Co je excimerový laser?

Excimerový laser je vysoce přesné laserové zařízení, které využívá směs halogenidů vzácných plynů jako médium zisku k produkci ultrafialového světla s extrémně krátkými vlnovými délkami. Tento typ laseru, známý svým vysokým energetickým výstupem a přesným ovládáním, je široce používán v přesném zpracování materiálů a lékařských aplikacích.

Aplikace excimerových laserů

Excimerové lasery jsou široce využívány v několika průmyslových odvětvích díky svým jedinečným vlastnostem:

• Výroba polovodičů: Používá se v litografických procesech pro miniaturizaci.
• Oční chirurgie: Jako je LASIK ke zlepšení vidění pacientů.
• Zpracování materiálu: Používá se k vrtání, řezání nebo značení různých materiálů.
• Vědecký výzkum: Používá se při přesných měřeních a experimentech ve fyzice a chemii.

Důvody, proč si vybrat opravu excimerovým laserem

• Nákladová efektivita: Nákup a provoz excimerových laserů jsou drahé. Oprava spíše než výměna těchto zařízení může výrazně snížit náklady.
• Prodloužená životnost: Pravidelná profesionální údržba nejenže obnoví výkon laseru, ale také výrazně prodlouží jeho provozní životnost.
• Prevence prostojů: Včasné opravy zabraňují zdlouhavým prostojům způsobeným poruchami zařízení a zajišťují nepřetržitou výrobní a výzkumnou činnost.

Proč si vybrat naše opravárenské služby?

• Vedoucí postavení v oboru: Sky Fire Laser je jedním z mála technických týmů v Číně, které jsou schopny profesionálně opravit excimerové lasery.
• Pokročilá zařízení: Naše opravárenská laboratoř je vybavena špičkovým opravárenským a monitorovacím zařízením.
• Zkušení technici: Náš inženýrský tým má hluboké znalosti a rozsáhlé zkušenosti s opravami laserových technologií.
• Služby na míru: Nabízíme personalizované plány oprav šité na míru konkrétním potřebám a rozpočtům našich klientů.

Případová studie opravy: MIDI V5.2 Technolas Excimer Laser

Pozadí

V dubnu 2024 jsme podnikli náročný projekt na obnovení výkonu excimerového laseru MIDI V5.2 Technolas. Toto zařízení nemohlo splňovat tovární specifikace kvůli několika problémům s výkonem, které ovlivňují produkci klienta.

I. Podrobnosti o údržbě

1. Laserová dutina: Otevření, kontrola, důkladné čištění a údržba laserové dutiny.
2. Výbojové elektrody: Naprašování a čištění výbojových elektrod a předionizačních součástí proti korozi.
3. Cesta vzduchu cirkulace plynu: Renovace cesty vzduchu cirkulace plynu.
4. Napájení: Oprava vysokonapěťového napájecího zdroje pro odstraňování prachu.
5. Testování vzduchotěsnosti: Komplexní testování a opravy vzduchotěsnosti.
6. Testování stroje: Kompletní testování stroje a obnovení srovnávacích testů výkonu.

II. Smluvní výkonnostní benchmarky

• Obnovení výkonu: Obnovení celkového výkonu laseru s maximální energií jednoho pulzu laseru >100 mJ (193 nm).
• Prodloužená životnost: Zajištění prodloužené provozní životnosti zařízení.

III. Výsledky testů údržby

• Vlnová délka: 193nm

Napětí zásobníku energie (kV)	energie (mJ)
	1Hz			10 Hz			20 Hz
	Ave	Std	Relativní standardní %	Ave	Std	Relativní standardní %	Ave	Std	Relativní standardní %
25.0	139.2	0.89	0.64	135.1	1.34	0.99	129.7	1.75	1.35
26.0	148.7	1.09	0.73	142.2	1.19	0.84	136.9	1.46	1.07
27.0	153.1	1.11	0.73	148.2	1.13	0.76	143.4	1.44	1.00
28.0	158.3	1.43	0.90	153.8	1.52	0.99	148.8	1.37	0.92

 

• Provozní životnost plynu při 25kV/20Hz:

25kV/20Hz Počet pulzů (K)	Energie mJ
	10 Hz	20 Hz
0	135.1	129.7
36	128.9	123.8
72	121.8	119.2
108	114.7	113.5
Nečinnost 15 hodin	99.4	95.0
180	93.8	91.2
216	87.7	91.2
252	95.9	93.8
288	92.2	89.8
Nečinný po dobu 42 hodin	85.5	80.5
324	79.4	76.1
360	72.9	70.1
396	67.6	65.9
432	62.5	61.5
468	60.1	58.4
504	55.1	52.9
540	50.1	49.2

 

• Srovnání před a po výměně čočky：

• Profil nosníku: 15 mm * 5 mm

Prezentace na fotografickém papíře

 

Šířka pulzu: FWHM ≈ 16ns

IV. Fotografie testovacího místa

• Testování šířky pulzu:

• Testování spektra: