Co to jest laser ekscymerowy?

Laser ekscymerowy to precyzyjne urządzenie laserowe, które wykorzystuje mieszaninę rzadkich halogenków gazu jako ośrodek wzmacniający do wytwarzania światła ultrafioletowego o wyjątkowo krótkich falach. Znany z wysokiej energii wyjściowej i precyzyjnego sterowania, ten typ lasera jest szeroko stosowany w precyzyjnej obróbce materiałów i zastosowaniach medycznych.

Zastosowania laserów ekscymerowych

Lasery ekscymerowe są szeroko stosowane w wielu gałęziach przemysłu ze względu na ich unikalne właściwości:

• Produkcja półprzewodników: używana w procesach litograficznych w celu miniaturyzacji.
• Chirurgia okulistyczna: taka jak LASIK, poprawiająca wzrok pacjentów.
• Obróbka materiału: służy do wiercenia, cięcia lub znakowania różnych materiałów.
• Badania naukowe: zatrudniony przy precyzyjnych pomiarach i eksperymentach z fizyki i chemii.

Powody, dla których warto wybrać naprawę laserem ekscymerowym

• Opłacalność: lasery ekscymerowe są drogie w zakupie i obsłudze. Naprawa zamiast wymiany tych urządzeń może znacznie obniżyć koszty.
• Wydłużona żywotność: Regularna profesjonalna konserwacja nie tylko przywraca wydajność lasera, ale także znacznie wydłuża jego żywotność.
• Zapobieganie przestojom: terminowe naprawy zapobiegają długim przestojom spowodowanym awariami sprzętu, zapewniając ciągłość produkcji i działań badawczych.

Dlaczego warto wybrać nasze usługi naprawcze?

• Wiodąca pozycja w branży: Sky Fire Laser to jeden z niewielu zespołów technicznych w Chinach, który jest w stanie profesjonalnie naprawić lasery ekscymerowe.
• Zaawansowane udogodnienia: nasze laboratorium naprawcze jest wyposażone w wiodący w branży sprzęt do napraw i monitorowania.
• Doświadczeni technicy: Nasz zespół inżynierów posiada głęboką wiedzę i duże doświadczenie w naprawie technologii laserowej.
• Usługi niestandardowe: oferujemy spersonalizowane plany napraw dostosowane do konkretnych potrzeb i budżetów naszych klientów.

Studium przypadku naprawy: Laser ekscymerowy Technolas MIDI V5.2

Tło

W kwietniu 2024 roku podjęliśmy się wymagającego projektu przywrócenia wydajności lasera ekscymerowego MIDI V5.2 Technolas. To urządzenie nie było w stanie spełnić specyfikacji fabrycznych ze względu na liczne problemy z wydajnością, które miały wpływ na produkcję klienta.

I. Szczegóły konserwacji

1. Wnęka lasera: otwieranie, sprawdzanie, dokładne czyszczenie i konserwacja wnęki lasera.
2. Elektrody wyładowcze: Napylanie i czyszczenie antykorozyjne elektrod wyładowczych i elementów przed jonizacją.
3. Ścieżka powietrza cyrkulującego gaz: Remont ścieżki powietrza cyrkulującego gaz.
4. Zasilanie: Naprawa zasilacza odpylającego wysokiego napięcia.
5. Testowanie szczelności: Kompleksowe badanie i naprawa szczelności.
6. Testowanie maszynowe: pełne testowanie maszynowe i przywracanie wzorców wydajności.

II. Umowne wzorce wydajności

• Przywrócenie wydajności: Przywrócenie ogólnej wydajności lasera przy maksymalnej energii pojedynczego impulsu lasera > 100 mJ (193 nm).
• Wydłużona żywotność: zapewnienie dłuższej żywotności urządzenia.

III. Wyniki testów konserwacyjnych

• Długość fali: 193 nm

Napięcie magazynowania energii (kV)	Energia (mJ)
	1 Hz			10 Hz			20 Hz
	zdrowaśka	standardowe	Względny % standardowy	zdrowaśka	standardowe	Względny % standardowy	zdrowaśka	standardowe	Względny % standardowy
25.0	139.2	0.89	0.64	135.1	1.34	0.99	129.7	1.75	1.35
26.0	148.7	1.09	0.73	142.2	1.19	0.84	136.9	1.46	1.07
27.0	153.1	1.11	0.73	148.2	1.13	0.76	143.4	1.44	1.00
28.0	158.3	1.43	0.90	153.8	1.52	0.99	148.8	1.37	0.92

 

• Operacyjna żywotność gazu przy 25 kV/20 Hz:

25 kV/20 Hz Liczba impulsów (K)	Energia mJ
	10 Hz	20 Hz
0	135.1	129.7
36	128.9	123.8
72	121.8	119.2
108	114.7	113.5
Bezczynność przez 15 godzin	99.4	95.0
180	93.8	91.2
216	87.7	91.2
252	95.9	93.8
288	92.2	89.8
Bezczynność przez 42 godziny	85.5	80.5
324	79.4	76.1
360	72.9	70.1
396	67.6	65.9
432	62.5	61.5
468	60.1	58.4
504	55.1	52.9
540	50.1	49.2

 

• Porównanie przed i po wymianie soczewek：

• Profil belki: 15 mm * 5 mm

Prezentacja na papierze fotograficznym

 

Szerokość impulsu: FWHM ≈ 16ns

IV. Zdjęcia z witryny testowej

• Testowanie szerokości impulsu:

• Testowanie widma: