• Energia impulsu: Maksymalna energia pojedynczego impulsu 158,3mJ (@28kV)

Studium przypadku naprawy: Pełna renowacja i poprawa wydajności lasera ekscymerowego CompexPro102F

System laserowy: Coherent CompexPro102F Excimer Laser
Data serwisu: czerwiec 2025
Cel: Całkowity przegląd systemu w celu przywrócenia i poprawy wydajności, przekraczającej 300mJ energii pojedynczego impulsu przy 248nm oraz poprawy ogólnej żywotności operacyjnej.

Tło i wyzwanie:
System lasera ekscymerowego CompexPro102F klienta wymagał kompleksowej konserwacji i naprawy. Głównym celem było przywrócenie jego wydajności operacyjnej, ze szczególnym uwzględnieniem energii pojedynczego impulsu większej niż 300mJ przy długości fali 248nm oraz zapewnienie wydłużonej żywotności całego systemu.

Nasz kompleksowy proces serwisowy i naprawczy:
Nasz zespół podjął się skrupulatnego i systematycznego podejścia, aby zająć się wszystkimi krytycznymi komponentami lasera CompexPro102F:

1. Renowacja jednostki wyładowczej: Kompleksowa renowacja elektrod wyładowczych i jednostek prejonizacji w celu zapewnienia optymalnego i stabilnego generowania plazmy.

2. Serwisowanie komory lasera: Komora lasera została ostrożnie otwarta, sprawdzona pod kątem zużycia lub zanieczyszczeń, dokładnie wyczyszczona i odnowiona.

3. Przegląd systemu cyrkulacji gazu: System cyrkulacji gazu, w tym wentylator i kanały, został odnowiony, aby zapewnić wydajny i czysty przepływ gazu, co jest kluczowe dla stabilnej pracy lasera i żywotności gazu.

4. Naprawa modułu wyzwalacza tyratronu: Moduł wyzwalacza tyratronu został zdiagnozowany, naprawiony i rygorystycznie przetestowany, aby zagwarantować precyzyjne i niezawodne przełączanie.

5. Diagnostyka i naprawa systemu sterowania: Wszelkie anomalie w systemie sterowania zostały zidentyfikowane i usunięte, aby zapewnić płynną i bezpieczną pracę.

6. Szczelność gazowa całego systemu: Przeprowadzono kompleksową procedurę wykrywania nieszczelności w całym systemie gazowym, a następnie wykonano niezbędne naprawy, aby zapewnić szczelność próżni i czystość gazu.

7. Konserwacja zasilacza wysokiego napięcia: Zasilacz wysokiego napięcia przeszedł dokładną inspekcję i konserwację, aby zapewnić stabilne i niezawodne dostarczanie energii.

8. Pełne testowanie systemu i walidacja wydajności: Po naprawie cały system laserowy został zmontowany i poddany szerokim testom, aby potwierdzić, że wszystkie parametry wydajności zostały spełnione lub przekroczone.

Wyniki i osiągnięcia:
Renowacja zakończyła się dużym sukcesem, a CompexPro102F nie tylko spełnił, ale znacznie przekroczył kontraktowe cele wydajnościowe.

• Potwierdzenie długości fali:

  • Osiągnięto: 248nm (Szczyt spektralny dokładnie zmierzony na 248,3nm)
    

• Energia impulsu:

  • Cel: >300mJ @ 248nm

  • Osiągnięty maksimum: 469mJ (przy 28kV / 10Hz)

  • Laser wykazał doskonałą stabilność energii w szerokim zakresie napięć roboczych i częstotliwości powtórzeń.
    

Wideo testowe

• Żywotność gazu:

  • Laser wykazał solidną żywotność gazu, utrzymując znaczną moc wyjściową przez długi czas trwania impulsów. Przy 24kV/10Hz energia zaczynała się od 375,0mJ i nadal wynosiła 317,0mJ po 162 000 impulsach.
    

• Profil wiązki (wielkość plamki):

  • Zmierzona: Około 24mm x 8mm

• Szerokość impulsu:

  • Zmierzona (FWHM): Około 30ns

Podsumowanie:
Kompleksowy program naprawy i konserwacji lasera ekscymerowego CompexPro102F doprowadził do pełnej odbudowy jego zdolności operacyjnych. System teraz znacznie przewyższa swoje pierwotne specyfikacje wydajności, szczególnie pod względem maksymalnej energii impulsu, i wykazuje doskonałą stabilność oraz żywotność gazu. Ta udana renowacja nie tylko spełnia bieżące potrzeby operacyjne klienta, ale także zapewnia wydłużoną żywotność ich cennego sprzętu laserowego.

Czy Twój laser ekscymerowy wymaga fachowej uwagi? Skontaktuj się z nami już dziś, aby omówić potrzeby naprawy i konserwacji!

Wideo

Najczęściej zadawane pytania

Q1: Jak rozpoznać, czy mój laser ekscymerowy wymaga naprawy?
A1: Jeśli moc wyjściowa Twojego lasera spada i nie zapewnia już optymalnej wydajności, może wymagać naprawy. Możesz przesłać nam zdjęcia odpowiednich części, a nasi inżynierowie przeprowadzą wstępną ocenę.

Q2: Jakie informacje i przygotowania są potrzebne przed wysłaniem części laserowych do naprawy?
A2: Potrzebujemy Twoich danych kontaktowych oraz wymiarów i wagi sprzętu, aby obliczyć koszty wysyłki. Upewnij się, że urządzenie jest odpowiednio zapakowane i wyraźnie oznaczone jako „Tylko do naprawy”, aby uniknąć opłat celnych.

Q3: Jakie są koszty naprawy? Czy są dodatkowe opłaty?
A3: Koszty naprawy zależą od stopnia skomplikowania prac oraz kosztów wymiany części. Mogą pojawić się dodatkowe opłaty, jeśli podczas naprawy zostaną wykryte inne problemy, takie jak usterki wewnętrznego czarnego urządzenia. Konkretne koszty zostaną ustalone po inspekcji.

Q4: Jak organizowany jest transport i zwrot po naprawie?
A4: Po zakończeniu naprawy zorganizujemy transport na podstawie podanego przez Ciebie adresu zwrotnego. Prosimy o potwierdzenie zarówno adresu wysyłki, jak i zwrotu, ponieważ mają one wpływ na wycenę przesyłki.

Q5: Czy naprawa jest objęta gwarancją?
A5: Wszystkie nasze usługi naprawcze objęte są okresem gwarancji, aby zapewnić, że naprawiony sprzęt spełnia standardy wydajności.

Q6: Jak mogę śledzić postęp naprawy?
A6: Możesz śledzić postęp naprawy za pomocą naszych metod kontaktu, takich jak WeChat i e-mail. Będziemy również proaktywnie informować Cię o istotnych statusach naprawy.

Q7: Jak obsługujecie potrzeby naprawcze klientów zagranicznych?
A7: Dla klientów międzynarodowych oferujemy pełne wsparcie logistyczne oraz doradztwo celne, aby zapewnić bezpieczne dotarcie Twojego sprzętu do naszego centrum napraw.

Q8: Jak przebiega komunikacja, jeśli pojawią się dodatkowe potrzeby naprawcze?
A8: Jeśli podczas procesu naprawy zostaną wykryte dodatkowe problemy, poinformujemy Cię o tym na bieżąco i przedstawimy szczegółowy plan naprawy oraz budżet, abyś miał wystarczające informacje do podjęcia decyzji.

Dalsza lektura:

• serwis naprawy źródła lasera światłowodowego