro rozhodování.

Další čtení:

• oprava zdroje vláknového laseru